धातु जैविक रासायनिक बाष्प निक्षेपण

धातु जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेपण (MOCVD), ग्यासीय पदार्थको स्रोत धातु जैविक यौगिक ग्यास हो, र निक्षेपणको आधारभूत प्रतिक्रिया प्रक्रिया CVD जस्तै छ।

१.MOCVD कच्चा ग्यास

MOCVD को लागि प्रयोग हुने ग्यासीय स्रोत धातु-जैविक यौगिक (MOC) ग्यास हो। धातु-जैविक यौगिकहरू धातुहरूसँग जैविक पदार्थहरू संयोजन गरेर उत्पादित स्थिर यौगिकहरू हुन्। जैविक यौगिकहरूमा अल्काइल, सुगन्धित हुन्छ। अल्काइलमा मिथाइल, इथाइल, प्रोपाइल र ब्यूटाइल समावेश हुन्छन्। अल्काइलमा मिथाइल, इथाइल, प्रोपाइल र ब्यूटाइल समावेश हुन्छन्। फिनाइल होमोलोगहरू, ट्राइमिथाइल ग्यालियम, [Ga(CH₃)₃], ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम [Al(CH₃)₃] फिल्म तहमा रहेका तीन, पाँच यौगिकहरूमा माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स, अप्टोइलेक्ट्रोनिक्स, अर्धचालकहरूको निक्षेपणको लागि, जस्तै Ga(CH₃)₃ र अमोनिया InGaN ल्युमिनेसेन्ट तहमा LED बत्तीहरूको एपिटेक्सियल वृद्धिमा सिलिकन वेफर वा नीलमणिमा हुन सक्छ। LED बत्तीहरू टंगस्टन इन्क्यान्डेसेन्ट भन्दा ९०% बढी ऊर्जा बचत गर्ने, ६०% भन्दा बढी ऊर्जा बचत गर्ने फ्लोरोसेन्ट बत्तीहरू हुन्। LED बत्तीहरू टंगस्टन इन्क्यान्डेसेन्ट बत्तीहरू भन्दा ९०% बढी ऊर्जा कुशल र फ्लोरोसेन्ट बत्तीहरू भन्दा ६०% बढी ऊर्जा कुशल हुन्छन्। आजकल, सबै प्रकारका सडक बत्तीहरू, प्रकाश बत्तीहरू र अटोमोबाइल बत्तीहरूले मूल रूपमा MOCVD द्वारा उत्पादित LED प्रकाश-उत्सर्जक फिल्महरू प्रयोग गर्छन्।

२. निक्षेपण तापक्रम

जैविक धातु यौगिकहरूको विघटन तापक्रम कम हुन्छ, र निक्षेपण तापक्रम HCVD भन्दा कम हुन्छ। MOCVD द्वारा निक्षेपित TiN को निक्षेपण तापक्रम लगभग ५०० डिग्रीमा घटाउन सकिन्छ।

- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua