1. Fordelaktig for sputtering og plettering av isolasjonsfilm. Den raske endringen i elektrodepolaritet kan brukes til å sputtere isolasjonsmål direkte for å oppnå isolasjonsfilmer. Hvis en likestrømskilde brukes til å sputtere og avsette isolasjonsfilmen, vil isolasjonsfilmen blokkere positive ioner fra å komme inn i katoden, og danne et positivt ionakkumuleringslag, som er utsatt for nedbrytning og antennelse. Etter at en isolasjonsfilm er avsatt på anoden, blokkeres elektroner fra å komme inn i anoden, noe som resulterer i fenomenet anodeforsvinning. Når man bruker en RF-strømkilde til å belegge isolasjonsfilmen, vil de positive ladningene som akkumuleres på katoden i første halvdel av syklusen bli nøytralisert av elektroner i andre halvdel av syklusen på grunn av elektrodenes vekslende polaritet, og elektronene som akkumuleres på anoden vil bli nøytralisert av positive ioner. Den motsatte prosessen i andre halvdel av syklusen kan eliminere akkumuleringen av ladninger på elektroden, og utladningsprosessen kan fortsette normalt.
2. Høyfrekvente elektroder genererer selvforspenning. I RF-enheter med flat elektrodestruktur genererer høyfrekvente elektroder i kretsen selvforspenning ved hjelp av kapasitiv koblingstilpasning. Den store forskjellen mellom elektronmigrasjonshastigheten og ionmigrasjonshastigheten ved utladning gjør at elektroner kan oppnå en høyere bevegelseshastighet på et gitt tidspunkt, mens den lavere ionhastigheten forårsaker akkumulering. Høyfrekvente elektroden har et negativt potensial mesteparten av hver syklus, noe som resulterer i en negativ spenning på terrenget, som er fenomenet med selvforspenning av høyfrekvente elektroden.
Selvforspenningen som genereres av RF-utladningselektroden akselererer ionbombardementet av katodeelektroden for kontinuerlig å sende ut sekundærelektroner for å opprettholde utladningsprosessen, og selvforspenningen spiller en lignende rolle som katodefallet i DC-glødeutladning. Selv om man bruker en RF-strømforsyning, kan utladningen være stabil på grunn av selvforspenningen som genereres av høyfrekvenselektroden og når 500–1000 V.
3. Radiofrekvensutladning spiller en viktig rolle i glødutladningen under atmosfærisk trykk og glødutladningen under dielektrisk barriere som ble introdusert senere.
Publisert: 21. juni 2023