I totonu o faiga ufiufi o le vacuum, o le fa'apotopotoga o le pamu vacuum o le iunite autū lea e nafa ma le fa'atuina ma le tausia o le vacuum o le fa'agasologa e mana'omia. O lona tulaga fa'agaoioia e a'afia sa'o ai le saoasaoa o le pamuina, le mamafa maualuga, le mama o le faiga, ma le tutusa ma le mautu o faiga ufiufi. O le fa'amatalaina o ta'amilosaga tausiga lelei ma le fa'atinoina o faiga tausiga fa'atulagaina e taua tele mo le fa'amautinoaina o le fa'agaoioiga umi ma le fa'atuatuaina o masini ufiufi vacuum.
1. Matafaioi aPamu Vacuum i Faiga Ufiufi
I faiga o le ufiufiina o le PVD ma le CVD, o faiga o pamu e fa'aaogaina ai le vacuum e masani ona aofia ai pamu lagolago, pamu a'a, pamu fa'asalalau, po'o pamu turbomolecular, e fa'atinoina ai ni galuega taua se tele:
Fa'atuina ma le tausia o le vaega e mana'omia mo le vacuum
Aveese lelei o kasa o totoe, susu, ma oloa e maua mai i le faagasologa
Fa'aitiitia le mamafa fa'avaega o kasa tua e fa'aleleia atili ai le mafiafia ma le mama o le ata tifaga
Fa'amautinoaina o le mautu o le plasma ma le toe faia o le faagasologa
So'o se fa'aletonu o le fa'atinoga o le pamu e mafai ona o'o atu ai i le fa'aitiitia o le saoasaoa o le pamuina ma fa'aleagaina ai le mamafa o le pamu, ma a'afia ai le pipi'i o le ata tifaga, le tutusa, ma le fua o le pamu.
2. Ituaiga Masani o Pamu Vacuum ma Vaitaimi Tausiga Masani
1. Pamu Vane Fa'ata'amilomilo
Galuega tau tausiga autū:
Asiasiga ma le suiina o le suāuu pamu
Fa'amamaina o faamama o le puao suāuu
Asiasiga o fa'amaufa'ailoga ma vane
Vaitaimi fautuaina:
Siakiina o le suāuu: vaiaso taʻitasi
Suia o le suāuu: i masina taʻi 3–6 (e fuafua i kasa faʻagasolo ma itula faʻagaoioia)
Auaunaga tetele: i tausaga taʻitasi
2. Pamu Roots
Galuega tau tausiga autū:
Su'esu'ega o le suāu'u mo pusa kia
Asiasiga o fa'amaufa'ailoga o le 'au ma so'oga
Siakiina o le mama i totonu
Vaitaimi fautuaina:
Siakiina o le suāuu: i masina ta'i 3 uma
Suiga o le suāuu: i tausaga taʻitasi
Siaki fa'atino: masina ta'itasi
3. Pamu Fa'asalalau
Galuega tau tausiga autū:
Siakiina o le suāuu pamu fa'asalalau mo le fa'a'okesaita po'o le fa'aleagaina
Fa'amaoniga o le tafega o le vai fa'amālūlūina
Fa'amamaina o mailei malulu ma pa puipui
Vaitaimi fautuaina:
Siakiina o le tulaga o le suāuu: i masina ta'i 3–6
Suia o le suāuu: i masina uma e 12–24
Fa'amamaina o le mailei malulu: i masina ta'i 6 uma
4. Pamu Turbomolecular
Galuega tau tausiga autū:
Mata'ituina o le tulaga o le bearing
Mata'ituina o le gatete ma le vevela
Ia mautinoa o le masini e fa'amama lelei ai le tua
Vaitaimi fautuaina:
Mata'ituina pea o fa'asologa o galuega
Auaunaga fa'apolofesa po'o le toe fa'aleleia o le fale gaosi oloa: i tausaga ta'i 3–5 (e tusa ai ma taiala a le kamupani gaosi oloa)
3. Manatu Autū mo Galuega Faatino
Ina ia fa'ateleina le umi o le tautua ma fa'atumauina le fa'atinoga mautu o le masini, e taua tele faiga fa'atino nei:
Pulea tulaga o le ulufale mai
Taofi le susu tele, mea fa'apalapala, po'o kasa 'a'ai mai le ulufale atu i totonu o le pamu. E tatau ona fa'aaoga mailei malulu, faamama, po'o masini e vavae'ese ai kasa pe a mana'omia.
Ia mautinoa le fetaui lelei o le pamu
E tatau i le fa'atinoga o le pamu lagolago ona ausia mana'oga o le amataga ma le fa'agaoioia o pamu e maualuga le fa'amama eletise ina ia 'alofia ai tulaga fa'agaoioia e le masani ai.
Mata'ituina fa'asologa o galuega
Ia ua'i toto'a atu i le vevela, le tafe o le vai, le gatete, ma le pisa. So'o se suiga e le masani ai e tatau ona vave su'esu'eina.
Mulimuli i faiga fa'atulagaina mo le amataina ma le tapunia o le komepiuta
O le fa'asologa lelei o le pamu e puipuia ai le toe tafe mai o le suāuu, toe tafe mai o le suāuu, ma le fa'alavelave fa'amekanika.
4. A'afiaga o le Tausiga Lē Talafeagai i Faiga o le Ufiufi
O le le lava o le tausiga o le pamu e mafai ona oʻo atu ai i le tele o faʻafitauli e fesoʻotaʻi ma le faagasologa, e aofia ai:
Fa'aitiitia le mamafa fa'ai'u ma fa'ateleina le mamafa fa'avaega o le kesi tua
Fa'ateleina o le fa'aputuina o mea leaga i totonu o ata tifaga, fa'aleagaina ai meatotino va'ai po'o meatotino fa'ainisinia
Fa'aitiitia le pipii o le ata tifaga ma le fa'atuatuaina i se taimi umi
Maualuga le fua faatatau o le faaletonu o masini ma le taimi e le'i fuafuaina e taofia ai
Mai le itu i le mautu o le faagasologa ma le tau atoa o le puleaina, e sili atu le aoga o le tausiga e puipuia ai nai lo le toe faaleleia faasa'o.
5. Faaiuga
O pamu e fa'aaogaina le vacuum e lē o ni vaega e "fa'ata'avale ma galo" ae o ni aseta taua e mana'omia ai ni fuafuaga tausiga e fa'atatau i tulaga o le fa'agasologa, avega fa'atino, ma mea tau si'osi'omaga. E ala i le fa'atinoina o ta'amilosaga tausiga ua fa'amalamalamaina lelei ma faiga fa'atino fa'atulagaina, e mafai ai e faiga ufiufi vacuum ona ausia le mautu mo se taimi umi ma tu'uina atu ai le fa'atinoga lelei ma le tumau o le ata manifinifi.
–O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea kamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Tesema-09-2025