Дар системаҳои пӯшонидани вакуумӣ, маҷмӯи насоси вакуумӣ воҳиди асосие мебошад, ки барои таъсис ва нигоҳдории вакууми зарурии раванд масъул аст. Ҳолати кори он мустақиман ба суръати насоскунӣ, фишори ниҳоӣ, тозагии система ва мувофиқат ва устувории равандҳои пӯшондан таъсир мерасонад. Муайян кардани давраҳои дурусти нигоҳдорӣ ва татбиқи расмиёти стандартии нигоҳдорӣ барои таъмини кори дарозмуддат ва боэътимоди таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ муҳим аст.
1. НақшиНасосҳои вакуумӣ дар системаҳои рӯйпӯшкунӣ
Дар равандҳои пӯшонидани вакуумии PVD ва CVD, системаҳои насоси вакуумӣ одатан аз насосҳои пуштибонӣ, насосҳои Рутс, насосҳои диффузия ё насосҳои турбомолекулавӣ иборатанд, ки якчанд вазифаҳои муҳимро иҷро мекунанд:
Муқаррар ва нигоҳдории диапазони зарурии вакуум
Тозакунии самараноки газҳои боқимонда, намӣ ва маҳсулоти иловагии коркард
Кам кардани фишори қисмании газҳои замина барои беҳтар кардани зичии плёнка ва покӣ
Таъмини устувории плазма ва такроршавандагии раванд
Ҳар гуна паст шудани кори насос метавонад ба коҳиш ёфтани суръати насос ва бад шудани фишори ниҳоӣ оварда расонад, ки мустақиман ба часпакии плёнка, якрангӣ ва ҳосилнокӣ таъсир мерасонад.
2. Намудҳои маъмулии насосҳои вакуумӣ ва фосилаҳои маъмулии нигоҳдорӣ
1. Насосҳои гардишкунандаи вентилятсия
Вазифаҳои асосии нигоҳдорӣ:
Санҷиш ва иваз кардани равғани насос
Тоза кардани филтрҳои тумани равғанӣ
Санҷиши пломбаҳо ва винтҳо
Фосилаҳои тавсияшуда:
Санҷиши равған: ҳарҳафтаина
Иваз кардани равған: ҳар 3-6 моҳ (вобаста ба газҳои коркард ва соатҳои корӣ)
Хизматрасонии асосӣ: солона
2. Насосҳои Рутс
Вазифаҳои асосии нигоҳдорӣ:
Санҷиши равғани молиданӣ барои қуттиҳои редукторӣ
Санҷиши мӯҳрҳо ва муфтаҳои меҳвар
Санҷиши тозагии дохилӣ
Фосилаҳои тавсияшуда:
Санҷиши равған: ҳар 3 моҳ
Иваз кардани равған: солона
Санҷишҳои амалиётӣ: ҳармоҳа
3. Насосҳои диффузионӣ
Вазифаҳои асосии нигоҳдорӣ:
Санҷиши равғани насоси диффузионӣ барои оксидшавӣ ё ифлосшавӣ
Тасдиқи гардиши оби хунуккунӣ
Тоза кардани домҳои хунук ва монеаҳо
Фосилаҳои тавсияшуда:
Санҷиши ҳолати равған: ҳар 3-6 моҳ
Иваз кардани равған: ҳар 12-24 моҳ
Тозакунии домҳои хунук: ҳар 6 моҳ
4. Насосҳои турбомолекулавӣ
Вазифаҳои асосии нигоҳдорӣ:
Назорати ҳолати подшипник
Назорати ларзиш ва ҳарорат
Таъмини чангкашаки дурусти пуштибонӣ
Фосилаҳои тавсияшуда:
Мониторинги доимии параметрҳои амалиётӣ
Хизматрасонии касбӣ ё таъмири корхона: ҳар 3-5 сол (мувофиқи дастурҳои истеҳсолкунанда)
3. Мулоҳизаҳои асосии амалиётӣ
Барои дароз кардани мӯҳлати хизмати система ва нигоҳ доштани кори устувори он, риояи қоидаҳои зерин муҳим аст:
Шароити вурудиро назорат кунед
Аз ворид шудани намӣ аз ҳад зиёд, зарраҳо ё газҳои зангзананда ба насос пешгирӣ кунед. Дар ҳолати зарурӣ, бояд аз домҳои хунук, филтрҳо ё дастгоҳҳои изолятсияи газ истифода баред.
Мутобиқати дурусти насосро таъмин кунед
Фаъолияти насоси пуштибонӣ бояд ба талаботи оғоз ва кори насосҳои баландвакуумӣ ҷавобгӯ бошад, то аз шароити ғайримуқаррарии корӣ пешгирӣ карда шавад.
Параметрҳои кориро назорат кунед
Ба ҳарорат, ҷараён, ларзиш ва садо диққати ҷиддӣ диҳед. Ҳама гуна тағйироти ғайримуқаррарӣ бояд фавран тафтиш карда шаванд.
Тартиби стандартии оғоз ва қатъкуниро риоя кунед
Тартиби дурусти насос аз ҷараёни баръакси равған, ҷараёни баръакс ва фишори механикӣ пешгирӣ мекунад.
4. Таъсири нигоҳдории нодуруст ба равандҳои рӯйпӯшкунӣ
Нигоҳубини нодурусти насосҳои вакуумӣ метавонад ба як қатор мушкилоти марбут ба раванд оварда расонад, аз ҷумла:
Фишори ниҳоӣ коҳиш ёфт ва фишори қисмании гази замина афзоиш ёфт
Афзоиши воридшавии ифлосӣ ба плёнкаҳо, ки хосиятҳои оптикӣ ё механикиро паст мекунад
Кам шудани часпакии плёнка ва эътимоднокии дарозмуддат
Сатҳи баланди вайроншавии таҷҳизот ва корношоямии ғайринақшавӣ
Аз нигоҳи устувории раванд ва арзиши умумии моликият, нигоҳдории пешгирикунанда нисбат ба таъмири ислоҳӣ хеле самараноктар аст.
5. Хулоса
Насосҳои вакуумӣ ҷузъҳои "коркард ва фаромӯш" нестанд, балки дороиҳои муҳиме мебошанд, ки стратегияҳои нигоҳдориро, ки ба шароити раванд, бори амалиётӣ ва омилҳои муҳити зист мутобиқ карда шудаанд, талаб мекунанд. Бо татбиқи давраҳои хуб муайяншудаи нигоҳдорӣ ва тартиботи стандартишудаи амалиётӣ, системаҳои пӯшонидани вакуумӣ метавонанд ба устувории дарозмуддат ноил шаванд ва кори пайваста ва босифати плёнкаи тунукро таъмин намоянд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаасттаҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ истеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 09 декабри соли 2025