የቫኩም ፓምፕ ጥገና ዑደቶች እና ቁልፍ ጉዳዮች ለተረጋጋ የቫኩም ሽፋን ስራዎች ወሳኝ መሠረት

በቫክዩም ሽፋን ስርዓቶች ውስጥ፣ የቫክዩም ፓምፕ ስብሰባ አስፈላጊውን የሂደት ቫክዩም ለማቋቋም እና ለመጠበቅ ኃላፊነት ያለው ዋና ክፍል ነው። የአሠራር ሁኔታው ​​የፓምፕ ፍጥነትን፣ የመጨረሻ ግፊትን፣ የስርዓት ንፅህናን እና የሽፋን ሂደቶችን ወጥነት እና መረጋጋት በቀጥታ ይነካል። ትክክለኛ የጥገና ዑደቶችን መግለጽ እና ደረጃውን የጠበቁ የጥገና ሂደቶችን መተግበር የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎችን የረጅም ጊዜ እና አስተማማኝ አሠራር ለማረጋገጥ አስፈላጊ ናቸው።

1. የበሽፋን ስርዓቶች ውስጥ የቫኩም ፓምፖች

በPVD እና CVD የቫክዩም ሽፋን ሂደቶች ውስጥ፣ የቫክዩም ፓምፕ ሲስተሞች በተለምዶ የኋላ ፓምፖችን፣ የሩትስ ፓምፖችን፣ የስርጭት ፓምፖችን ወይም ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖችን ያቀፉ ሲሆን በርካታ ወሳኝ ተግባራትን ያከናውናሉ፡

አስፈላጊውን የቫክዩም ክልል ማቋቋም እና ማቆየት

የተረፈ ጋዞችን፣ እርጥበትን እና የሂደት ተረፈ ምርቶችን በብቃት ማስወገድ

የፊልም ጥግግትን እና ንፅህናን ለማሻሻል የጀርባ ጋዞችን ከፊል ጫና መቀነስ

የፕላዝማ መረጋጋት እና የሂደት ተደጋጋሚነት ማረጋገጥ

በፓምፕ አፈጻጸም ላይ የሚደርስ ማንኛውም መበላሸት የፓምፑን ፍጥነት መቀነስ እና የመጨረሻውን ግፊት መቀነስ ሊያስከትል ይችላል፣ ይህም የፊልም ማጣበቂያ፣ ወጥነት እና ምርት ላይ ቀጥተኛ ተጽእኖ ያሳድራል።

2. የተለመዱ የቫኩም ፓምፕ ዓይነቶች እና የተለመዱ የጥገና ክፍተቶች
1. የሮታሪ ቫን ፓምፖች

ዋና ዋና የጥገና ተግባራት፡

የፓምፕ ዘይት ምርመራ እና መተካት

የዘይት ጭጋግ ማጣሪያዎችን ማጽዳት

የማኅተሞች እና የቫኖች ምርመራ

የሚመከሩ ክፍተቶች፡

የዘይት ምርመራ፡ በየሳምንቱ

የዘይት መተካት፡ በየ 3-6 ወሩ (በሂደት ጋዞች እና በስራ ሰዓቶች ላይ በመመስረት)

ዋና አገልግሎት፡ በየዓመቱ

2. የሩትስ ፓምፖች

ዋና ዋና የጥገና ተግባራት፡

የማርሽ ሳጥኖችን ለማለስለስ የሚደረግ ምርመራ

የሾልት ማኅተሞችን እና ማያያዣዎችን መመርመር

የውስጥ ንፅህና ምርመራዎች

የሚመከሩ ክፍተቶች፡

የቅባት ምርመራ፡ በየ 3 ወሩ

የቅባት ምትክ፡ በየዓመቱ

የአሠራር ቼኮች፡ ወርሃዊ

3. የስርጭት ፓምፖች

ዋና ዋና የጥገና ተግባራት፡

የስርጭት ፓምፕ ዘይት ለኦክሳይድ ወይም ብክለት ምርመራ

የማቀዝቀዣ ውሃ ዝውውርን ማረጋገጥ

የቀዝቃዛ ወጥመዶችን እና ጠርዞችን ማጽዳት

የሚመከሩ ክፍተቶች፡

የዘይት ሁኔታ ምርመራ: በየ 3-6 ወሩ

የዘይት መተካት፡ በየ12-24 ወሩ

የቀዝቃዛ ወጥመድ ጽዳት፡ በየ 6 ወሩ

4. ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች

ዋና ዋና የጥገና ተግባራት፡

የክትትል ተሸካሚ ሁኔታን

የንዝረት እና የሙቀት መጠን ክትትል

ትክክለኛውን የኋላ ቫክዩም ማረጋገጥ

የሚመከሩ ክፍተቶች፡

የአሠራር መለኪያዎችን ቀጣይነት ያለው ክትትል

ሙያዊ አገልግሎት ወይም የፋብሪካ ጥገና፡ በየ 3-5 ዓመቱ (በአምራቹ መመሪያ መሰረት)

3. ቁልፍ የአሠራር ጉዳዮች

የአገልግሎት ዘመኑን ለማራዘም እና የተረጋጋ የስርዓት አፈፃፀምን ለመጠበቅ የሚከተሉት የአሠራር ልምዶች አስፈላጊ ናቸው፡

የመግቢያ ሁኔታዎችን ይቆጣጠሩ
ከመጠን በላይ እርጥበት፣ ቅንጣቶች ወይም ዝገት ጋዞች ወደ ፓምፑ እንዳይገቡ ይከላከሉ። አስፈላጊ በሚሆንበት ጊዜ ቀዝቃዛ ወጥመዶች፣ ማጣሪያዎች ወይም የጋዝ ማግለያ መሳሪያዎች ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው።

የፓምፑን ትክክለኛ ማመጣጠን ያረጋግጡ
የፓምፑ የኋላ አፈጻጸም ያልተለመዱ የአሠራር ሁኔታዎችን ለማስወገድ ከፍተኛ የቫክዩም ፓምፖችን የመነሻ እና የአሠራር መስፈርቶችን ማሟላት አለበት።

የአሠራር መለኪያዎችን ይከታተሉ
የሙቀት መጠን፣ የጅረት ፍሰት፣ የንዝረት እና የጫጫታ ትኩረት ይስጡ። ማንኛውም ያልተለመደ ለውጥ ወዲያውኑ መመርመር አለበት።

ደረጃውን የጠበቁ የጅምር እና የመዝጋት ሂደቶችን ይከተሉ
የፓምፕ ትክክለኛ ቅደም ተከተል የዘይት ፍሰትን፣ የተገላቢጦሽ ፍሰትን እና ሜካኒካል ጭንቀትን ይከላከላል።

4. ተገቢ ያልሆነ ጥገና በሽፋን ሂደቶች ላይ የሚያሳድረው ተጽዕኖ

በቂ ያልሆነ የቫክዩም ፓምፕ ጥገና ከሂደቱ ጋር የተያያዙ ተከታታይ ችግሮችን ሊያስከትል ይችላል፣ ከእነዚህም ውስጥ፡

የመጨረሻውን ግፊት መቀነስ እና የጀርባ ጋዝ ከፊል ግፊት መጨመር

በፊልሞች ውስጥ የንጽህና መጨመር፣ የኦፕቲካል ወይም የሜካኒካል ባህሪያትን ማበላሸት

የፊልም ማጣበቂያ እና የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ቀንሷል

ከፍተኛ የመሳሪያ ውድቀት መጠኖች እና ያልታቀደ የስራ ማቆም ጊዜ

ከሂደቱ መረጋጋት እና ከባለቤትነት አጠቃላይ ወጪ አንፃር፣ የመከላከያ ጥገና ከማስተካከያ ጥገና የበለጠ ውጤታማ ነው።

5. መደምደሚያ

የቫኩም ፓምፖች "ሩጠው የሚረሱ" ክፍሎች ሳይሆኑ ለሂደት ሁኔታዎች፣ ለአሠራር ጭነት እና ለአካባቢ ሁኔታዎች የተዘጋጁ የጥገና ስልቶችን የሚጠይቁ ወሳኝ ሀብቶች ናቸው። በሚገባ የተገለጹ የጥገና ዑደቶችን እና ደረጃውን የጠበቁ የአሠራር ሂደቶችን በመተግበር የቫኩም ሽፋን ስርዓቶች የረጅም ጊዜ መረጋጋትን ማግኘት እና ወጥ የሆነ እና ከፍተኛ ጥራት ያለው ቀጭን የፊልም አፈፃፀም ማቅረብ ይችላሉ።
-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች አምራች ዜንሁዋ ቫክዩም