Вакуумдук каптоо системаларында вакуумдук насостун жыйындысы талап кылынган процесстик вакуумду түзүү жана тейлөө үчүн жооптуу негизги блок болуп саналат. Анын иштөө абалы сордуруу ылдамдыгына, акыркы басымга, системанын тазалыгына жана каптоо процесстеринин ырааттуулугуна жана туруктуулугуна түздөн-түз таасир этет. Вакуумдук каптоо жабдууларынын узак мөөнөттүү жана ишенимдүү иштешин камсыз кылуу үчүн тийиштүү тейлөө циклдерин аныктоо жана стандартташтырылган тейлөө жол-жоболорун ишке ашыруу абдан маанилүү.
1. Кимдин ролуКаптоо системаларындагы вакуумдук насостор
PVD жана CVD вакуумдук каптоо процесстеринде вакуумдук насос системалары, адатта, бир нече маанилүү функцияларды аткарган арткы насостордон, Рутс насосторунан, диффузиялык насостордон же турбомолекулярдык насостордон турат:
Керектүү вакуумдук диапазонду орнотуу жана тейлөө
Калдык газдарды, нымдуулукту жана кайра иштетүүнүн кошумча продуктуларын натыйжалуу кетирүү
Плёнканын тыгыздыгын жана тазалыгын жакшыртуу үчүн фондук газдардын парциалдык басымын азайтуу
Плазманын туруктуулугун жана процесстин кайталанышын камсыз кылуу
Насостун иштешинин ар кандай начарлашы сордуруу ылдамдыгынын төмөндөшүнө жана акыркы басымдын начарлашына алып келиши мүмкүн, бул пленканын адгезиясына, бирдейлигине жана түшүмдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет.
2. Вакуумдук насостордун кеңири таралган түрлөрү жана типтүү тейлөө аралыктары
1. Айланма канаттуу насостор
Негизги техникалык тейлөө милдеттери:
Насос майын текшерүү жана алмаштыруу
Май тумандуу чыпкаларды тазалоо
Пломбалар менен калактарды текшерүү
Сунушталган аралыктар:
Майды текшерүү: жума сайын
Майды алмаштыруу: ар бир 3–6 ай сайын (технологиялык газдарга жана иштөө убактысына жараша)
Негизги кызматы: жыл сайын
2. Roots насостору
Негизги техникалык тейлөө милдеттери:
Редукторлор үчүн майлоочу материалдарды текшерүү
Вал пломбаларын жана муфталарын текшерүү
Ички тазалыкты текшерүү
Сунушталган аралыктар:
Майлоочу материалдарды текшерүү: ар бир 3 ай сайын
Майлоочу материалдарды алмаштыруу: жыл сайын
Операциялык текшерүүлөр: ай сайын
3. Диффузиялык насостор
Негизги техникалык тейлөө милдеттери:
Диффузиялык насостун майын кычкылдануу же булгануу боюнча текшерүү
Муздатуучу суунун айланышын текшерүү
Муздак тузактарды жана тосмолорду тазалоо
Сунушталган аралыктар:
Майдын абалын текшерүү: ар бир 3–6 ай сайын
Майды алмаштыруу: ар бир 12–24 ай сайын
Муздак капкандарды тазалоо: ар бир 6 ай сайын
4. Турбомолекулярдык насостор
Негизги техникалык тейлөө милдеттери:
Подшипниктин абалын көзөмөлдөө
Титирөөнү жана температураны көзөмөлдөө
Тийиштүү арткы вакуумду камсыз кылуу
Сунушталган аралыктар:
Иштөө параметрлерин үзгүлтүксүз көзөмөлдөө
Кесипкөй тейлөө же заводду капиталдык оңдоо: ар бир 3–5 жылда (өндүрүүчүнүн көрсөтмөлөрүнө ылайык)
3. Негизги операциялык эске алуулар
Системанын иштөө мөөнөтүн узартуу жана анын туруктуу иштешин камсыз кылуу үчүн төмөнкү операциялык практикалар маанилүү:
Кирүүчү түтүктүн шарттарын көзөмөлдөө
Насоско ашыкча нымдуулуктун, бөлүкчөлөрдүн же дат басуучу газдардын киришине жол бербеңиз. Зарыл болгон учурда муздак кармагычтарды, чыпкаларды же газ изоляциялоочу түзүлүштөрдү колдонуу керек.
Насостун туура дал келишин камсыз кылыңыз
Анормалдуу иштөө шарттарын болтурбоо үчүн арткы насостун иштеши жогорку вакуумдук насостордун ишке киргизүү жана иштетүү талаптарына жооп бериши керек.
Иштөө параметрлерин көзөмөлдөө
Температурага, токко, титирөөгө жана ызы-чууга өзгөчө көңүл буруңуз. Ар кандай анормалдуу өзгөрүүлөрдү тезинен иликтөө керек.
Стандартташтырылган ишке киргизүү жана өчүрүү жол-жоболорун аткарыңыз
Насостордун туура ырааттуулугу майдын кайра агышына, тескери агышына жана механикалык чыңалууга жол бербейт.
4. Каптоо процесстерине туура эмес тейлөөнүн таасири
Вакуум насосун жетишсиз тейлөө бир катар процесстерге байланыштуу көйгөйлөргө алып келиши мүмкүн, анын ичинде:
Акыркы басымдын төмөндөшү жана фондук газдын парциалдык басымынын жогорулашы
Плёнкаларга кошулмалардын көбөйүшү, оптикалык же механикалык касиеттерди начарлатат
Плёнканын адгезиясынын жана узак мөөнөттүү ишенимдүүлүгүнүн төмөндөшү
Жабдуулардын иштебей калуу көрсөткүчүнүн жогорулашы жана пландаштырылбаган иштебей калуулар
Процесстин туруктуулугу жана менчик ээсинин жалпы наркы жагынан алганда, алдын алуучу техникалык тейлөө оңдоо оңдоого караганда алда канча натыйжалуу.
5. Жыйынтык
Вакуумдук насостор "иштетип, унутуп калуучу" компоненттер эмес, алар процесстин шарттарына, иштөө жүктөмүнө жана айлана-чөйрөнүн факторлоруна ылайыкташтырылган тейлөө стратегияларын талап кылган маанилүү активдер. Так аныкталган тейлөө циклдерин жана стандартташтырылган иштөө процедураларын ишке ашыруу менен вакуумдук каптоо системалары узак мөөнөттүү туруктуулукка жетишип, туруктуу, жогорку сапаттагы жука пленка иштешин камсыздай алат.
– Бул макаланы жарыялаганвакуумдук каптоо жабдуулары өндүрүүчү Zhenhua чаң соргуч
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 9-декабры