(1) Kupopera mpweya. The sputtering mpweya ayenera kukhala ndi makhalidwe apamwamba sputtering zokolola, inert kwa zinthu chandamale, zotsika mtengo, zosavuta kupeza mkulu chiyero ndi makhalidwe ena. Nthawi zambiri, argon ndiye mpweya wabwino kwambiri wotayira.
(2) Magetsi a sputtering ndi gawo lapansi. magawo awiriwa zimakhudza kwambiri makhalidwe a filimuyi, sputtering voteji osati kumakhudza mafunsidwe mlingo, komanso kwambiri zimakhudza dongosolo la filimu waikamo. Kuthekera kwa gawo lapansi kumakhudza mwachindunji ma elekitironi kapena ion kutuluka kwa jakisoni wamunthu. Ngati gawo lapansi lakhazikika, limaphulitsidwa ndi ma elekitironi ofanana; ngati gawo lapansi liyimitsidwa, liri m'dera lotulutsa kuwala kuti lipeze mphamvu yowonongeka pang'ono pansi pa kuyimitsidwa kwa V1, ndi kuthekera kwa plasma kuzungulira gawo lapansi V2 kukhala apamwamba kuposa gawo lapansi lomwe lingathe, zomwe zidzachititsa kuti pakhale kuphulika kwa ma elekitironi ndi ma ions abwino, zomwe zimabweretsa kusintha kwa mawonekedwe a filimuyo, makamaka ngati mawonekedwe a filimuyo akugwiritsidwa ntchito. ndi mogwirizana ndi polarity wa kuvomereza magetsi ma elekitironi kapena ayoni, osati akhoza kuyeretsa gawo lapansi ndi kumapangitsanso adhesion wa filimuyo, komanso kusintha kapangidwe filimu. Mu ma radio frequency sputtering zokutira, kukonzekera kwa membrane wa conductor kuphatikiza kukondera kwa DC: kukonzekera kwa membrane wa dielectric kuphatikiza kukondera.
(3) Kutentha kwa gawo lapansi. Kutentha kwa gawo lapansi kumakhudza kwambiri kupsinjika kwamkati kwa filimuyo, chifukwa cha kutentha kumakhudza mwachindunji ntchito ya maatomu omwe adayikidwa pagawo lapansi, motero amazindikira kapangidwe ka filimuyo, kapangidwe kake, kukula kwambewu, kuyang'ana kwa kristalo ndi kusakwanira.
-Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina opangira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumiza: Jan-05-2024