1. Gunstig voor het sputteren en plateren van isolatiefolie. De snelle verandering in elektrodepolariteit kan worden gebruikt om isolatietargets direct te sputteren om isolatiefolies te verkrijgen. Als een gelijkstroombron wordt gebruikt om isolatiefolie te sputteren en af te zetten, blokkeert de isolatiefolie de toegang van positieve ionen tot de kathode, waardoor een accumulatielaag van positieve ionen ontstaat die gevoelig is voor doorslag en ontbranding. Na het afzetten van een isolatiefolie op de anode wordt de toegang van elektronen tot de anode geblokkeerd, wat resulteert in het fenomeen van anodeverdwijning. Bij het gebruik van een RF-voeding om isolatiefolie te coaten, worden de positieve ladingen die zich in de eerste helft van de cyclus op de kathode hebben verzameld, door de wisselende polariteit van de elektroden, in de tweede helft van de cyclus geneutraliseerd door elektronen, terwijl de elektronen die zich op de anode hebben verzameld, worden geneutraliseerd door positieve ionen. Het omgekeerde proces in de tweede helft van de cyclus kan de accumulatie van ladingen op de elektrode elimineren en het ontladingsproces normaal laten verlopen.
2. Hoogfrequente elektroden genereren een eigen voorspanning. In het RF-apparaat met een vlakke elektrodestructuur genereren de hoogfrequente elektroden in het circuit met behulp van capacitieve koppeling een eigen voorspanning. Het enorme verschil tussen de migratiesnelheid van elektronen en de migratiesnelheid van ionen tijdens ontlading zorgt ervoor dat elektronen op een bepaald moment een hogere bewegingssnelheid bereiken, terwijl de lagere ionensnelheid accumulatie veroorzaakt. De hoogfrequente elektrode staat gedurende het grootste deel van elke cyclus op een negatief potentiaal, wat resulteert in een negatieve spanning op het terrein, wat het fenomeen van de eigen voorspanning van de hoogfrequente elektrode is.
De zelfvoorspanning die door de RF-ontladingselektrode wordt gegenereerd, versnelt het ionenbombardement van de kathode-elektrode om continu secundaire elektronen uit te zenden en zo het ontladingsproces in stand te houden. De zelfvoorspanning speelt een vergelijkbare rol als de kathodeval bij een DC-glimontlading. Hoewel een RF-voeding wordt gebruikt, kan de ontlading stabiel zijn dankzij de zelfvoorspanning die door de hoogfrequente elektrode wordt gegenereerd en 500-1000 V kan bereiken.
3. Radiofrequentieontlading speelt een belangrijke rol bij de atmosferische druk gloei-ontlading en de diëlektrische barrière gloei-ontlading die later werden geïntroduceerd.
Plaatsingstijd: 21-06-2023