Ao amin'ny rafitra fanosorana banga, ny paompy banga no singa fototra tompon'andraikitra amin'ny fametrahana sy fitazonana ny banga ilaina amin'ny fizotran'ny asa. Ny toetry ny fiasany dia misy fiantraikany mivantana amin'ny hafainganam-pandehan'ny paompy, ny tsindry farany, ny fahadiovan'ny rafitra, ary ny tsy fiovaovana sy ny fahamarinan'ny fizotran'ny fanosorana. Ny famaritana ny tsingerin'ny fikojakojana sahaza sy ny fampiharana ny fomba fikojakojana manara-penitra dia tena ilaina mba hahazoana antoka fa miasa maharitra sy azo itokisana ny fitaovana fanosorana banga.
1. Andraikitry nyPaompy banga amin'ny rafitra fandokoana
Ao amin'ny dingana fanosorana banga PVD sy CVD, ny rafitra paompy banga dia mazàna ahitana paompy fanohanana, paompy faka, paompy diffusion, na paompy turbomolecular, izay manao asa manan-danja maromaro:
Fametrahana sy fitazonana ny elanelana banga ilaina
Fanesorana mahomby ny entona sisa tavela, ny hamandoana ary ny vokatra azo avy amin'ny fanodinana
Fampihenana ny tsindry ampahany amin'ny entona ambadika mba hanatsarana ny hakitroky ny sarimihetsika sy ny fahadiovana
Fiantohana ny fahamarinan'ny plasma sy ny famerimberenana ny dingana
Ny fihenan'ny fahombiazan'ny paompy dia mety hiteraka fihenan'ny hafainganam-pandehan'ny paompy sy ny fihenan'ny tsindry farany, izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fifikirana, ny fitoviana ary ny vokatra azo avy amin'ny sarimihetsika.
2. Karazana paompy banga mahazatra sy elanelam-potoana fikojakojana mahazatra
1. Paompy mihodinkodina
Asa fikojakojana fototra:
Fanaraha-maso sy fanoloana ny menaka paompy
Fanadiovana ny sivana zavona menaka
Fanaraha-maso ny tombo-kase sy ny vane
Elanelana atolotra:
Fanaraha-maso solika: isan-kerinandro
Fanoloana menaka: isaky ny 3–6 volana (miankina amin'ny entona fanodinana sy ny ora fiasana)
Serivisy lehibe: isan-taona
2. Paompy Roots
Asa fikojakojana fototra:
Fanaraha-maso ny menaka fanosotra ho an'ny boaty gear
Fanaraha-maso ny tombo-kase sy ny coupler an'ny shaft
Fanamarinana ny fahadiovana anatiny
Elanelana atolotra:
Fanaraha-maso ny menaka fanosotra: isaky ny 3 volana
Fanoloana menaka fanosotra: isan-taona
Fanamarinana ny asa: isam-bolana
3. Paompy fanaparitahana
Asa fikojakojana fototra:
Fanaraha-maso ny menaka paompy fanaparitahana raha misy oksidasiona na loto
Fanamarinana ny fivezivezen'ny rano mangatsiaka
Fanadiovana ny fandrika mangatsiaka sy ny baffles
Elanelana atolotra:
Fanamarinana ny toetran'ny menaka: isaky ny 3–6 volana
Fanoloana menaka: isaky ny 12–24 volana
Fanadiovana ny fandrika mangatsiaka: isaky ny 6 volana
4. Paompy Turbomolecular
Asa fikojakojana fototra:
Fanaraha-maso ny toe-javatra misy ny "bearing"
Fanaraha-maso ny hovitrovitra sy ny mari-pana
Fanomezana antoka ny fisian'ny banga fanohanana tsara
Elanelana atolotra:
Fanaraha-maso tsy tapaka ny masontsivana fiasana
Fikojakojana matihanina na fanavaozana ny orinasa: isaky ny 3–5 taona (araka ny torolalan'ny mpanamboatra)
3. Ireo fiheverana fototra momba ny asa
Mba hanalavana ny androm-piainan'ny fitaovana sy hihazonana ny fahombiazan'ny rafitra, dia ilaina ireto fomba fiasa manaraka ireto:
Fifehezana ny fepetra fidirana
Sarony ny fidiran'ny hamandoana be loatra, poti-javatra, na entona manimba ao anaty paompy. Tokony hampiasaina ny fandrika mangatsiaka, sivana, na fitaovana fanalana entona rehefa ilaina izany.
Ataovy azo antoka fa mifanaraka tsara ny paompy
Tsy maintsy mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fanombohana sy ny fiasan'ny paompy mampiasa banga be ny fahombiazan'ny paompy fanohanana mba hisorohana ny fepetra fiasana tsy ara-dalàna.
Araho maso ny masontsivana fiasana
Tandremo tsara ny mari-pana, ny fikorianan'ny herinaratra, ny hovitrovitra ary ny tabataba. Tokony hojerena haingana izay fiovana tsy ara-dalàna rehetra.
Araho ny fomba fiasa mahazatra amin'ny fanombohana sy fanakatonana ny fitaovana
Ny filaharan'ny paompy araka ny tokony ho izy dia misoroka ny fikorianan'ny solika miverina, ny fikorianan'ny solika mivadika, ary ny fihenjanana mekanika.
4. Fiantraikan'ny fikojakojana tsy mety amin'ny fizotran'ny fandokoana
Ny tsy fahampian'ny fikojakojana ny paompy banga dia mety hiteraka olana maro mifandraika amin'ny fizotran'ny asa, anisan'izany:
Nihena ny tsindry farany ary nitombo ny tsindry ampahany amin'ny entona ambadika
Fitomboan'ny loto tafiditra ao anaty sarimihetsika, manimba ny toetra optika na mekanika
Fihenan'ny fifikirana amin'ny sarimihetsika sy ny fahatokisana maharitra
Ny tahan'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana ambony kokoa sy ny fiatoana tsy ampoizina
Raha jerena ny fahamarinan'ny dingana sy ny totalin'ny fandaniana amin'ny fananana, dia mahomby kokoa ny fikojakojana fisorohana noho ny fanamboarana fanitsiana.
5. Famaranana
Tsy singa "avelao fotsiny" ny paompy banga fa fananana tena ilaina izay mitaky paikady fikojakojana mifanaraka amin'ny toe-javatra misy ny fizotran'ny asa, ny enta-mavesatry ny asa, ary ny anton-javatra manodidina. Amin'ny alàlan'ny fampiharana tsingerin'ny fikojakojana voafaritra tsara sy fomba fiasa manara-penitra, ny rafitra fametahana banga dia afaka mahazo fahamarinan-toerana maharitra ary manome fampisehoana sarimihetsika manify tsy miovaova sy avo lenta.
–Navoakan'nyfitaovana fanosotra banga mpanamboatra Zhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 09 Desambra 2025
