Hauv cov txheej txheem nqus tsev, lub twj tso kua mis nqus tsev yog lub hauv paus tseem ceeb uas muaj lub luag haujlwm los tsim thiab tswj cov txheej txheem nqus tsev uas xav tau. Nws qhov xwm txheej ua haujlwm ncaj qha cuam tshuam rau qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis, qhov siab kawg, kev huv ntawm lub cev, thiab kev sib xws thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem pleev xim. Kev txhais cov voj voog kev saib xyuas kom zoo thiab kev siv cov txheej txheem kev saib xyuas tus qauv yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm ntev thiab txhim khu kev qha ntawm cov khoom siv pleev xim nqus tsev.
1. Lub luag haujlwm ntawmCov Twj Tso Kua Mis Hauv Cov Txheej Txheem Txheej Txheem
Hauv cov txheej txheem txheej PVD thiab CVD nqus tsev, cov tshuab nqus tsev feem ntau muaj cov twj tso kua mis thaub qab, Cov twj tso kua mis hauv paus, cov twj tso kua mis diffusion, lossis cov twj tso kua mis turbomolecular, ua ntau yam haujlwm tseem ceeb:
Tsim thiab tswj xyuas qhov chaw nqus tsev uas xav tau
Kev tshem tawm cov pa roj seem, dej noo, thiab cov khoom lag luam uas ua los ntawm cov txheej txheem zoo
Txo cov kev ntxhov siab ib nrab ntawm cov pa roj keeb kwm yav dhau los kom txhim kho cov zaj duab xis ceev thiab kev huv si
Xyuas kom muaj kev ruaj khov ntawm plasma thiab kev ua haujlwm rov ua dua
Txhua qhov kev puas tsuaj ntawm kev ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis tuaj yeem ua rau qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis txo qis thiab qhov siab kawg poob qis, cuam tshuam ncaj qha rau qhov nplaum ntawm zaj duab xis, kev sib xws, thiab cov txiaj ntsig.
2. Hom twj tso kua mis nqus tsev thiab lub sijhawm txij nkawm ib txwm muaj
1. Cov twj tso kua mis rotary vane
Cov haujlwm tseem ceeb ntawm kev saib xyuas:
Kev tshuaj xyuas thiab hloov cov roj twj tso kua mis
Kev ntxuav cov lim roj av
Kev tshuaj xyuas cov foob thiab cov vanes
Lub sijhawm pom zoo:
Kev tshuaj xyuas roj: txhua lub lim tiam
Hloov roj: txhua 3-6 lub hlis (nyob ntawm cov pa roj thiab cov sijhawm ua haujlwm)
Kev pabcuam loj: txhua xyoo
2. Cov Twj Tso Kua Hauv Paus
Cov haujlwm tseem ceeb ntawm kev saib xyuas:
Kev tshuaj xyuas cov roj nplua nyeem rau cov gearboxes
Kev tshuaj xyuas cov foob ntawm lub ncej thiab cov khoom sib txuas
Kev kuaj xyuas kev huv sab hauv
Lub sijhawm pom zoo:
Kev tshuaj xyuas roj nplua nyeem: txhua 3 lub hlis
Kev hloov roj nplua nyeem: txhua xyoo
Kev kuaj xyuas kev ua haujlwm: txhua hli
3. Cov twj tso kua mis sib kis
Cov haujlwm tseem ceeb ntawm kev saib xyuas:
Kev tshuaj xyuas cov roj twj tso kua mis rau kev oxidation lossis kev ua qias tuaj
Kev txheeb xyuas qhov kev ncig dej txias
Kev ntxuav cov qhov ntxiab txias thiab cov baffles
Lub sijhawm pom zoo:
Kev kuaj xyuas cov roj: txhua 3-6 lub hlis
Hloov roj: txhua 12–24 lub hlis
Kev ntxuav lub qhov dej txias: txhua 6 lub hlis
4. Cov twj tso kua mis Turbomolecular
Cov haujlwm tseem ceeb ntawm kev saib xyuas:
Kev saib xyuas cov mob ntawm cov kabmob
Kev saib xyuas kev co thiab kub
Xyuas kom muaj lub tshuab nqus tsev zoo
Lub sijhawm pom zoo:
Kev saib xyuas tas mus li ntawm cov kev ua haujlwm tsis tu ncua
Kev pabcuam tshaj lij lossis kev kho dua tshiab hauv lub Hoobkas: txhua 3-5 xyoos (raws li cov lus qhia ntawm lub chaw tsim khoom)
3. Cov Kev Xav Txog Kev Ua Haujlwm Tseem Ceeb
Yuav kom txuas lub neej kev pabcuam ntev dua thiab tswj kev ua haujlwm ntawm lub kaw lus kom ruaj khov, cov kev coj ua haujlwm hauv qab no yog qhov tseem ceeb:
Tswj cov xwm txheej ntawm qhov nkag
Tiv thaiv kom tsis txhob muaj cov dej noo ntau dhau, cov khoom me me, lossis cov pa phem nkag mus rau hauv lub twj tso kua mis. Yuav tsum siv cov cuab yeej txias, cov lim dej, lossis cov cuab yeej cais roj thaum tsim nyog.
Xyuas kom meej tias lub twj tso kua mis sib phim zoo
Kev ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis tom qab yuav tsum ua tau raws li qhov yuav tsum tau pib thiab kev ua haujlwm ntawm cov twj tso kua mis uas muaj lub tshuab nqus tsev siab kom tsis txhob muaj cov xwm txheej ua haujlwm tsis zoo.
Saib xyuas cov kev ua haujlwm
Ua tib zoo saib xyuas qhov kub thiab txias, dej ntws, kev co, thiab suab nrov. Yog muaj kev hloov pauv tsis zoo, yuav tsum tshawb xyuas sai sai.
Ua raws li cov txheej txheem pib thiab kaw uas tau teeb tsa raws li tus qauv
Kev teeb tsa cov twj tso kua mis kom raug yuav tiv thaiv cov roj rov qab ntws, ntws rov qab, thiab kev ntxhov siab ntawm lub tshuab.
4. Kev Cuam Tshuam ntawm Kev Txij Nkawm Tsis Zoo rau Cov Txheej Txheem Txheej Txheem
Kev saib xyuas lub twj tso kua mis tsis txaus tuaj yeem ua rau muaj ntau yam teeb meem ntsig txog cov txheej txheem, suav nrog:
Txo qhov siab kawg thiab nce qhov siab ib nrab ntawm cov roj keeb kwm yav dhau los
Muaj cov khoom tsis huv ntau ntxiv rau hauv cov yeeb yaj kiab, ua rau cov khoom siv kho qhov muag lossis cov khoom siv kho tshuab puas tsuaj
Txo qhov nplaum ntawm zaj duab xis thiab kev ntseeg tau mus sij hawm ntev
Cov nqi ua haujlwm tsis zoo ntawm cov khoom siv ntau dua thiab lub sijhawm tsis ua haujlwm uas tsis tau npaj tseg
Los ntawm ob qho tib si kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem thiab tag nrho cov nqi ntawm kev muaj, kev saib xyuas tiv thaiv zoo dua li kev kho kom raug.
5. Xaus Lus
Cov twj nqus tsev tsis yog cov khoom siv "khiav thiab tsis nco qab" tab sis yog cov khoom tseem ceeb uas xav tau cov tswv yim txij nkawm uas tsim los rau cov txheej txheem, kev thauj khoom ua haujlwm, thiab cov yam ntxwv ib puag ncig. Los ntawm kev siv cov voj voog txij nkawm uas tau teev tseg zoo thiab cov txheej txheem ua haujlwm raws li tus qauv, cov txheej txheem txheej nqus tsev tuaj yeem ua tiav kev ruaj khov mus sij hawm ntev thiab xa cov yeeb yaj kiab nyias zoo thiab ruaj khov.
– Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmcov khoom siv nqus tsev txheej Chaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-09-2025