Wakuum örtük ulgamlarynda wakuum nasosynyň gurluşy zerur bolan proses wakuumyny döretmek we saklamak üçin jogapkär esasy birlikdir. Onuň işleýiş ýagdaýy nasos tizligine, iň soňky basyşa, ulgamyň arassalygyna, şeýle hem örtük prosesleriniň yzygiderliligine we durnuklylygyna gönüden-göni täsir edýär. Wakuum örtük enjamlarynyň uzak möhletli we ygtybarly işlemegini üpjün etmek üçin degişli tehniki hyzmat sikllerini kesgitlemek we standartlaşdyrylan tehniki hyzmat amallaryny ornaşdyrmak möhümdir.
1. RolÖrtük ulgamlarynda wakuum nasoslary
PVD we CVD wakuum örtük proseslerinde wakuum nasos ulgamlary, adatça, birnäçe möhüm funksiýalary ýerine ýetirýän arka nasoslardan, Roots nasoslaryndan, diffuziýa nasoslaryndan ýa-da turbomolekulýar nasoslardan ybarat:
Gerekli wakuum diapazonyny döretmek we saklamak
Galan gazlary, çyglylygy we gaýtadan işlemegiň goşmaça önümlerini netijeli aýyrmak
Plenkanyň dykyzlygyny we arassalygyny ýokarlandyrmak üçin fon gazlarynyň bölekleýin basyşyny azaltmak
Plazma durnuklylygyny we prosesiň gaýtalanmagyny üpjün etmek
Nasosyň işiniň islendik pese gaçmagy nasosyň tizliginiň peselmegine we basyşyň ýaramazlaşmagyna getirip biler, bu bolsa plýonkanyň ýelmeşmegine, deňligine we önümçiligine gönüden-göni täsir edýär.
2. Wakuum nasoslarynyň umumy görnüşleri we adaty tehniki hyzmat aralyklary
1. Aýlanýan pervaneli nasoslar
Esasy tehniki hyzmat işleri:
Nasos ýagynyň barlagy we çalşyrylmagy
Ýag duman süzgüçlerini arassalamak
Möhürleriň we perwanalaryň barlagy
Maslahat berilýän aralyklar:
Nebit barlagy: hepdede
Ýagy çalşyrmak: her 3–6 aýda (işleýiş gazlaryna we iş sagatlaryna baglylykda)
Esasy hyzmat: ýyllyk
2. Roots nasoslary
Esasy tehniki hyzmat işleri:
Reduktorlar üçin ýaglaýjy barlag
Şaft möhürleriniň we muftalarynyň barlagy
Içki arassaçylyk barlaglary
Maslahat berilýän aralyklar:
Ýaglaýjy materiallaryň barlagy: her 3 aýda bir gezek
Ýaglaýjy maddanyň çalşylmagy: her ýyl
Işleýiş barlaglary: aýda bir gezek
3. Diffuziýa nasoslary
Esasy tehniki hyzmat işleri:
Diffuziýa nasosynyň ýagynyň oksidlenme ýa-da hapalanma üçin barlagy
Sowadyjy suwuň aýlanyşygynyň barlanylmagy
Sowuk duzaklary we deflektorlary arassalamak
Maslahat berilýän aralyklar:
Ýagyň ýagdaýyny barlamak: her 3–6 aýda bir gezek
Ýagy çalşyrmak: her 12–24 aýda bir gezek
Sowuk duzaklary arassalamak: her 6 aýda bir gezek
4. Turbomolekulýar Nasoslar
Esasy tehniki hyzmat işleri:
Podşipnik ýagdaýyny gözegçilik etmek
Titreşmäni we temperaturany gözegçilik etmek
Arka wakuumyň dogry bolmagyny üpjün etmek
Maslahat berilýän aralyklar:
Işleýiş parametrleriniň yzygiderli gözegçiligi
Hünärmen hyzmaty ýa-da zawodyň düýpli abatlaýyş işleri: her 3–5 ýylda (önümçiniň görkezmelerine laýyklykda)
3. Esasy iş şertleri
Hyzmat ömrüni uzaltmak we ulgamyň durnukly işini saklamak üçin aşakdaky iş usullaryny berjaý etmek möhümdir:
Giriş şertlerini gözegçilikde saklaň
Nasosa artykmaç çyglylygyň, bölejikleriň ýa-da poslaýjy gazlaryň girmeginiň öňüni alyň. Zerur bolanda sowuk tutujylar, süzgüçler ýa-da gaz izolýasiýa enjamlary ulanylmaly.
Nasosy dogry gabat getirmegi üpjün ediň
Arka nasosyň işlemegi adatdan daşary iş şertleriniň öňüni almak üçin ýokary wakuum nasoslaryň işe girizme we işletme talaplaryna laýyk gelmelidir.
Işleýiş parametrlerini gözegçilikde saklaň
Temperatura, tok, titreme we şowhuna üns beriň. Islendik adatdan daşary üýtgeşmeler derrew derňelmelidir.
Standartlaşdyrylan işe girizmek we öçürmek amallaryna eýeriň
Nasosyň dogry yzygiderliligi ýagyň yzyna akmagynyň, ters akymyň we mehaniki dartgynlygyň öňüni alýar.
4. Ýaramaz tehniki hyzmatyň örtük proseslerine täsiri
Wakuum nasosynyň ýeterlik derejede tehniki hyzmatynyň ýoklugy birnäçe proses bilen baglanyşykly meselelere, şol sanda aşakdakylara getirip biler:
Iň soňky basyşyň peselmegi we fon gazynyň bölekleýin basyşynyň ýokarlanmagy
Plenkalara garyndylaryň goşulmagynyň artmagy, optiki ýa-da mehaniki häsiýetleriň ýaramazlaşmagy
Plenkanyň ýapyşmagynyň we uzak möhletli ygtybarlylygynyň peselmegi
Enjamlaryň näsazlyk derejesi we meýilleşdirilmedik işden çykma wagtynyň ýokary bolmagy
Proses durnuklylygy we eýeçiligiň umumy çykdajylary nukdaýnazaryndan, öňüni alyş tehniki hyzmat düzediş abatlaýyşdan has netijelidir.
5. Netije
Wakuum nasoslary "işledip ýatdan çykarýan" bölekler däl, eýsem önümçilik şertlerine, iş ýüküne we daşky gurşaw faktorlaryna laýyk gelýän tehniki hyzmat strategiýalaryny talap edýän möhüm serişdelerdir. Aýratyn kesgitlenen tehniki hyzmat sikllerini we standartlaşdyrylan işleýiş amallaryny ornaşdyrmak arkaly wakuum örtük ulgamlary uzak möhletli durnuklylygy gazanyp we yzygiderli, ýokary hilli inçe plýonka işini üpjün edip biler.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük enjamlary öndüriji Zhenhua tozan sorujy
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 9-njy dekabry