N'ime sistemu mkpuchi vacuum, mgbakọ ọkpọkọ vacuum bụ isi ihe na-ahụ maka ịtọlite na idobe oghere usoro achọrọ. Ọnọdụ ọrụ ya na-emetụta ọsọ ọkpọkọ, nrụgide kachasị, ịdị ọcha sistemụ, na nguzosi ike na nkwụsi ike nke usoro mkpuchi. Ịkọwa usoro mmezi kwesịrị ekwesị na itinye usoro mmezi ọkọlọtọ dị mkpa iji hụ na akụrụngwa mkpuchi vacuum na-arụ ọrụ ogologo oge, nke a pụrụ ịtụkwasị obi.
1. Ọrụ nkeNgwuputa Agụụ na Sistemụ Mkpuchi
Na usoro mkpuchi oghere PVD na CVD, sistemụ mgbapụta oghere na-abụkarị pumps nkwado, pumps mgbọrọgwụ, pumps mgbasa ozi, ma ọ bụ turbomolecular pumps, na-arụ ọtụtụ ọrụ dị mkpa:
Ịtọlite ma na-edobe oke ikuku achọrọ
Mwepụ nke gas ndị fọdụrụ, mmiri mmiri, na ngwaahịa ndị ọzọ dị irè
Mbelata nrụgide akụkụ nke gas ndabere iji melite njupụta na ịdị ọcha nke ihe nkiri ahụ
Iji hụ na plasma kwụsiri ike na usoro a na-emegharị
Mbibi ọ bụla na arụmọrụ ọkpọkọ nwere ike ibute mbelata ọsọ ọkpọkọ na nrụgide kachasị njọ, na-emetụta kpọmkwem njikọta ihe nkiri, otu nha, na mmepụta.
2. Ụdị Pump Vacuum A Na-ahụkarị na Oge Nlekọta A Na-ahụkarị
1. Ngwuputa Vane Rotary
Ọrụ mmezi dị mkpa:
Nnyocha na nnọchi nke mmanụ mgbapụta
Nhicha nke nzacha mmanụ igirigi
Nnyocha nke ihe mkpuchi na vanes
Oge ndị a tụrụ aro:
Nnyocha mmanụ: kwa izu
Mgbanwe mmanụ: kwa ọnwa 3-6 (dabere na gas usoro na awa ọrụ)
Ọrụ dị mkpa: kwa afọ
2. Mgbọrọgwụ Mgbatị
Ọrụ mmezi dị mkpa:
Nnyocha mmanụ maka igbe gearbox
Nnyocha nke ihe mkpuchi na njikọ osisi
Nlele ịdị ọcha dị n'ime
Oge ndị a tụrụ aro:
Nnyocha mmanụ: kwa ọnwa atọ
Ndochi mmanụ: kwa afọ
Nlele ọrụ: kwa ọnwa
3. Nfuli Mgbasa Ozi
Ọrụ mmezi dị mkpa:
Nnyocha nke mmanụ mgbapụta mgbasa ozi maka oxidation ma ọ bụ mmetọ
Nkwenye nke mgbasa mmiri oyi
Nhicha nke ọnyà oyi na ihe mkpuchi ihu
Oge ndị a tụrụ aro:
Nlele ọnọdụ mmanụ: kwa ọnwa 3-6
Ndochi mmanụ: kwa ọnwa 12–24
Ịsacha ọnyà oyi: kwa ọnwa isii
4. Mgbapụ Turbomolekul
Ọrụ mmezi dị mkpa:
Ọnọdụ nlekota ọnọdụ amị
Nlekota ịma jijiji na okpomọkụ
Hụ na oghere nkwado kwesịrị ekwesị
Oge ndị a tụrụ aro:
Nlekota na-aga n'ihu nke paramita ọrụ
Ọrụ ọkachamara ma ọ bụ nrụzigharị ụlọ ọrụ mmepụta ihe: kwa afọ 3-5 (dịka ntuziaka onye nrụpụta si dị)
3. Ihe Ndị Dị Mkpa A Ga-atụle n'Ọrụ
Iji mee ka ọrụ dịkwuo ogologo ma nọgide na-arụ ọrụ sistemụ kwụsiri ike, usoro ọrụ ndị a dị mkpa:
Ọnọdụ ntinye njikwa
Gbochie oke mmiri mmiri, ihe ndị na-emebi emebi, ma ọ bụ gas ndị na-emebi emebi ịbanye na ọkpọkọ mmiri. A ga-eji ihe nzacha, ihe nzacha, ma ọ bụ ngwaọrụ ichebe gas mgbe ọ dị mkpa.
Hụ na ọkpọkọ mgbapụta kwesịrị ekwesị dabara
Arụmọrụ mgbapụta azụ ga-emezu ihe achọrọ maka mmalite na ọrụ nke ọkpọkọ ikuku dị elu iji zere ọnọdụ ọrụ na-adịghị mma.
Nyochaa paramita ọrụ
Lezienụ anya nke ọma na okpomọkụ, ọkụ, ịma jijiji, na mkpọtụ. A ga-enyocha mgbanwe ọ bụla na-adịghị mma ozugbo.
Soro usoro mmalite na mmechi ọkọlọtọ
Usoro ọkpọkọ kwesịrị ekwesị na-egbochi mmịpụta mmanụ, mmiri na-agbagharị azụ, na nrụgide igwe.
4. Mmetụta nke Mmezi Na-ekwesịghị ekwesị na Usoro Mkpuchi
Enweghị mmezi nke ọkpọkọ ikuku nwere ike ibute ọtụtụ nsogbu metụtara usoro, gụnyere:
Mbelata nrụgide kachasị elu na mmụba nke nrụgide akụkụ gas ndabere
Mmụba nke itinye ihe ndị na-adịghị ọcha n'ime ihe nkiri, na-emebi ihe ndị dị n'ime anya ma ọ bụ ihe ndị dị n'ime igwe
Mbelata njikọta ihe nkiri na ntụkwasị obi ogologo oge
Ọnụego ọdịda akụrụngwa dị elu na oge ezumike a na-atụghị anya ya
Site na ma nkwụsi ike usoro na ọnụ ahịa zuru oke nke onye nwe ya, mmezi mgbochi dị irè karịa ndozi mmezi.
5. Mmechi
Ọkpọkọ ikuku abụghị ihe ndị "na-agba ọsọ ma chefuo" kama ọ bụ ihe ndị dị mkpa chọrọ atụmatụ mmezi nke e mere ka ha kwekọọ na ọnọdụ nhazi, ibu ọrụ, na ihe ndị metụtara gburugburu ebe obibi. Site n'itinye usoro mmezi akọwapụtara nke ọma na usoro ọrụ ọkọlọtọ, sistemụ mkpuchi ikuku nwere ike nweta nkwụsi ike ogologo oge ma nye arụmọrụ fim dị gịrịgịrị na nke dị elu.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Disemba-09-2025