(1) Sputtergas. Het sputtergas moet de volgende eigenschappen hebben: een hoge sputteropbrengst, inert voor het doelmateriaal, goedkoop, gemakkelijk te verkrijgen, hoge zuiverheid en andere eigenschappen. Over het algemeen is argon het meest ideale sputtergas.
(2) Sputterspanning en substraatspanning. Deze twee parameters hebben een belangrijke invloed op de eigenschappen van de film. De sputterspanning beïnvloedt niet alleen de afzettingssnelheid, maar heeft ook een ernstige invloed op de structuur van de afgezette film. Het substraatpotentiaal beïnvloedt rechtstreeks de elektronen- of ionenstroom bij menselijke injectie. Als het substraat geaard is, wordt het gebombardeerd door equivalente elektronen; als het substraat zwevend is, bevindt het zich in het glimontladingsgebied om een licht negatief potentiaal te verkrijgen ten opzichte van de aardpotentiaal V1, en is de potentiaal van het plasma rond het substraat V2 hoger dan de substraatpotentiaal, wat zal leiden tot een zekere mate van bombardement van elektronen en positieve ionen, wat resulteert in veranderingen in de filmdikte, samenstelling en andere eigenschappen: als het substraat doelbewust een voorspanning aanbrengt, zodat deze in overeenstemming is met de polariteit van de elektrische acceptatie van elektronen of ionen, kan dit niet alleen het substraat zuiveren en de hechting van de film verbeteren, maar ook de structuur van de film veranderen. Bij de radiofrequentie sputtercoating, de voorbereiding van het geleidermembraan plus DC-voorspanning: de voorbereiding van het diëlektrische membraan plus afstemmingsvoorspanning.
(3) Substraattemperatuur. De substraattemperatuur heeft een grotere invloed op de interne spanning van de film, omdat de temperatuur direct van invloed is op de activiteit van de afgezette atomen op het substraat en zo de samenstelling, structuur, gemiddelde korrelgrootte, kristaloriëntatie en onvolledigheid van de film bepaalt.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 05-01-2024