රික්තක පොම්ප නඩත්තු චක්‍ර සහ ප්‍රධාන සලකා බැලීම් ස්ථාවර රික්තක ආලේපන මෙහෙයුම් සඳහා තීරණාත්මක පදනමක්

රික්තක ආලේපන පද්ධතිවල, අවශ්‍ය ක්‍රියාවලි රික්තය ස්ථාපිත කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම සඳහා වගකිව යුතු මූලික ඒකකය වන්නේ රික්තක පොම්ප එකලස් කිරීමයි. එහි ක්‍රියාකාරී තත්ත්වය පොම්ප කිරීමේ වේගය, අවසාන පීඩනය, පද්ධති පිරිසිදුකම සහ ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හි අනුකූලතාව සහ ස්ථායිතාව කෙරෙහි සෘජුවම බලපායි. නිසි නඩත්තු චක්‍ර නිර්වචනය කිරීම සහ ප්‍රමිතිගත නඩත්තු ක්‍රියා පටිපාටි ක්‍රියාත්මක කිරීම රික්තක ආලේපන උපකරණවල දිගුකාලීන, විශ්වාසදායක ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

1. කාර්යභාරයආලේපන පද්ධතිවල රික්ත පොම්ප

PVD සහ CVD රික්ත ආලේපන ක්‍රියාවලීන්හිදී, රික්ත පොම්ප පද්ධති සාමාන්‍යයෙන් ආධාරක පොම්ප, මූල පොම්ප, විසරණ පොම්ප හෝ ටර්බෝමොලිකියුලර් පොම්ප වලින් සමන්විත වන අතර ඒවා තීරණාත්මක කාර්යයන් කිහිපයක් ඉටු කරයි:

අවශ්‍ය රික්ත පරාසය ස්ථාපිත කිරීම සහ පවත්වා ගැනීම

අවශේෂ වායූන්, තෙතමනය සහ ක්‍රියාවලි අතුරු නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමව ඉවත් කිරීම.

පටල ඝනත්වය සහ සංශුද්ධතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා පසුබිම් වායුවල අර්ධ පීඩන අඩු කිරීම.

ප්ලාස්මා ස්ථායිතාව සහ ක්‍රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කිරීම

පොම්ප ක්‍රියාකාරිත්වයේ ඕනෑම පිරිහීමක් පොම්ප කිරීමේ වේගය අඩුවීමට සහ අවසාන පීඩනය පිරිහීමට හේතු විය හැකි අතර, එය පටල ඇලවීම, ඒකාකාරිත්වය සහ අස්වැන්න කෙරෙහි සෘජුවම බලපායි.

2. පොදු රික්තක පොම්ප වර්ග සහ සාමාන්‍ය නඩත්තු කාල පරතරයන්
1. රොටරි වේන් පොම්ප

ප්‍රධාන නඩත්තු කාර්යයන්:

පොම්ප තෙල් පරීක්ෂා කිරීම සහ ප්රතිස්ථාපනය කිරීම

තෙල් මීදුම් පෙරහන් පිරිසිදු කිරීම

සීල් සහ වෑන් රථ පරීක්ෂා කිරීම

නිර්දේශිත කාල පරතරයන්:

තෙල් පරීක්ෂාව: සතිපතා

තෙල් ආදේශ කිරීම: සෑම මාස 3–6 කට වරක් (ක්‍රියාවලි වායු සහ ක්‍රියාකාරී වේලාවන් අනුව)

ප්‍රධාන සේවය: වාර්ෂිකව

2. මුල් පොම්ප

ප්‍රධාන නඩත්තු කාර්යයන්:

ගියර් පෙට්ටි සඳහා ලිහිසි තෙල් පරීක්ෂාව

පතුවළ මුද්‍රා සහ කප්ලිං පරීක්ෂා කිරීම

අභ්‍යන්තර පිරිසිදුකම පරීක්ෂා කිරීම

නිර්දේශිත කාල පරතරයන්:

ලිහිසි තෙල් පරීක්ෂාව: සෑම මාස 3 කට වරක්

ලිහිසි තෙල් ආදේශනය: වාර්ෂිකව

මෙහෙයුම් පරීක්ෂාවන්: මාසිකව

3. විසරණ පොම්ප

ප්‍රධාන නඩත්තු කාර්යයන්:

ඔක්සිකරණය හෝ දූෂණය සඳහා විසරණ පොම්ප තෙල් පරීක්ෂා කිරීම

සිසිලන ජල සංසරණය සත්‍යාපනය කිරීම

සීතල උගුල් සහ බැෆල් පිරිසිදු කිරීම

නිර්දේශිත කාල පරතරයන්:

තෙල් තත්ත්වය පරීක්ෂා කිරීම: සෑම මාස 3–6 කට වරක්

තෙල් ආදේශනය: සෑම මාස 12-24 කට වරක්

සීතල උගුල් පිරිසිදු කිරීම: සෑම මාස 6 කට වරක්

4. ටර්බෝමොලිකියුලර් පොම්ප

ප්‍රධාන නඩත්තු කාර්යයන්:

බෙයාරින් තත්ත්වය නිරීක්ෂණය කිරීම

කම්පනය සහ උෂ්ණත්වය නිරීක්ෂණය කිරීම

නිසි ආධාරක රික්තකය සහතික කිරීම

නිර්දේශිත කාල පරතරයන්:

මෙහෙයුම් පරාමිතීන් අඛණ්ඩව අධීක්ෂණය කිරීම

වෘත්තීය සේවා හෝ කර්මාන්තශාලා අලුත්වැඩියාව: සෑම වසර 3–5 කට වරක් (නිෂ්පාදක මාර්ගෝපදේශ අනුව)

3. ප්‍රධාන මෙහෙයුම් සලකා බැලීම්

සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම සහ ස්ථාවර පද්ධති ක්‍රියාකාරිත්වය පවත්වා ගැනීම සඳහා, පහත සඳහන් මෙහෙයුම් පිළිවෙත් අත්‍යවශ්‍ය වේ:

ඇතුල්වීමේ තත්ත්වයන් පාලනය කරන්න
අධික තෙතමනය, අංශු හෝ විඛාදන වායූන් පොම්පයට ඇතුළු වීම වළක්වන්න. අවශ්‍ය විටෙක සීතල උගුල්, පෙරහන් හෝ වායු හුදකලා උපාංග භාවිතා කළ යුතුය.

නිසි පොම්ප ගැලපීම සහතික කරන්න
අසාමාන්‍ය මෙහෙයුම් තත්ත්වයන් වළක්වා ගැනීම සඳහා ඉහළ රික්තක පොම්පවල ආරම්භක සහ මෙහෙයුම් අවශ්‍යතා සපුරාලීමට ආධාරක පොම්ප කාර්ය සාධනය අවශ්‍ය වේ.

මෙහෙයුම් පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කරන්න
උෂ්ණත්වය, ධාරාව, ​​කම්පනය සහ ශබ්දය කෙරෙහි දැඩි අවධානයක් යොමු කරන්න. ඕනෑම අසාමාන්‍ය වෙනස්කම් වහාම විමර්ශනය කළ යුතුය.

ප්‍රමිතිගත ආරම්භක සහ වසා දැමීමේ ක්‍රියා පටිපාටි අනුගමනය කරන්න
නිසි පොම්ප අනුපිළිවෙල මඟින් තෙල් පසුපසට ගලා යාම, ප්‍රතිලෝම ප්‍රවාහය සහ යාන්ත්‍රික ආතතිය වළක්වයි.

4. ආලේපන ක්‍රියාවලීන් කෙරෙහි නුසුදුසු නඩත්තු කිරීමේ බලපෑම

රික්තක පොම්ප නඩත්තුව ප්‍රමාණවත් නොවීම ක්‍රියාවලියට අදාළ ගැටළු මාලාවකට හේතු විය හැක, ඒවා අතර:

අවසාන පීඩනය අඩු කිරීම සහ පසුබිම් වායු ආංශික පීඩනය වැඩි කිරීම

පටලවලට අපිරිසිදු ද්‍රව්‍ය ඇතුළත් වීම වැඩි වීම, දෘශ්‍ය හෝ යාන්ත්‍රික ගුණාංග පිරිහීම.

පටල ඇලවීම අඩු වීම සහ දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය

ඉහළ උපකරණ අසාර්ථක වීමේ අනුපාත සහ සැලසුම් නොකළ අක්‍රීය කාලය

ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහ හිමිකාරිත්වයේ මුළු පිරිවැය යන දෘෂ්ටිකෝණ දෙකෙන්ම, වැළැක්වීමේ නඩත්තුව නිවැරදි කිරීමේ අලුත්වැඩියාවට වඩා බෙහෙවින් ඵලදායී වේ.

5. නිගමනය

රික්ත පොම්ප යනු "ධාවනය කර අමතක කරන" සංරචක නොව, ක්‍රියාවලි තත්වයන්, මෙහෙයුම් බර සහ පාරිසරික සාධක වලට අනුකූලව නඩත්තු උපාය මාර්ග අවශ්‍ය වන තීරණාත්මක වත්කම් වේ. හොඳින් අර්ථ දක්වා ඇති නඩත්තු චක්‍ර සහ ප්‍රමිතිගත මෙහෙයුම් ක්‍රියා පටිපාටි ක්‍රියාත්මක කිරීමෙන්, රික්ත ආලේපන පද්ධතිවලට දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වයක් ලබා ගත හැකි අතර ස්ථාවර, උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල කාර්ය සාධනයක් ලබා දිය හැකිය.
–මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කරන ලද්දේරික්ත ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදක ෂෙන්හුවා වැකුම් ක්ලීනර්