Вакуум бүрхүүлийн системд вакуум насосны угсралт нь шаардлагатай процессын вакуумыг бий болгох, хадгалах үүрэгтэй гол нэгж юм. Үүний ашиглалтын нөхцөл нь шахах хурд, эцсийн даралт, системийн цэвэр байдал, бүрхүүлийн процессын тууштай байдал, тогтвортой байдалд шууд нөлөөлдөг. Вакуум бүрхүүлийн тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны, найдвартай ажиллагааг хангахын тулд зохих засвар үйлчилгээний мөчлөгийг тодорхойлж, стандартчилагдсан засвар үйлчилгээний журмыг хэрэгжүүлэх нь чухал юм.
1. ҮүрэгБүрхүүл систем дэх вакуум насосууд
PVD болон CVD вакуум бүрэх процесст вакуум насосны системүүд нь ихэвчлэн хэд хэдэн чухал үүргийг гүйцэтгэдэг арын насос, Roots насос, диффузийн насос эсвэл турбомолекул насосоос бүрдэнэ.
Шаардлагатай вакуум хүрээг тогтоох, засвар үйлчилгээ хийх
Үлдэгдэл хий, чийг болон боловсруулалтын дайвар бүтээгдэхүүнийг үр дүнтэй арилгана
Киноны нягтрал болон цэвэршилтийг сайжруулахын тулд дэвсгэр хийнүүдийн хэсэгчилсэн даралтыг бууруулна
Плазмын тогтвортой байдал болон процессын давтагдах чадварыг хангах
Шахуургын гүйцэтгэлийн аливаа бууралт нь шахах хурдыг бууруулж, эцсийн даралт муудахад хүргэж, хальсны наалдац, жигд байдал, гарцад шууд нөлөөлдөг.
2. Вакуум насосны нийтлэг төрлүүд ба ердийн засвар үйлчилгээний интервалууд
1. Эргэлдэгч сэнсний насос
Гол засвар үйлчилгээний ажлууд:
Насосны тосыг шалгах, солих
Тосны манангийн шүүлтүүрийг цэвэрлэх
Лац болон сэнсний үзлэг
Санал болгож буй интервалууд:
Газрын тосны үзлэг: долоо хоног бүр
Тос солих: 3-6 сар тутамд (үйлдвэрлэлийн хий болон ажиллах цагаас хамаарна)
Үндсэн үйлчилгээ: жил бүр
2. Roots Pumps
Гол засвар үйлчилгээний ажлууд:
Хурдны хайрцгийн тосолгооны материалын үзлэг
Босоо амны битүүмжлэл болон холбогчийг шалгах
Дотоод цэвэр байдлын шалгалт
Санал болгож буй интервалууд:
Тосолгооны материалын үзлэг: 3 сар тутамд
Тосолгооны материал солих: жил бүр
Үйл ажиллагааны шалгалт: сар бүр
3. Диффузийн шахуургууд
Гол засвар үйлчилгээний ажлууд:
Диффузийн насосны тосыг исэлдэлт эсвэл бохирдол байгаа эсэхийг шалгах
Хөргөлтийн усны эргэлтийн баталгаажуулалт
Хүйтэн хавх болон хаалтуудыг цэвэрлэх
Санал болгож буй интервалууд:
Тосны нөхцөл байдлыг шалгах: 3-6 сар тутамд
Тос солих: 12-24 сар тутамд
Хүйтэн хавх цэвэрлэх: 6 сар тутамд
4. Турбомолекулын шахуургууд
Гол засвар үйлчилгээний ажлууд:
Холхивчийн нөхцөл байдлыг хянах
Чичиргээ болон температурыг хянах
Зөв ар талын вакуумжуулалтыг хангах
Санал болгож буй интервалууд:
Үйл ажиллагааны параметрүүдийг тасралтгүй хянах
Мэргэжлийн үйлчилгээ эсвэл үйлдвэрийн засвар: 3-5 жил тутамд (үйлдвэрлэгчийн зааврын дагуу)
3. Үйл ажиллагааны гол анхаарах зүйлс
Үйлчилгээний хугацааг уртасгах, системийн тогтвортой ажиллагааг хангахын тулд дараах үйл ажиллагааны аргууд зайлшгүй шаардлагатай:
Оролтын нөхцөл байдлыг хянах
Хэт их чийг, тоосонцор эсвэл идэмхий хий шахуурга руу орохоос сэргийлнэ. Шаардлагатай үед хүйтэн хавх, шүүлтүүр эсвэл хийн тусгаарлагч төхөөрөмжийг ашиглах хэрэгтэй.
Шахуургын зөв тохируулгыг хангах
Хэвийн бус ажиллагааны нөхцөл байдлаас зайлсхийхийн тулд арын насосны гүйцэтгэл нь өндөр вакуум насосны эхлүүлэх болон ажиллуулах шаардлагыг хангасан байх ёстой.
Үйлдлийн параметрүүдийг хянах
Температур, гүйдэл, чичиргээ болон дуу чимээнд анхаарлаа хандуулаарай. Аливаа хэвийн бус өөрчлөлтийг яаралтай шалгах хэрэгтэй.
Стандартчилагдсан эхлүүлэх болон унтраах журмыг дагаж мөрдөнө үү
Шахуургын зөв дараалал нь газрын тосны урвуу урсгал, урвуу урсгал болон механик стрессээс сэргийлдэг.
4. Буруу засвар үйлчилгээ нь бүрхүүлийн процесст үзүүлэх нөлөө
Вакуум насосны засвар үйлчилгээ хангалтгүй байгаа нь дараах үйл явцтай холбоотой хэд хэдэн асуудалд хүргэж болзошгүй:
Эцсийн даралт буурч, суурь хийн хэсэгчилсэн даралт нэмэгдсэн
Хальсанд хольцын нэвчилт нэмэгдэж, оптик болон механик шинж чанарыг доройтуулдаг
Киноны наалдац болон урт хугацааны найдвартай байдал буурсан
Тоног төхөөрөмжийн эвдрэлийн түвшин өндөр, төлөвлөөгүй зогсолт
Үйл явцын тогтвортой байдал болон эзэмшлийн нийт өртгийн аль алиных нь үүднээс авч үзвэл урьдчилан сэргийлэх засвар үйлчилгээ нь залруулах засвараас хамаагүй илүү үр дүнтэй байдаг.
5. Дүгнэлт
Вакуум насос нь "ажиллуулаад мартдаг" эд анги биш, харин үйл явцын нөхцөл, үйл ажиллагааны ачаалал, хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлд тохирсон засвар үйлчилгээний стратеги шаарддаг чухал хөрөнгө юм. Тодорхойлсон засвар үйлчилгээний мөчлөг болон стандартчилагдсан үйл ажиллагааны журмыг хэрэгжүүлснээр вакуум бүрхүүлийн систем нь урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангаж, тогтвортой, өндөр чанартай нимгэн хальсан гүйцэтгэлийг хангаж чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 12-р сарын 9