ვაკუუმური საფარის სისტემებში ვაკუუმური ტუმბოს ასამბლეა წარმოადგენს ძირითად ბლოკს, რომელიც პასუხისმგებელია საჭირო პროცესის ვაკუუმის შექმნასა და შენარჩუნებაზე. მისი სამუშაო მდგომარეობა პირდაპირ გავლენას ახდენს ტუმბოს სიჩქარეზე, საბოლოო წნევაზე, სისტემის სისუფთავეზე, ასევე საფარის პროცესების თანმიმდევრულობასა და სტაბილურობაზე. ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობის გრძელვადიანი და საიმედო მუშაობის უზრუნველსაყოფად აუცილებელია სათანადო ტექნიკური მომსახურების ციკლების განსაზღვრა და სტანდარტიზებული ტექნიკური მომსახურების პროცედურების დანერგვა.
1. როლივაკუუმური ტუმბოები საფარის სისტემებში
PVD და CVD ვაკუუმური საფარის პროცესებში, ვაკუუმური ტუმბოების სისტემები, როგორც წესი, შედგება საყრდენი ტუმბოებისგან, Roots-ის ტუმბოებისგან, დიფუზიური ტუმბოებისგან ან ტურბომოლეკულური ტუმბოებისგან, რომლებიც ასრულებენ რამდენიმე კრიტიკულ ფუნქციას:
საჭირო ვაკუუმის დიაპაზონის დადგენა და შენარჩუნება
ნარჩენი აირების, ტენიანობის და პროცესის თანმდევი პროდუქტების ეფექტური მოცილება
ფონური აირების ნაწილობრივი წნევის შემცირება ფირის სიმკვრივისა და სისუფთავის გასაუმჯობესებლად
პლაზმის სტაბილურობისა და პროცესის განმეორებადობის უზრუნველყოფა
ტუმბოს მუშაობის ნებისმიერმა გაუარესებამ შეიძლება გამოიწვიოს ტუმბოს სიჩქარის შემცირება და საბოლოო წნევის გაუარესება, რაც პირდაპირ გავლენას ახდენს ფირის ადჰეზიაზე, ერთგვაროვნებასა და მოსავლიანობაზე.
2. ვაკუუმური ტუმბოების გავრცელებული ტიპები და ტექნიკური მომსახურების ტიპიური ინტერვალები
1. მბრუნავი ფრთიანი ტუმბოები
ძირითადი მოვლის ამოცანები:
ტუმბოს ზეთის შემოწმება და შეცვლა
ზეთის ნისლის ფილტრების გაწმენდა
ბეჭდების და ფრთების შემოწმება
რეკომენდებული ინტერვალები:
ზეთის შემოწმება: ყოველკვირეული
ზეთის შეცვლა: ყოველ 3-6 თვეში (პროცესის აირებისა და სამუშაო საათების მიხედვით)
ძირითადი მომსახურება: ყოველწლიურად
2. ფესვების ტუმბოები
ძირითადი მოვლის ამოცანები:
გადაცემათა კოლოფის საპოხი მასალების შემოწმება
ლილვის საკეტებისა და შეერთებების შემოწმება
შიდა სისუფთავის შემოწმება
რეკომენდებული ინტერვალები:
საპოხი მასალის შემოწმება: ყოველ 3 თვეში
საპოხი მასალის შეცვლა: ყოველწლიურად
ოპერაციული შემოწმებები: ყოველთვიური
3. დიფუზიური ტუმბოები
ძირითადი მოვლის ამოცანები:
დიფუზიური ტუმბოს ზეთის შემოწმება დაჟანგვის ან დაბინძურების მიზნით
გამაგრილებელი წყლის ცირკულაციის შემოწმება
ცივი ხაფანგებისა და დეფლექტორების გაწმენდა
რეკომენდებული ინტერვალები:
ზეთის მდგომარეობის შემოწმება: ყოველ 3-6 თვეში
ზეთის შეცვლა: ყოველ 12-24 თვეში
ცივი ხაფანგის გაწმენდა: ყოველ 6 თვეში
4. ტურბომოლეკულური ტუმბოები
ძირითადი მოვლის ამოცანები:
საკისრების მდგომარეობის მონიტორინგი
ვიბრაციისა და ტემპერატურის მონიტორინგი
სათანადო საყრდენი ვაკუუმის უზრუნველყოფა
რეკომენდებული ინტერვალები:
ოპერაციული პარამეტრების უწყვეტი მონიტორინგი
პროფესიონალური მომსახურება ან ქარხნული რემონტი: ყოველ 3-5 წელიწადში ერთხელ (მწარმოებლის ინსტრუქციის მიხედვით)
3. ძირითადი ოპერაციული მოსაზრებები
სისტემის სტაბილური მუშაობისა და მომსახურების ვადის გასახანგრძლივებლად, აუცილებელია შემდეგი ოპერაციული პრაქტიკის დაცვა:
შესასვლელი პირობების კონტროლი
ტუმბოში ზედმეტი ტენიანობის, ნაწილაკების ან კოროზიული აირების მოხვედრა თავიდან აიცილეთ. საჭიროების შემთხვევაში, გამოყენებული უნდა იყოს ცივი ხაფანგები, ფილტრები ან გაზის იზოლაციის მოწყობილობები.
უზრუნველყავით ტუმბოს სათანადო შესაბამისობა
საყრდენი ტუმბოს მუშაობა უნდა აკმაყოფილებდეს მაღალი ვაკუუმის ტუმბოების გაშვებისა და მუშაობის მოთხოვნებს, რათა თავიდან იქნას აცილებული არანორმალური სამუშაო პირობები.
ოპერაციული პარამეტრების მონიტორინგი
დიდი ყურადღება მიაქციეთ ტემპერატურას, დენს, ვიბრაციას და ხმაურს. ნებისმიერი პათოლოგიური ცვლილება დაუყოვნებლივ უნდა იქნას გამოკვლეული.
დაიცავით სტანდარტული ჩართვისა და გამორთვის პროცედურები
ტუმბოს სწორი თანმიმდევრობა ხელს უშლის ზეთის უკუდინებას, უკუდინებას და მექანიკურ დატვირთვას.
4. არასათანადო მოვლის გავლენა საფარის პროცესებზე
ვაკუუმური ტუმბოს არასაკმარისმა მოვლა-პატრონობამ შეიძლება გამოიწვიოს პროცესთან დაკავშირებული მთელი რიგი პრობლემები, მათ შორის:
შემცირებული საბოლოო წნევა და გაზრდილი ფონური გაზის ნაწილობრივი წნევა
მინარევების გაზრდილი შეღწევა ფირებში, რაც აუარესებს ოპტიკურ ან მექანიკურ თვისებებს
ფირის შემცირებული ადჰეზია და გრძელვადიანი საიმედოობა
აღჭურვილობის გაუმართაობის მაღალი მაჩვენებლები და დაუგეგმავი შეფერხებები
როგორც პროცესის სტაბილურობის, ასევე საკუთრების საერთო ღირებულების თვალსაზრისით, პრევენციული ტექნიკური მომსახურება გაცილებით ეფექტურია, ვიდრე მაკორექტირებელი შეკეთება.
5. დასკვნა
ვაკუუმური ტუმბოები არ არის „მუშაობისა და დავიწყების“ ტიპის კომპონენტები, არამედ კრიტიკული აქტივები, რომლებიც საჭიროებენ მოვლა-პატრონობის სტრატეგიებს, რომლებიც მორგებულია პროცესის პირობებზე, ოპერაციულ დატვირთვასა და გარემო ფაქტორებზე. კარგად განსაზღვრული მოვლა-პატრონობის ციკლებისა და სტანდარტიზებული ოპერაციული პროცედურების განხორციელებით, ვაკუუმური საფარის სისტემებს შეუძლიათ მიაღწიონ გრძელვადიან სტაბილურობას და უზრუნველყონ თხელი ფენის თანმიმდევრული, მაღალი ხარისხის მუშაობა.
- ეს სტატია გამოქვეყნდავაკუუმური საფარის აღჭურვილობა მწარმოებელი Zhenhua Vacuum
გამოქვეყნების დრო: დეკემბერი-09-2025