Вакуумдық жабын жүйелерінде вакуумдық сорғы жинағы қажетті технологиялық вакуумды орнатуға және қолдауға жауапты негізгі блок болып табылады. Оның жұмыс жағдайы сорғы жылдамдығына, шекті қысымға, жүйенің тазалығына және жабын процестерінің тұрақтылығы мен тұрақтылығына тікелей әсер етеді. Тиісті техникалық қызмет көрсету циклдарын анықтау және стандартталған техникалық қызмет көрсету процедураларын енгізу вакуумдық жабын жабдықтарының ұзақ мерзімді, сенімді жұмысын қамтамасыз ету үшін өте маңызды.
1. РөліЖабу жүйелеріндегі вакуумдық сорғылар
PVD және CVD вакуумдық жабындау процестерінде вакуумдық сорғы жүйелері әдетте бірнеше маңызды функцияларды орындайтын артқы сорғылардан, Рутс сорғыларынан, диффузиялық сорғылардан немесе турбомолекулалық сорғылардан тұрады:
Қажетті вакуум диапазонын орнату және қолдау
Қалдық газдарды, ылғалды және өңдеу өнімдерін тиімді түрде кетіру
Қабықша тығыздығы мен тазалығын жақсарту үшін фондық газдардың парциалды қысымын төмендету
Плазманың тұрақтылығын және процестің қайталануын қамтамасыз ету
Сорғының жұмысының кез келген нашарлауы айдау жылдамдығының төмендеуіне және соңғы қысымның нашарлауына әкелуі мүмкін, бұл қабықшаның адгезиясына, біркелкілігіне және өнімділігіне тікелей әсер етеді.
2. Вакуумдық сорғылардың кең таралған түрлері және типтік техникалық қызмет көрсету аралықтары
1. Айналмалы қалақты сорғылар
Негізгі техникалық қызмет көрсету міндеттері:
Сорғы майын тексеру және ауыстыру
Май тұманының сүзгілерін тазалау
Тығыздағыштар мен қалақтарды тексеру
Ұсынылатын аралықтары:
Мұнайды тексеру: апта сайын
Майды ауыстыру: әрбір 3–6 ай сайын (технологиялық газдар мен жұмыс уақытына байланысты)
Негізгі қызметі: жыл сайын
2. Roots сорғылары
Негізгі техникалық қызмет көрсету міндеттері:
Беріліс қораптарына арналған майлау материалдарын тексеру
Білік тығыздағыштары мен муфталарын тексеру
Ішкі тазалықты тексеру
Ұсынылатын аралықтары:
Майлау материалдарын тексеру: әр 3 ай сайын
Майлағышты ауыстыру: жыл сайын
Операциялық тексерулер: ай сайын
3. Диффузиялық сорғылар
Негізгі техникалық қызмет көрсету міндеттері:
Диффузиялық сорғы майын тотығу немесе ластану тұрғысынан тексеру
Салқындатқыш судың айналымын тексеру
Суық тұзақтар мен бөгеттерді тазалау
Ұсынылатын аралықтары:
Майдың жағдайын тексеру: әр 3-6 ай сайын
Майды ауыстыру: әр 12-24 ай сайын
Суық тұзақты тазалау: әр 6 ай сайын
4. Турбомолекулалық сорғылар
Негізгі техникалық қызмет көрсету міндеттері:
Мойынтіректің жағдайын бақылау
Діріл мен температураны бақылау
Тиісті артқы вакуумды қамтамасыз ету
Ұсынылатын аралықтары:
Жұмыс параметрлерін үздіксіз бақылау
Кәсіби қызмет көрсету немесе зауытты күрделі жөндеу: әрбір 3-5 жыл сайын (өндіруші нұсқауларына сәйкес)
3. Негізгі операциялық мәселелер
Қызмет көрсету мерзімін ұзарту және жүйенің тұрақты жұмысын сақтау үшін келесі жұмыс тәжірибелері маңызды:
Кіріс жағдайларын бақылау
Сорғыға шамадан тыс ылғалдың, бөлшектердің немесе коррозиялық газдардың кіруіне жол бермеңіз. Қажет болған жағдайда суық тұзақтарды, сүзгілерді немесе газ оқшаулағыш құрылғыларды пайдалану керек.
Сорғының дұрыс сәйкестігін қамтамасыз етіңіз
Қалыптан тыс жұмыс жағдайларын болдырмау үшін артқы сорғының өнімділігі жоғары вакуумды сорғылардың іске қосу және жұмыс істеу талаптарына сәйкес келуі керек.
Жұмыс параметрлерін бақылау
Температураға, ток күшіне, дірілді және шуылға мұқият назар аударыңыз. Кез келген қалыптан тыс өзгерістерді дереу тексеру қажет.
Стандартталған іске қосу және өшіру процедураларын орындаңыз
Сорғының дұрыс реттілігі майдың кері ағынын, кері ағынын және механикалық кернеуді болдырмайды.
4. Дұрыс емес күтімнің жабын жағу процестеріне әсері
Вакуумдық сорғыға дұрыс техникалық қызмет көрсетпеу бірқатар процестерге байланысты мәселелерге әкелуі мүмкін, соның ішінде:
Шекті қысымның төмендеуі және фондық газ парциалды қысымының жоғарылауы
Қабықшаларға қоспалардың енуінің жоғарылауы, оптикалық немесе механикалық қасиеттерді нашарлатады
Пленканың адгезиясының төмендеуі және ұзақ мерзімді сенімділік
Жабдықтардың істен шығу деңгейінің жоғарылауы және жоспарланбаған тоқтап қалулар
Процестің тұрақтылығы мен меншіктің жалпы құны тұрғысынан алғанда, профилактикалық жөндеу жөндеуге қарағанда әлдеқайда тиімді.
5. Қорытынды
Вакуумдық сорғылар «іске қосып, ұмытып кететін» компоненттер емес, олар технологиялық жағдайларға, пайдалану жүктемесіне және қоршаған орта факторларына бейімделген техникалық қызмет көрсету стратегияларын қажет ететін маңызды активтер. Анық анықталған техникалық қызмет көрсету циклдары мен стандартталған жұмыс процедураларын енгізу арқылы вакуумдық жабын жүйелері ұзақ мерзімді тұрақтылыққа қол жеткізе алады және тұрақты, жоғары сапалы жұқа қабықша өнімділігін қамтамасыз ете алады.
– Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын жабдықтары өндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 9 желтоқсан