ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସିଷ୍ଟମରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ଆସେମ୍ବଲି ହେଉଛି ଆବଶ୍ୟକୀୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପାଇଁ ଦାୟୀ ମୂଳ ୟୁନିଟ୍। ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅବସ୍ଥା ସିଧାସଳଖ ପମ୍ପିଂ ଗତି, ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଚାପ, ସିଷ୍ଟମ ପରିଷ୍କାରତା ଏବଂ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣର ଦୀର୍ଘକାଳୀନ, ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ରକୁ ପରିଭାଷିତ କରିବା ଏବଂ ମାନକକୃତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ।
1. ଭୂମିକାଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ
PVD ଏବଂ CVD ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ସିଷ୍ଟମରେ ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟାକିଂ ପମ୍ପ, ରୁଟ୍ସ ପମ୍ପ, ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ ପମ୍ପ, କିମ୍ବା ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର ପମ୍ପ ଥାଏ, ଯାହା ଅନେକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟ କରିଥାଏ:
ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଶୂନ୍ୟ ପରିସର ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ
ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍, ଆର୍ଦ୍ରତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପ-ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକର ଦକ୍ଷ ଅପସାରଣ
ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ଆଂଶିକ ଚାପ ହ୍ରାସ କରିବା
ପ୍ଲାଜମା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା
ପମ୍ପ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଯେକୌଣସି ହ୍ରାସ ପମ୍ପିଂ ଗତି ହ୍ରାସ ଏବଂ ଅବନତିଶୀଳ ଅନ୍ତିମ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଫିଲ୍ମ ଆଡ଼ସେସନ, ସମାନତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ।
2. ସାଧାରଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ପ୍ରକାର ଏବଂ ସାଧାରଣ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ବ୍ୟବଧାନ
୧. ରୋଟାରୀ ଭେନ୍ ପମ୍ପ
ମୁଖ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ:
ପମ୍ପ ତେଲର ଯାଞ୍ଚ ଏବଂ ପରିବର୍ତ୍ତନ
ତେଲ କୁହୁଡ଼ି ଫିଲ୍ଟର ସଫା କରିବା
ସିଲ୍ ଏବଂ ଭେନ୍ଗୁଡ଼ିକର ଯାଞ୍ଚ
ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଥିବା ବ୍ୟବଧାନ:
ତେଲ ଯାଞ୍ଚ: ସାପ୍ତାହିକ
ତେଲ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ: ପ୍ରତି 3-6 ମାସରେ (ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ସମୟ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି)
ପ୍ରମୁଖ ସେବା: ବାର୍ଷିକ
2. ମୂଳ ପମ୍ପ
ମୁଖ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ:
ଗିଅରବକ୍ସ ପାଇଁ ଲୁବ୍ରିକାଣ୍ଟ ଯାଞ୍ଚ
ଶାଫ୍ଟ ସିଲ୍ ଏବଂ କପଲିଂଗୁଡ଼ିକର ଯାଞ୍ଚ
ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ଯାଞ୍ଚ
ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଥିବା ବ୍ୟବଧାନ:
ଲୁବ୍ରିକାଣ୍ଟ ଯାଞ୍ଚ: ପ୍ରତି 3 ମାସରେ ଥରେ
ଲୁବ୍ରିକାଣ୍ଟ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ: ବାର୍ଷିକ
କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଯାଞ୍ଚ: ପ୍ରତି ମାସରେ
3. ପ୍ରସାରଣ ପମ୍ପ
ମୁଖ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ:
ଅକ୍ସିଡେସନ କିମ୍ବା ପ୍ରଦୂଷଣ ପାଇଁ ପ୍ରସାରଣ ପମ୍ପ ତେଲର ଯାଞ୍ଚ
ଶୀତଳ ଜଳ ସଞ୍ଚାଳନର ଯାଞ୍ଚ
ଥଣ୍ଡା ଫାଶ ଏବଂ ବାଫଲ୍ ସଫା କରିବା
ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଥିବା ବ୍ୟବଧାନ:
ତେଲ ଅବସ୍ଥା ଯାଞ୍ଚ: ପ୍ରତି 3-6 ମାସରେ ଥରେ
ତେଲ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ: ପ୍ରତି 12-24 ମାସରେ
କୋଲ୍ଡ ଟ୍ରାପ୍ ସଫା କରିବା: ପ୍ରତି 6 ମାସରେ ଥରେ
୪. ଟର୍ବୋମୋଲିକୁଲାର ପମ୍ପ
ମୁଖ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟ:
ବିୟରିଂ ଅବସ୍ଥା ନିରୀକ୍ଷଣ କରାଯାଉଛି
କମ୍ପନ ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ନିରୀକ୍ଷଣ କରିବା
ଉପଯୁକ୍ତ ବ୍ୟାକିଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା
ସୁପାରିଶ କରାଯାଇଥିବା ବ୍ୟବଧାନ:
କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ନିରନ୍ତର ତଦାରଖ
ବୃତ୍ତିଗତ ସର୍ଭିସିଂ କିମ୍ବା କାରଖାନା ମରାମତି: ପ୍ରତି 3-5 ବର୍ଷରେ (ନିର୍ମାତା ନିର୍ଦ୍ଦେଶାବଳୀ ଅନୁସାରେ)
3. ପ୍ରମୁଖ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ବିଚାରଗୁଡ଼ିକ
ସେବା ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଏବଂ ସ୍ଥିର ସିଷ୍ଟମ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ, ନିମ୍ନଲିଖିତ କାର୍ଯ୍ୟପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ଜରୁରୀ:
ପ୍ରବେଶ ଅବସ୍ଥା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ
ପମ୍ପରେ ଅତ୍ୟଧିକ ଆର୍ଦ୍ରତା, କଣିକା କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବେଶ କରିବାକୁ ରୋକିଦିଅ। ଆବଶ୍ୟକ ହେଲେ ଥଣ୍ଡା ଫାଶ, ଫିଲ୍ଟର କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ ପୃଥକୀକରଣ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରିବା ଉଚିତ।
ସଠିକ୍ ପମ୍ପ ମେଳ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ
ଅସ୍ୱାଭାବିକ କାର୍ଯ୍ୟ ପରିସ୍ଥିତିକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ବ୍ୟାକିଂ ପମ୍ପ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉଚ୍ଚ-ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ଆରମ୍ଭ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ।
ଅପରେଟିଂ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ନିରୀକ୍ଷଣ କରନ୍ତୁ
ତାପମାତ୍ରା, ବିଦ୍ୟୁତ୍ ସ୍ରୋତ, କମ୍ପନ ଏବଂ ଶବ୍ଦ ପ୍ରତି ସତର୍କ ରୁହନ୍ତୁ। ଯେକୌଣସି ଅସ୍ୱାଭାବିକ ପରିବର୍ତ୍ତନର ତୁରନ୍ତ ତଦନ୍ତ କରାଯିବା ଉଚିତ।
ମାନକକୃତ ଷ୍ଟାର୍ଟ-ଅପ୍ ଏବଂ ସଟଡାଉନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନୁସରଣ କରନ୍ତୁ
ସଠିକ୍ ପମ୍ପ କ୍ରମକରଣ ତେଲ ପଛକୁ ପ୍ରବାହିତ ହେବା, ବିପରୀତ ପ୍ରବାହ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚାପକୁ ରୋକିଥାଏ।
୪. ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ଅନୁପଯୁକ୍ତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣର ପ୍ରଭାବ
ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା-ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ସମସ୍ୟାର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ, ଯେଉଁଥିରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
ହ୍ରାସିତ ଅନ୍ତିମ ଚାପ ଏବଂ ବୃଦ୍ଧିିତ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଗ୍ୟାସ ଆଂଶିକ ଚାପ
ଫିଲ୍ମରେ ଅପରିଷ୍କାରତା ବୃଦ୍ଧି, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ କିମ୍ବା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ହ୍ରାସ କରିବା।
ଫିଲ୍ମ ଆଡ଼ସେସନ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା
ଅଧିକ ଉପକରଣ ବିଫଳତା ହାର ଏବଂ ଅନିୟୋଜିତ ଡାଉନଟାଇମ୍
ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ମାଲିକାନା ମୂଲ୍ୟ ଦୃଷ୍ଟିକୋଣରୁ, ପ୍ରତିରୋଧକ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ସଂଶୋଧନାତ୍ମକ ମରାମତି ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ।
୫. ନିଷ୍କର୍ଷ
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ "ଚାଲନ୍ତୁ ଏବଂ ଭୁଲିଯାଆନ୍ତୁ" ଉପାଦାନ ନୁହେଁ ବରଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିସ୍ଥିତି, କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଭାର ଏବଂ ପରିବେଶଗତ କାରଣ ଅନୁଯାୟୀ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ରଣନୀତି ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସମ୍ପତ୍ତି। ଭଲ ଭାବରେ ପରିଭାଷିତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଚକ୍ର ଏବଂ ମାନକିତ କାର୍ଯ୍ୟପ୍ରଣାଳୀ କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରି, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ସ୍ଥିରତା ହାସଲ କରିପାରିବ ଏବଂ ସ୍ଥିର, ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ପତଳା ଫିଲ୍ମ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲାଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୦୯-୨୦୨୫