ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ಪರಿಗಣನೆಗಳು ಸ್ಥಿರವಾದ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಡಿಪಾಯ

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಜೋಡಣೆಯು ಅಗತ್ಯವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಜವಾಬ್ದಾರಿಯುತ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸ್ಥಿತಿಯು ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ, ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡ, ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸ್ವಚ್ಛತೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಸರಿಯಾದ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುವುದು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.

1. ಪಾತ್ರಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳು

PVD ಮತ್ತು CVD ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು, ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು, ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಟರ್ಬೊಮೋಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ಹಲವಾರು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ:

ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತ ಶ್ರೇಣಿಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು

ಉಳಿದ ಅನಿಲಗಳು, ತೇವಾಂಶ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉಪ-ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು.

ಪದರ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಹಿನ್ನೆಲೆ ಅನಿಲಗಳ ಭಾಗಶಃ ಒತ್ತಡಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು.

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು

ಪಂಪ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿನ ಯಾವುದೇ ಕುಸಿತವು ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ ಕಡಿಮೆಯಾಗಲು ಮತ್ತು ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡ ಹದಗೆಡಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಇದು ಫಿಲ್ಮ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

2. ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ವಿಧಗಳು ಮತ್ತು ವಿಶಿಷ್ಟ ನಿರ್ವಹಣೆ ಮಧ್ಯಂತರಗಳು
1. ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು

ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯಗಳು:

ಪಂಪ್ ಎಣ್ಣೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆ ಮತ್ತು ಬದಲಿ

ಎಣ್ಣೆ ಮಂಜು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ

ಸೀಲುಗಳು ಮತ್ತು ವ್ಯಾನ್‌ಗಳ ಪರಿಶೀಲನೆ

ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾದ ಮಧ್ಯಂತರಗಳು:

ತೈಲ ತಪಾಸಣೆ: ವಾರಕ್ಕೊಮ್ಮೆ

ತೈಲ ಬದಲಾವಣೆ: ಪ್ರತಿ 3–6 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ (ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ)

ಪ್ರಮುಖ ಸೇವೆ: ವಾರ್ಷಿಕವಾಗಿ

2. ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು

ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯಗಳು:

ಗೇರ್‌ಬಾಕ್ಸ್‌ಗಳಿಗೆ ಲೂಬ್ರಿಕಂಟ್ ತಪಾಸಣೆ

ಶಾಫ್ಟ್ ಸೀಲುಗಳು ಮತ್ತು ಜೋಡಣೆಗಳ ಪರಿಶೀಲನೆ

ಆಂತರಿಕ ಶುಚಿತ್ವ ಪರಿಶೀಲನೆಗಳು

ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾದ ಮಧ್ಯಂತರಗಳು:

ಲೂಬ್ರಿಕಂಟ್ ತಪಾಸಣೆ: ಪ್ರತಿ 3 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ

ಲೂಬ್ರಿಕಂಟ್ ಬದಲಿ: ವಾರ್ಷಿಕವಾಗಿ

ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆಗಳು: ಮಾಸಿಕ

3. ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್‌ಗಳು

ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯಗಳು:

ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್ ಎಣ್ಣೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆ

ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನ ಪರಿಚಲನೆಯ ಪರಿಶೀಲನೆ

ಶೀತ ಬಲೆಗಳು ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಫಲ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವುದು

ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾದ ಮಧ್ಯಂತರಗಳು:

ತೈಲ ಸ್ಥಿತಿ ಪರಿಶೀಲನೆ: ಪ್ರತಿ 3–6 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ

ತೈಲ ಬದಲಾವಣೆ: ಪ್ರತಿ 12–24 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ

ಕೋಲ್ಡ್ ಟ್ರಾಪ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ: ಪ್ರತಿ 6 ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ

4. ಟರ್ಬೊಮಾಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು

ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ವಹಣಾ ಕಾರ್ಯಗಳು:

ಬೇರಿಂಗ್ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವುದು

ಕಂಪನ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವುದು

ಸರಿಯಾದ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು

ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾದ ಮಧ್ಯಂತರಗಳು:

ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ನಿರಂತರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ

ವೃತ್ತಿಪರ ಸೇವೆ ಅಥವಾ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಕೂಲಂಕುಷ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಪ್ರತಿ 3–5 ವರ್ಷಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ (ತಯಾರಕರ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳ ಪ್ರಕಾರ)

3. ಪ್ರಮುಖ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪರಿಗಣನೆಗಳು

ಸೇವಾ ಅವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ಈ ಕೆಳಗಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ:

ನಿಯಂತ್ರಣ ಒಳಹರಿವಿನ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು
ಅತಿಯಾದ ತೇವಾಂಶ, ಕಣಗಳು ಅಥವಾ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಪಂಪ್‌ಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯಿರಿ. ಅಗತ್ಯವಿದ್ದಾಗ ಕೋಲ್ಡ್ ಟ್ರಾಪ್‌ಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಗ್ಯಾಸ್ ಐಸೋಲೇಷನ್ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.

ಸರಿಯಾದ ಪಂಪ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ
ಅಸಹಜ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳ ಆರಂಭಿಕ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬೇಕು.

ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಿ
ತಾಪಮಾನ, ಪ್ರವಾಹ, ಕಂಪನ ಮತ್ತು ಶಬ್ದದ ಬಗ್ಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಗಮನ ಕೊಡಿ. ಯಾವುದೇ ಅಸಹಜ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ತಕ್ಷಣವೇ ತನಿಖೆ ಮಾಡಬೇಕು.

ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಸ್ಟಾರ್ಟ್-ಅಪ್ ಮತ್ತು ಸ್ಥಗಿತಗೊಳಿಸುವ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಿ
ಸರಿಯಾದ ಪಂಪ್ ಅನುಕ್ರಮವು ತೈಲ ಹಿಮ್ಮುಖ ಹರಿವು, ಹಿಮ್ಮುಖ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

4. ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೇಲೆ ಅನುಚಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಯ ಪರಿಣಾಮ

ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ನ ಅಸಮರ್ಪಕ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ-ಸಂಬಂಧಿತ ಹಲವಾರು ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

ಕಡಿಮೆಯಾದ ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿದ ಹಿನ್ನೆಲೆ ಅನಿಲ ಭಾಗಶಃ ಒತ್ತಡ

ಪದರಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿದ ಕಲ್ಮಶ ಸಂಯೋಜನೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಥವಾ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಕೆಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಕಡಿಮೆಯಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ

ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಲಕರಣೆಗಳ ವೈಫಲ್ಯ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಯೋಜಿತವಲ್ಲದ ಅಲಭ್ಯತೆ

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಮಾಲೀಕತ್ವದ ಒಟ್ಟು ವೆಚ್ಚ ಎರಡರ ದೃಷ್ಟಿಕೋನದಿಂದ, ತಡೆಗಟ್ಟುವ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಸರಿಪಡಿಸುವ ದುರಸ್ತಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.

5. ತೀರ್ಮಾನ

ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳು "ರನ್-ಅಂಡ್-ಮರೆತುಹೋಗುವ" ಘಟಕಗಳಲ್ಲ, ಆದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳು, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹೊರೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಣಾ ತಂತ್ರಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸ್ವತ್ತುಗಳಾಗಿವೆ. ಉತ್ತಮವಾಗಿ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾದ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣೀಕೃತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುವ ಮೂಲಕ, ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ, ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನೀಡಬಹುದು.
–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ತಯಾರಕ ಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್