Mumasystem ekuputira vacuum, kuungana kwepombi ye vacuum ndiyo chinhu chikuru chinotarisira kugadzira nekuchengetedza process vacuum inodiwa. Mamiriro ayo ekushanda anokanganisa zvakananga kumhanya kwekupomba, kumanikidzwa kwakanyanya, kuchena kwesystem, uye kugara kwenguva refu uye kugadzikana kwemaitiro ekuputira. Kutsanangura maitiro ekugadzirisa akakodzera uye kushandisa maitiro ekugadzirisa akajairwa kwakakosha kuti kuve nechokwadi chekuti michina yekuputira vacuum inoshanda kwenguva refu uye yakavimbika.
1. Basa reMapombi eVacuum muMasisitimu Ekuputira
Mumaitiro ekuputira vacuum ePVD neCVD, masisitimu epombi dzevacuum anowanzo kuve nemapombi ekutsigira, mapombi eRoots, mapombi ekuparadzira, kana mapombi eturbomolecular, achiita mabasa akati wandei akakosha:
Kugadzira nekuchengetedza nzvimbo inodiwa ye vacuum
Kubvisa magasi akasara, hunyoro, uye zvinogadzirwa nemagadzirirwo zvinobudirira
Kuderedza kumanikidzwa kwegasi rekumashure kuti uwedzere huwandu hwemafirimu uye kuchena
Kuve nechokwadi chekugadzikana kweplasma uye kudzokorora kwemaitiro
Kuora kwese kwekushanda kwepombi kunogona kukonzera kudzikira kwekumhanya kwekupomba uye kudzikira kwekumanikidzwa kwekupedzisira, zvichikanganisa zvakananga kunamira kwefirimu, kufanana, uye goho.
2. Mhando dzePombi dzeVacuum dzakajairika uye Nguva dzekugadzirisa dzakajairika
1. Mapombi eRotary Vane
Mabasa makuru ekugadzirisa:
Kuongorora uye kutsiva mafuta epombi
Kuchenesa mafirita emafuta
Kuongororwa kwezvisimbiso nemavane
Nguva dzakakurudzirwa:
Kuongororwa kwemafuta: vhiki nevhiki
Kutsiva oiri: mwedzi mitatu kusvika mitanhatu yega yega (zvichienderana nemagasi ekushanda uye nguva dzekushanda)
Basa guru: gore rega rega
2. Mapombi emidzi
Mabasa makuru ekugadzirisa:
Kuongororwa kwemafuta emabhokisi emagiya
Kuongororwa kwezvisimbiso zvemugodhi uye zvinobatanidzwa
Kuongorora kuchena kwemukati
Nguva dzakakurudzirwa:
Kuongororwa kwemafuta: mwedzi mitatu yega yega
Kutsiva mafuta: gore rega rega
Kuongorora mashandiro: pamwedzi
3. Mapombi ekuparadzira
Mabasa makuru ekugadzirisa:
Kuongororwa kwemafuta epombi yekupararira kwemafuta kuti aone kana akasviba kana kusvibiswa
Kusimbiswa kwekutenderera kwemvura inotonhorera
Kucheneswa kwezvinotonhora zvinosunga uye zvinopwanya
Nguva dzakakurudzirwa:
Kuongorora mamiriro emafuta: mwedzi mitatu kusvika mitanhatu yega yega
Kutsiva oiri: mwedzi yega yega 12-24
Kuchenesa misungo inotonhora: mwedzi mitanhatu yega yega
4. Mapombi eTurbomolecular
Mabasa makuru ekugadzirisa:
Kutarisa mamiriro ekutakura
Kutarisa kudedera uye tembiricha
Kuve nechokwadi chekuti vacuum inobuda zvakanaka
Nguva dzakakurudzirwa:
Kuramba uchitarisa ma parameter ekushanda
Kugadzirisa fekitari nehunyanzvi: makore ese 3-5 (sezvinoenderana nemirairo yemugadziri)
3. Zvinhu Zvikuru Zvinofanira Kufungwa Nezvekushanda
Kuti uwedzere hupenyu hwebasa uye kuchengetedza mashandiro akagadzikana ehurongwa, maitiro anotevera ekushanda akakosha:
Mamiriro ekupinda kwemhepo
Dzivisa hunyoro hwakawandisa, tunhu tudiki, kana magasi anoparadza kuti asapinde mupombi. Misungo inotonhora, mafirita, kana michina inobvisa gasi inofanira kushandiswa kana zvichidikanwa.
Iva nechokwadi chekufananidza pombi zvakanaka
Kushanda kwepombi yekumashure kunofanirwa kusangana nezvinodiwa zvekutanga uye zvekushanda zvepombi dzine vacuum yakawanda kudzivirira mamiriro ekushanda asina kujairika.
Tarisa maparamita ekushanda
Nyatsoteerera tembiricha, simba remagetsi, kudedera, uye ruzha. Chero shanduko dzisiri dzenguva dzose dzinofanira kuongororwa nekukasika.
Tevedzera maitiro akajairwa ekutanga uye ekudzima
Kutevedzana kwemapombi nemazvo kunodzivirira oiri kudzokera shure, kuyerera kwemafuta kubva mumhepo kuenda mumhepo, uye kushushikana kwemagetsi.
4. Kukanganisa Kusagadziriswa Kwakanaka Kwemagadzirirwo Emachira
Kusagadziriswa kwakakwana kwepombi ye vacuum kunogona kukonzera matambudziko akawanda ane chekuita nemaitiro, anosanganisira:
Kuderedzwa kwekumanikidzwa kwakanyanya uye kuwedzera kwekumanikidzwa kwegasi rekumashure
Kuwedzera kwekusvibiswa kunobatanidzwa mumafirimu, zvinoderedza hunhu hwemaziso kana hwemakanika
Kuderera kwekunamatira kwefirimu uye kuvimbika kwenguva refu
Mwero wekutadza kushanda kwemidziyo wakakwira uye nguva yekusashanda isina kurongwa
Kubva pamaonero ekugadzikana kwemaitiro uye mutengo wemari yese yekuva muridzi, kuchengetedza kwekudzivirira kunoshanda zvakanyanya kupfuura kugadzirisa kwekugadzirisa.
5. Mhedziso
Pombi dzevacuum hazvisi zvinhu "zvinongoshanda uye zvinokanganwa" asi zvinhu zvakakosha zvinoda nzira dzekugadzirisa dzakagadzirirwa mamiriro ekushanda, mutoro wekushanda, uye zvinhu zvakatipoteredza. Nekushandisa nzira dzakanyatsotsanangurwa dzekugadzirisa uye maitiro ekushanda akajairwa, masisitimu ekuvhara vacuum anogona kuwana kugadzikana kwenguva refu uye kupa mashandiro efirimu akatetepa akaenzana, emhando yepamusoro.
–Chinyorwa ichi chakabudiswa namidziyo yekunamira ye vacuum mugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Zvita-09-2025