ຮອບວຽນການບຳລຸງຮັກສາປໍ້າສູນຍາກາດ ແລະ ການພິຈາລະນາຫຼັກໆ ພື້ນຖານທີ່ສຳຄັນສຳລັບການດຳເນີນງານເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ໝັ້ນຄົງ

ໃນລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດ, ຊຸດປໍ້າສູນຍາກາດແມ່ນໜ່ວຍຫຼັກທີ່ຮັບຜິດຊອບໃນການສ້າງ ແລະ ຮັກສາສູນຍາກາດໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການ. ສະພາບການເຮັດວຽກຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໄວໃນການສູບ, ຄວາມດັນສຸດທ້າຍ, ຄວາມສະອາດຂອງລະບົບ, ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການເຄືອບ. ການກຳນົດຮອບວຽນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ເໝາະສົມ ແລະ ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຂັ້ນຕອນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຍາວນານຂອງອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ.

1. ບົດບາດຂອງປໍ້າສູນຍາກາດໃນລະບົບການເຄືອບ

ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ PVD ແລະ CVD, ລະບົບປັ໊ມສູນຍາກາດໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະປະກອບດ້ວຍປັ໊ມສະໜັບສະໜູນ, ປັ໊ມຮາກ, ປັ໊ມກະຈາຍ, ຫຼື ປັ໊ມ turbomolecular, ເຊິ່ງປະຕິບັດໜ້າທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງຄື:

ການສ້າງ ແລະ ການຮັກສາລະດັບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການ

ການກຳຈັດອາຍແກັສທີ່ເຫຼືອ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະ ຜະລິດຕະພັນຂ້າງຄຽງຂອງຂະບວນການຢ່າງມີປະສິດທິພາບ

ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນບາງສ່ວນຂອງອາຍແກັສພື້ນຫຼັງເພື່ອປັບປຸງຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຟິມ

ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ plasma ແລະ ການເຮັດຊ້ຳຄືນຂອງຂະບວນການ

ການຫຼຸດລົງຂອງປະສິດທິພາບຂອງປັ໊ມສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມໄວໃນການສູບທີ່ຫຼຸດລົງ ແລະ ຄວາມດັນສຸດທ້າຍທີ່ຊຸດໂຊມລົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ການຍຶດຕິດຂອງຟິມ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ຜົນຜະລິດ.

2. ປະເພດປໍ້າສູນຍາກາດທົ່ວໄປ ແລະ ໄລຍະຫ່າງການບຳລຸງຮັກສາທົ່ວໄປ
1. ປໍ້າລົມໝູນ

ວຽກງານບຳລຸງຮັກສາທີ່ສຳຄັນ:

ການກວດກາ ແລະ ການປ່ຽນນ້ຳມັນເຄື່ອງສູບນ້ຳ

ການເຮັດຄວາມສະອາດຕົວກອງໝອກນ້ຳມັນ

ການກວດກາປະທັບຕາ ແລະ ແວນ

ໄລຍະຫ່າງທີ່ແນະນຳ:

ການກວດການ້ຳມັນ: ປະຈຳອາທິດ

ການປ່ຽນນ້ຳມັນເຄື່ອງ: ທຸກໆ 3–6 ເດືອນ (ຂຶ້ນກັບອາຍແກັສໃນຂະບວນການ ແລະ ຊົ່ວໂມງເຮັດວຽກ)

ການບໍລິການຫຼັກ: ປະຈຳປີ

2. ປໍ້າຮາກ

ວຽກງານບຳລຸງຮັກສາທີ່ສຳຄັນ:

ການກວດການ້ຳມັນຫລໍ່ລື່ນສຳລັບເກຍກະປຸກເກຍ

ການກວດກາປະທັບຕາເພົາ ແລະ ຂໍ້ຕໍ່

ການກວດສອບຄວາມສະອາດພາຍໃນ

ໄລຍະຫ່າງທີ່ແນະນຳ:

ການກວດການ້ຳມັນຫລໍ່ລື່ນ: ທຸກໆ 3 ເດືອນ

ການປ່ຽນນ້ຳມັນຫລໍ່ລື່ນ: ທຸກໆປີ

ການກວດສອບການດຳເນີນງານ: ປະຈຳເດືອນ

3. ປໍ້າກະຈາຍ

ວຽກງານບຳລຸງຮັກສາທີ່ສຳຄັນ:

ການກວດການ້ຳມັນປັ໊ມກະຈາຍສຳລັບການຜຸພັງ ຫຼື ການປົນເປື້ອນ

ການຢັ້ງຢືນການໄຫຼວຽນຂອງນໍ້າເຢັນ

ການທຳຄວາມສະອາດກັບດັກເຢັນ ແລະ ແຖບກັ້ນ

ໄລຍະຫ່າງທີ່ແນະນຳ:

ການກວດສອບສະພາບນ້ຳມັນເຄື່ອງ: ທຸກໆ 3-6 ເດືອນ

ການປ່ຽນນ້ຳມັນເຄື່ອງ: ທຸກໆ 12–24 ເດືອນ

ການເຮັດຄວາມສະອາດດັກຈັບຄວາມເຢັນ: ທຸກໆ 6 ເດືອນ

4. ປໍ້າໂມເລກຸນເທີໂບ

ວຽກງານບຳລຸງຮັກສາທີ່ສຳຄັນ:

ຕິດຕາມກວດກາສະພາບແບຣິ່ງ

ຕິດຕາມກວດກາການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ອຸນຫະພູມ

ຮັບປະກັນສູນຍາກາດດ້ານຫຼັງທີ່ເໝາະສົມ

ໄລຍະຫ່າງທີ່ແນະນຳ:

ຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຕົວກໍານົດການປະຕິບັດການ

ການບໍລິການແບບມືອາຊີບ ຫຼື ການສ້ອມແປງໂຮງງານ: ທຸກໆ 3–5 ປີ (ຕາມຄຳແນະນຳຂອງຜູ້ຜະລິດ)

3. ການພິຈາລະນາດ້ານການດຳເນີນງານທີ່ສຳຄັນ

ເພື່ອຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ ແລະ ຮັກສາປະສິດທິພາບຂອງລະບົບໃຫ້ໝັ້ນຄົງ, ການປະຕິບັດການປະຕິບັດງານຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນ:

ຄວບຄຸມສະພາບທາງເຂົ້າ
ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ອະນຸພາກ, ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນຫຼາຍເກີນໄປເຂົ້າໄປໃນປໍ້າ. ຄວນໃຊ້ອຸປະກອນດັກຄວາມເຢັນ, ຕົວກອງ, ຫຼື ອຸປະກອນແຍກອາຍແກັສເມື່ອຈຳເປັນ.

ຮັບປະກັນການຈັບຄູ່ປໍ້າທີ່ເໝາະສົມ
ປະສິດທິພາບຂອງປໍ້າສຳຮອງຕ້ອງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການໃນການເລີ່ມຕົ້ນ ແລະ ການປະຕິບັດງານຂອງປໍ້າສູນຍາກາດສູງເພື່ອຫຼີກເວັ້ນສະພາບການປະຕິບັດງານທີ່ຜິດປົກກະຕິ.

ຕິດຕາມກວດກາຕົວກໍານົດການປະຕິບັດການ
ໃຫ້ເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງໃກ້ຊິດຕໍ່ອຸນຫະພູມ, ກະແສໄຟຟ້າ, ການສັ່ນສະເທືອນ, ແລະ ສຽງລົບກວນ. ການປ່ຽນແປງທີ່ຜິດປົກກະຕິໃດໆຄວນໄດ້ຮັບການສືບສວນໂດຍດ່ວນ.

ປະຕິບັດຕາມຂັ້ນຕອນການເລີ່ມຕົ້ນ ແລະ ການປິດລະບົບທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານ
ການຈັດລຳດັບປໍ້າທີ່ເໝາະສົມຊ່ວຍປ້ອງກັນການໄຫຼຍ້ອນກັບຂອງນ້ຳມັນ, ການໄຫຼຍ້ອນກັບ, ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ.

4. ຜົນກະທົບຂອງການບຳລຸງຮັກສາທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຕໍ່ຂະບວນການເຄືອບ

ການບຳລຸງຮັກສາປໍ້າສູນຍາກາດທີ່ບໍ່ພຽງພໍສາມາດນໍາໄປສູ່ບັນຫາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການຕ່າງໆ, ລວມທັງ:

ຄວາມກົດດັນສຸດທ້າຍຫຼຸດລົງ ແລະ ຄວາມກົດດັນບາງສ່ວນຂອງອາຍແກັສພື້ນຫຼັງເພີ່ມຂຶ້ນ

ການເພີ່ມການລວມຕົວຂອງສິ່ງເຈືອປົນເຂົ້າໄປໃນຟິມ, ເຮັດໃຫ້ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ ຫຼື ກົນຈັກຫຼຸດລົງ

ການຫຼຸດລົງຂອງການຍຶດຕິດຂອງຟິມ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ

ອັດຕາການລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນສູງຂຶ້ນ ແລະ ເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ບໍ່ໄດ້ວາງແຜນໄວ້

ຈາກທັງທັດສະນະຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ ແລະ ຕົ້ນທຶນທັງໝົດໃນການເປັນເຈົ້າຂອງ, ການບຳລຸງຮັກສາແບບປ້ອງກັນແມ່ນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍກ່ວາການສ້ອມແປງແບບແກ້ໄຂ.

5. ສະຫຼຸບ

ປໍ້າສູນຍາກາດບໍ່ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ "ແລ່ນແລ້ວລືມ" ແຕ່ເປັນຊັບສິນທີ່ສຳຄັນທີ່ຕ້ອງການຍຸດທະສາດການບຳລຸງຮັກສາທີ່ເໝາະສົມກັບເງື່ອນໄຂຂອງຂະບວນການ, ພາລະການດຳເນີນງານ, ແລະປັດໄຈສິ່ງແວດລ້ອມ. ໂດຍການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດວົງຈອນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ໄດ້ກຳນົດໄວ້ຢ່າງດີ ແລະ ຂັ້ນຕອນການດຳເນີນງານທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານ, ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດສາມາດບັນລຸຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ ແລະ ໃຫ້ປະສິດທິພາບຂອງຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ສະໝ່ຳສະເໝີ.
- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua