Vakuuminio siurblio priežiūros ciklai ir pagrindiniai aspektai. Svarbus stabilių vakuuminio dengimo operacijų pagrindas.

Vakuuminio dengimo sistemose vakuuminio siurblio mazgas yra pagrindinis mazgas, atsakingas už reikiamo proceso vakuumo sukūrimą ir palaikymą. Jo darbinė būklė tiesiogiai veikia siurbimo greitį, galutinį slėgį, sistemos švarą ir dengimo procesų nuoseklumą bei stabilumą. Tinkamų priežiūros ciklų apibrėžimas ir standartizuotų priežiūros procedūrų įgyvendinimas yra būtini siekiant užtikrinti ilgalaikį ir patikimą vakuuminio dengimo įrangos veikimą.

1. VaidmuoVakuuminiai siurbliai dengimo sistemose

PVD ir CVD vakuuminio dengimo procesuose vakuuminių siurblių sistemos paprastai susideda iš atraminių siurblių, Rutso siurblių, difuzinių siurblių arba turbomolekulinių siurblių, atliekančių keletą svarbių funkcijų:

Reikiamo vakuumo diapazono nustatymas ir palaikymas

Efektyvus likusių dujų, drėgmės ir proceso šalutinių produktų pašalinimas

Fono dujų dalinio slėgio mažinimas, siekiant pagerinti plėvelės tankį ir grynumą

Užtikrinant plazmos stabilumą ir proceso kartojamumą

Bet koks siurblio našumo pablogėjimas gali sumažinti siurbimo greitį ir pabloginti galutinį slėgį, o tai tiesiogiai veikia plėvelės sukibimą, vienodumą ir išeigą.

2. Įprasti vakuuminių siurblių tipai ir tipiniai priežiūros intervalai
1. Rotaciniai mentiniai siurbliai

Pagrindinės priežiūros užduotys:

Siurblio alyvos patikrinimas ir keitimas

Alyvos rūko filtrų valymas

Tarpiklių ir menčių patikrinimas

Rekomenduojami intervalai:

Alyvos patikra: kas savaitę

Alyvos keitimas: kas 3–6 mėnesius (priklausomai nuo proceso dujų ir darbo valandų)

Pagrindinė paslauga: kasmet

2. Roots Pumps

Pagrindinės priežiūros užduotys:

Pavarų dėžių tepalų patikra

Veleno sandariklių ir movų patikra

Vidinės švaros patikrinimai

Rekomenduojami intervalai:

Tepalų patikra: kas 3 mėnesius

Tepalų keitimas: kasmet

Veikimo patikrinimai: kas mėnesį

3. Difuziniai siurbliai

Pagrindinės priežiūros užduotys:

Difuzinio siurblio alyvos oksidacijos ar užterštumo patikra

Aušinimo vandens cirkuliacijos patikrinimas

Šaldymo sifonų ir pertvarų valymas

Rekomenduojami intervalai:

Alyvos būklės patikrinimas: kas 3–6 mėnesius

Alyvos keitimas: kas 12–24 mėnesius

Šalčio gaudyklių valymas: kas 6 mėnesius

4. Turbomolekuliniai siurbliai

Pagrindinės priežiūros užduotys:

Guolių būklės stebėjimas

Vibracijos ir temperatūros stebėjimas

Tinkamo pagrindo vakuumo užtikrinimas

Rekomenduojami intervalai:

Nuolatinis veikimo parametrų stebėjimas

Profesionalus aptarnavimas arba gamyklinis kapitalinis remontas: kas 3–5 metus (pagal gamintojo rekomendacijas)

3. Pagrindiniai veiklos aspektai

Norint prailginti sistemos tarnavimo laiką ir palaikyti stabilų veikimą, būtina laikytis šių eksploatavimo taisyklių:

Valdymo įleidimo angos sąlygos
Saugokite, kad į siurblį nepatektų per didelė drėgmė, kietosios dalelės ar korozinės dujos. Prireikus turėtų būti naudojami šaltieji gaudyklės, filtrai arba dujų izoliacijos įtaisai.

Užtikrinkite tinkamą siurblio atitikimą
Priešsiurblio našumas turi atitikti aukšto vakuumo siurblių paleidimo ir eksploatavimo reikalavimus, kad būtų išvengta nenormalių darbo sąlygų.

Stebėkite veikimo parametrus
Atidžiai stebėkite temperatūrą, srovę, vibraciją ir triukšmą. Bet kokius neįprastus pokyčius reikia nedelsiant ištirti.

Laikykitės standartizuotų paleidimo ir išjungimo procedūrų
Tinkamas siurblių išdėstymas apsaugo nuo alyvos atgalinio srauto, atvirkštinio tekėjimo ir mechaninio įtempimo.

4. Netinkamos priežiūros poveikis dengimo procesams

Netinkama vakuuminio siurblio priežiūra gali sukelti daugybę su procesu susijusių problemų, įskaitant:

Sumažintas galutinis slėgis ir padidėjęs foninių dujų dalinis slėgis

Padidėjęs priemaišų patekimas į plėveles, pabloginantis optines arba mechanines savybes

Sumažintas plėvelės sukibimas ir ilgalaikis patikimumas

Didesnis įrangos gedimų skaičius ir neplanuotos prastovos

Tiek proceso stabilumo, tiek bendrų eksploatavimo sąnaudų požiūriu, prevencinė priežiūra yra daug veiksmingesnė nei korekcinis remontas.

5. Išvada

Vakuuminiai siurbliai nėra „paleisk ir pamiršk“ tipo komponentai, o itin svarbūs įrenginiai, kuriems reikalingos priežiūros strategijos, pritaikytos prie proceso sąlygų, eksploatacinės apkrovos ir aplinkos veiksnių. Įgyvendinant tiksliai apibrėžtus priežiūros ciklus ir standartizuotas eksploatavimo procedūras, vakuuminės dengimo sistemos gali pasiekti ilgalaikį stabilumą ir užtikrinti nuoseklų, aukštos kokybės plonų plėvelių našumą.
– Šį straipsnį paskelbėvakuuminio dengimo įranga gamintojas Zhenhua dulkių siurblys