ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବର୍ଦ୍ଧିତ ପ୍ଲାଜମା ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବନ୍ଧୁକ ବ୍ୟବହାର କରି ଆର୍କ ପ୍ଲାଜମା ନିର୍ଗତ କରେ, ଯାହାକୁ ସଂକ୍ଷେପରେ ଗରମ ତାର ଆର୍କ PECVD ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା କୁହାଯାଏ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବନ୍ଧୁକ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ସମାନ, କିନ୍ତୁ ପାର୍ଥକ୍ୟ ହେଉଛି ଯେ ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବନ୍ଧୁକ ଆୟନ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାପ୍ତ କଠିନ ଫିଲ୍ମ କ୍ରୁସିବଲରେ ଧାତୁକୁ ଗରମ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରିବା ପାଇଁ ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବନ୍ଧୁକ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଆର୍କ ଆଲୋକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ ପ୍ରବାହ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯେତେବେଳେ ଗରମ ତାର ଆର୍କ ଆଲୋକ PECVD ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ସହିତ ଖୋଳାଯାଏ, ଯେପରିକି CH4 ଏବଂ H2, ଯାହା ହୀରା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଗରମ ତାର ଆର୍କ ବନ୍ଧୁକ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ଆର୍କ ନିର୍ଗତ କରେଣ୍ଟ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ଗ୍ୟାସ ଆୟନ, ପରମାଣୁ ଆୟନ, ସକ୍ରିୟ ଗୋଷ୍ଠୀ ଇତ୍ୟାଦି ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ସକ୍ରିୟ କଣିକା ପାଇବା ପାଇଁ ଉତ୍ସାହିତ ହୁଅନ୍ତି।
ଗରମ ତାର ଆର୍କ PECVD ଡିଭାଇସରେ, ଆବରଣ କୋଠରୀ ବାହାରେ ଦୁଇଟି ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ କଏଲ ସ୍ଥାପିତ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଆନୋଡ୍ ଆଡକୁ ଗତି ସମୟରେ ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ପ୍ରବାହ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ମଧ୍ୟରେ ଧକ୍କା ଏବଂ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ବୃଦ୍ଧି ପାଏ। ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ କଏଲ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଡିପୋଜିସନ୍ ଚାମ୍ବରର ପ୍ଲାଜ୍ମା ଘନତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଆର୍କ ସ୍ତମ୍ଭରେ ମଧ୍ୟ ଏକତ୍ରିତ ହୋଇପାରେ। ଆର୍କ ପ୍ଲାଜ୍ମାରେ, ଏହି ସକ୍ରିୟ କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ଘନତା ଅଧିକ ଥାଏ, ଯାହା ହୀରା ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକୁ ୱର୍କପିସ୍ ଉପରେ ଜମା କରିବା ସହଜ କରିଥାଏ।
——ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଝେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, ଏକଅପ୍ଟିକାଲ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା.
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୦୫-୨୦୨୩