१. इन्सुलेशन फिल्म स्पटरिङ र प्लेटिङको लागि लाभदायक। इलेक्ट्रोड ध्रुवीकरणमा द्रुत परिवर्तन इन्सुलेटिङ फिल्महरू प्राप्त गर्न इन्सुलेटिङ लक्ष्यहरूलाई सिधै स्पटर गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ। यदि DC पावर स्रोत इन्सुलेशन फिल्म स्पटर र जम्मा गर्न प्रयोग गरिन्छ भने, इन्सुलेशन फिल्मले सकारात्मक आयनहरूलाई क्याथोडमा प्रवेश गर्नबाट रोक्नेछ, जसले गर्दा सकारात्मक आयन संचय तह बन्नेछ, जुन ब्रेकडाउन र इग्निशनको सम्भावना हुन्छ। एनोडमा इन्सुलेटिङ फिल्म जम्मा गरेपछि, इलेक्ट्रोनहरू एनोडमा प्रवेश गर्नबाट रोकिन्छन्, जसको परिणामस्वरूप एनोड गायब हुने घटना हुन्छ। इन्सुलेशन फिल्म कोट गर्न RF पावर स्रोत प्रयोग गर्दा, इलेक्ट्रोडहरूको वैकल्पिक ध्रुवीकरणको कारण, चक्रको पहिलो आधामा क्याथोडमा जम्मा भएका सकारात्मक चार्जहरू चक्रको दोस्रो आधामा इलेक्ट्रोनहरूद्वारा तटस्थ हुनेछन्, र एनोडमा जम्मा भएका इलेक्ट्रोनहरू सकारात्मक आयनहरूद्वारा तटस्थ हुनेछन्। दोस्रो आधा चक्रमा विपरीत प्रक्रियाले इलेक्ट्रोडमा चार्जहरूको संचयलाई हटाउन सक्छ, र डिस्चार्ज प्रक्रिया सामान्य रूपमा अगाडि बढ्न सक्छ।
२. उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोडहरूले आत्म-पूर्वाग्रह उत्पन्न गर्छन्। समतल इलेक्ट्रोड संरचना भएको RF उपकरणमा, क्यापेसिटिव कपलिंग मिलान प्रयोग गरेर सर्किटमा उच्च-आवृत्ति इलेक्ट्रोडहरूले आत्म-पूर्वाग्रह भोल्टेज उत्पन्न गर्छन्। डिस्चार्जमा इलेक्ट्रोन माइग्रेसन गति र आयन माइग्रेसन गति बीचको ठूलो भिन्नताले इलेक्ट्रोनहरूलाई दिइएको समयमा ठूलो गति प्राप्त गर्न सक्षम बनाउँछ, जबकि ढिलो आयन गतिले संचय निम्त्याउँछ। उच्च-आवृत्ति इलेक्ट्रोड प्रत्येक चक्रको अधिकांशको लागि नकारात्मक क्षमतामा हुन्छ, जसको परिणामस्वरूप भू-भागमा नकारात्मक भोल्टेज हुन्छ, जुन उच्च-आवृत्ति इलेक्ट्रोडको आत्म-पूर्वाग्रहको घटना हो।
RF डिस्चार्ज इलेक्ट्रोडद्वारा उत्पन्न हुने स्व-बायासले क्याथोड इलेक्ट्रोडको आयन बमबारीलाई तीव्र बनाउँछ जसले डिस्चार्ज प्रक्रियालाई कायम राख्न माध्यमिक इलेक्ट्रोनहरू निरन्तर उत्सर्जन गर्दछ, र स्व-बायासले DC ग्लो डिस्चार्जमा क्याथोड ड्रप जस्तै भूमिका खेल्छ। RF पावर सप्लाई प्रयोग गर्दा पनि, उच्च-फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोडले ५००-१०००V सम्म पुग्ने स्व-बायास भोल्टेजको कारणले डिस्चार्ज स्थिर हुन सक्छ।
३. पछि प्रस्तुत गरिएको वायुमण्डलीय चाप ग्लो डिस्चार्ज र डाइइलेक्ट्रिक ब्यारियर ग्लो डिस्चार्जमा रेडियो फ्रिक्वेन्सी डिस्चार्जले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।
पोस्ट समय: जुन-२१-२०२३