ဖုန်စုပ်စက် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ዑደብများနှင့် အဓိက ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့်အချက်များ တည်ငြိမ်သော ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာ လည်ပတ်မှုအတွက် အရေးကြီးသော အခြေခံအုတ်မြစ်

ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာစနစ်များတွင်၊ ဖုန်စုပ်စုပ်စက်တပ်ဆင်မှုသည် လိုအပ်သောလုပ်ငန်းစဉ်ဖုန်စုပ်ကို တည်ထောင်ရန်နှင့် ထိန်းသိမ်းရန် တာဝန်ရှိသော အဓိကယူနစ်ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏လည်ပတ်မှုအခြေအနေသည် စုပ်ထုတ်မှုအမြန်နှုန်း၊ အမြင့်ဆုံးဖိအား၊ စနစ်သန့်ရှင်းမှုနှင့် အပေါ်ယံလွှာလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တသမတ်တည်းရှိမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုတို့ကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ သင့်လျော်သော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစက်ဝန်းများကို သတ်မှတ်ခြင်းနှင့် စံသတ်မှတ်ထားသော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကို အကောင်အထည်ဖော်ခြင်းသည် ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရသော လည်ပတ်မှုကို သေချာစေရန် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်။

၁။ ၏ အခန်းကဏ္ဍအပေါ်ယံလွှာစနစ်များတွင် ဖုန်စုပ်စက်များ

PVD နှင့် CVD ဖုန်စုပ်စက်အပေါ်ယံလွှာ လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ ဖုန်စုပ်စက်စနစ်များတွင် များသောအားဖြင့် backing pumps၊ Roots pumps၊ diffusion pumps သို့မဟုတ် turbomolecular pumps များ ပါဝင်လေ့ရှိပြီး အရေးကြီးသော လုပ်ဆောင်ချက်များစွာကို လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။

လိုအပ်သော vacuum range ကို တည်ဆောက်ခြင်းနှင့် ထိန်းသိမ်းခြင်း

ကျန်ရှိနေသော ဓာတ်ငွေ့များ၊ အစိုဓာတ်နှင့် လုပ်ငန်းစဉ် ဘေးထွက်ပစ္စည်းများကို ထိရောက်စွာ ဖယ်ရှားပေးခြင်း

ဖလင်သိပ်သည်းဆနှင့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုကို မြှင့်တင်ရန် နောက်ခံဓာတ်ငွေ့များ၏ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းဖိအားများကို လျှော့ချခြင်း

ပလာစမာတည်ငြိမ်မှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်မှုကို သေချာစေခြင်း

ပန့်စွမ်းဆောင်ရည် ယိုယွင်းလာပါက ပန့်အမြန်နှုန်း လျော့ကျခြင်းနှင့် နောက်ဆုံးဖိအား ယိုယွင်းခြင်းတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး ဖလင်ကပ်ငြိမှု၊ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုနှင့် ထွက်နှုန်းကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှုရှိသည်။

၂။ အသုံးများသော ဖုန်စုပ်စက် အမျိုးအစားများနှင့် ပုံမှန်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကြားကာလများ
၁။ ရိုတာရီဗန်းစုပ်စက်များ

အဓိက ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လုပ်ငန်းတာဝန်များ-

ပန့်ဆီစစ်ဆေးခြင်းနှင့် အစားထိုးခြင်း

ဆီမြူစစ်ထုတ်ကိရိယာများ သန့်ရှင်းရေး

တံဆိပ်များနှင့် ဗန်များကို စစ်ဆေးခြင်း

အကြံပြုထားသော ကြားကာလများ-

ဆီစစ်ဆေးခြင်း- အပတ်စဉ်

ဆီအစားထိုးခြင်း- ၃-၆ လတစ်ကြိမ် (လုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် လည်ပတ်ချိန်များပေါ် မူတည်၍)

အဓိကဝန်ဆောင်မှု- နှစ်စဉ်

၂။ အမြစ်စုပ်စက်များ

အဓိက ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လုပ်ငန်းတာဝန်များ-

ဂီယာဘောက်စ်များအတွက် ချောဆီစစ်ဆေးခြင်း

shaft seal များနှင့် coupling များကို စစ်ဆေးခြင်း

အတွင်းပိုင်း သန့်ရှင်းရေး စစ်ဆေးခြင်း

အကြံပြုထားသော ကြားကာလများ-

ချောဆီစစ်ဆေးခြင်း- ၃ လတစ်ကြိမ်

ချောဆီအစားထိုးခြင်း- နှစ်စဉ်

လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုစစ်ဆေးမှုများ- လစဉ်

၃။ ပျံ့နှံ့မှုစုပ်စက်များ

အဓိက ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လုပ်ငန်းတာဝန်များ-

ပျံ့နှံ့မှုပန့်ဆီတွင် အောက်ဆီဒေးရှင်း သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းမှု ရှိမရှိ စစ်ဆေးခြင်း

အအေးပေးရေ လည်ပတ်မှုကို အတည်ပြုခြင်း

အအေးထောင်ချောက်များနှင့် ဘန်ကာများ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်း

အကြံပြုထားသော ကြားကာလများ-

ဆီအခြေအနေစစ်ဆေးခြင်း- ၃-၆ လတစ်ကြိမ်

ဆီအစားထိုးခြင်း- ၁၂-၂၄ လတိုင်း

အအေးထောင်ချောက် သန့်ရှင်းရေး- ၆ လတစ်ကြိမ်

၄။ တာဘိုမော်လီကျူးပန့်များ

အဓိက ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လုပ်ငန်းတာဝန်များ-

ဘယ်ရင်အခြေအနေကို စောင့်ကြည့်ခြင်း

တုန်ခါမှုနှင့် အပူချိန်ကို စောင့်ကြည့်ခြင်း

ကျောထောက်နောက်ခံ လေဟာနယ် မှန်ကန်ကြောင်း သေချာစေခြင်း

အကြံပြုထားသော ကြားကာလများ-

လည်ပတ်မှု ကန့်သတ်ချက်များကို စဉ်ဆက်မပြတ် စောင့်ကြည့်ခြင်း

ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ဝန်ဆောင်မှု သို့မဟုတ် စက်ရုံပြုပြင်မွမ်းမံခြင်း- ၃-၅ နှစ်တစ်ကြိမ် (ထုတ်လုပ်သူ၏ လမ်းညွှန်ချက်များအရ)

၃။ အဓိက လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုဆိုင်ရာ ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့်အချက်များ

ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း တိုးချဲ့ရန်နှင့် စနစ်စွမ်းဆောင်ရည် တည်ငြိမ်စေရန်အတွက် အောက်ပါလုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုဆိုင်ရာ အလေ့အကျင့်များသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်-

ဝင်ပေါက်အခြေအနေများကို ထိန်းချုပ်ပါ
အလွန်အကျွံစိုထိုင်းဆ၊ အမှုန်အမွှားများ သို့မဟုတ် ချေးတက်သောဓာတ်ငွေ့များ ပန့်ထဲသို့ဝင်ရောက်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။ လိုအပ်သည့်အခါ အအေးထောင်ချောက်များ၊ စစ်ထုတ်ကိရိယာများ သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့ခွဲထုတ်ကိရိယာများကို အသုံးပြုသင့်သည်။

ပန့်ကို မှန်ကန်စွာ ကိုက်ညီမှုရှိစေရန် သေချာစေပါ
ပုံမှန်မဟုတ်သော လည်ပတ်မှုအခြေအနေများကို ရှောင်ရှားရန်အတွက် backing pump စွမ်းဆောင်ရည်သည် high-vacuum pump များ၏ စတင်လည်ပတ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရမည်။

လည်ပတ်မှု ကန့်သတ်ချက်များကို စောင့်ကြည့်ပါ
အပူချိန်၊ လျှပ်စီးကြောင်း၊ တုန်ခါမှုနှင့် ဆူညံသံများကို အနီးကပ်ဂရုပြုပါ။ မူမမှန်သောပြောင်းလဲမှုများကို ချက်ချင်းစုံစမ်းစစ်ဆေးသင့်သည်။

စံသတ်မှတ်ထားသော စတင်ခြင်းနှင့် ပိတ်ခြင်းလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကို လိုက်နာပါ
သင့်လျော်သော ပန့်အစီအစဉ်ချခြင်းသည် ဆီကို နောက်ပြန်စီးဆင်းခြင်း၊ ပြောင်းပြန်စီးဆင်းမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိစီးမှုများကို ကာကွယ်ပေးသည်။

၄။ မသင့်လျော်သော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု၏ အပေါ်ယံလွှာ လုပ်ငန်းစဉ်များအပေါ် သက်ရောက်မှု

လုံလောက်သော ဖုန်စုပ်စက် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု မရှိခြင်းသည် အောက်ပါတို့ အပါအဝင် လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ ပြဿနာများစွာကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်-

အမြင့်ဆုံးဖိအားလျော့ကျပြီး နောက်ခံဓာတ်ငွေ့တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းဖိအားတိုးလာသည်

ဖလင်များထဲသို့ မသန့်စင်မှုများ ပိုမိုထည့်သွင်းလာခြင်းကြောင့် အလင်း သို့မဟုတ် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို ယိုယွင်းစေသည်

ဖလင်ကပ်ငြိမှုလျော့နည်းခြင်းနှင့် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုလျော့နည်းခြင်း

စက်ပစ္စည်းများ ချို့ယွင်းမှုနှုန်း မြင့်မားခြင်းနှင့် မမျှော်လင့်ထားသော ရပ်တန့်ချိန်

လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ပိုင်ဆိုင်မှုစုစုပေါင်းကုန်ကျစရိတ် ရှုထောင့်နှစ်ခုလုံးမှကြည့်လျှင် ကြိုတင်ကာကွယ်ထိန်းသိမ်းမှုသည် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုထက် များစွာပိုမိုထိရောက်ပါသည်။

၅။ နိဂုံးချုပ်

ဖုန်စုပ်စက်များသည် "လည်ပတ်ပြီး မေ့ပစ်" သည့် အစိတ်အပိုင်းများ မဟုတ်ဘဲ လုပ်ငန်းစဉ်အခြေအနေများ၊ လည်ပတ်မှုဝန်နှင့် ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာအချက်များအပေါ် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု မဟာဗျူဟာများ လိုအပ်သော အရေးကြီးသော ပိုင်ဆိုင်မှုများဖြစ်သည်။ ကောင်းမွန်စွာ သတ်မှတ်ထားသော ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ዑደብများနှင့် စံသတ်မှတ်ထားသော လည်ပတ်မှုလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကို အကောင်အထည်ဖော်ခြင်းဖြင့် ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာစနစ်များသည် ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုကို ရရှိစေပြီး တသမတ်တည်း၊ အရည်အသွေးမြင့် ပါးလွှာသော ဖလင်စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများ ထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်