Trong các hệ thống phủ chân không, cụm bơm chân không là bộ phận cốt lõi chịu trách nhiệm thiết lập và duy trì độ chân không cần thiết cho quá trình. Tình trạng hoạt động của nó ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ bơm, áp suất cuối cùng, độ sạch của hệ thống, cũng như tính nhất quán và ổn định của quá trình phủ. Việc xác định chu kỳ bảo dưỡng phù hợp và thực hiện các quy trình bảo dưỡng tiêu chuẩn là rất cần thiết để đảm bảo hoạt động lâu dài và đáng tin cậy của thiết bị phủ chân không.
1. Vai trò củaMáy bơm chân không trong hệ thống phủ
Trong các quy trình phủ chân không PVD và CVD, hệ thống bơm chân không thường bao gồm các bơm hỗ trợ, bơm Roots, bơm khuếch tán hoặc bơm turbomolecular, thực hiện một số chức năng quan trọng:
Thiết lập và duy trì phạm vi chân không cần thiết.
Loại bỏ hiệu quả khí dư, hơi ẩm và các sản phẩm phụ của quá trình sản xuất.
Giảm áp suất riêng phần của khí nền để cải thiện mật độ và độ tinh khiết của màng phim.
Đảm bảo tính ổn định của plasma và khả năng lặp lại của quy trình.
Bất kỳ sự suy giảm nào về hiệu suất bơm đều có thể dẫn đến giảm tốc độ bơm và suy giảm áp suất cuối cùng, ảnh hưởng trực tiếp đến độ bám dính, độ đồng đều và hiệu suất của màng phim.
2. Các loại bơm chân không thông dụng và chu kỳ bảo dưỡng điển hình
1. Bơm cánh quay
Các nhiệm vụ bảo trì chính:
Kiểm tra và thay dầu bơm
Vệ sinh bộ lọc sương dầu
Kiểm tra gioăng và cánh quạt
Khoảng thời gian khuyến nghị:
Kiểm tra dầu nhớt: hàng tuần
Thay dầu: định kỳ 3-6 tháng một lần (tùy thuộc vào loại khí sử dụng trong quy trình và số giờ hoạt động)
Dịch vụ bảo trì chính: hàng năm
2. Máy bơm rễ
Các nhiệm vụ bảo trì chính:
Kiểm tra chất bôi trơn cho hộp số
Kiểm tra phớt trục và khớp nối
Kiểm tra vệ sinh nội bộ
Khoảng thời gian khuyến nghị:
Kiểm tra chất bôi trơn: 3 tháng một lần
Thay dầu bôi trơn: hàng năm
Kiểm tra vận hành: hàng tháng
3. Bơm khuếch tán
Các nhiệm vụ bảo trì chính:
Kiểm tra dầu bơm khuếch tán xem có bị oxy hóa hoặc nhiễm bẩn hay không.
Kiểm tra sự tuần hoàn của nước làm mát
Vệ sinh bẫy lạnh và vách ngăn
Khoảng thời gian khuyến nghị:
Kiểm tra tình trạng dầu nhớt: mỗi 3-6 tháng.
Thay dầu: mỗi 12–24 tháng
Vệ sinh bẫy lạnh: 6 tháng một lần
4. Bơm siêu phân tử
Các nhiệm vụ bảo trì chính:
Giám sát tình trạng ổ trục
Giám sát độ rung và nhiệt độ
Đảm bảo độ hút chân không thích hợp
Khoảng thời gian khuyến nghị:
Giám sát liên tục các thông số vận hành
Bảo dưỡng chuyên nghiệp hoặc đại tu tại nhà máy: cứ 3-5 năm một lần (theo hướng dẫn của nhà sản xuất)
3. Những cân nhắc quan trọng về mặt vận hành
Để kéo dài tuổi thọ và duy trì hiệu suất hệ thống ổn định, các thao tác vận hành sau đây là rất cần thiết:
Kiểm soát các điều kiện đầu vào
Ngăn chặn hơi ẩm quá mức, các hạt bụi hoặc khí ăn mòn xâm nhập vào bơm. Nên sử dụng bẫy lạnh, bộ lọc hoặc thiết bị cách ly khí khi cần thiết.
Đảm bảo lựa chọn máy bơm phù hợp.
Hiệu suất của bơm hỗ trợ phải đáp ứng các yêu cầu khởi động và vận hành của bơm chân không cao để tránh các điều kiện vận hành bất thường.
Giám sát các thông số hoạt động
Hãy đặc biệt chú ý đến nhiệt độ, dòng điện, độ rung và tiếng ồn. Bất kỳ thay đổi bất thường nào cũng cần được điều tra ngay lập tức.
Tuân thủ các quy trình khởi động và tắt máy tiêu chuẩn.
Việc sắp xếp trình tự bơm hợp lý giúp ngăn ngừa hiện tượng dầu chảy ngược, dòng chảy đảo chiều và ứng suất cơ học.
4. Tác động của việc bảo trì không đúng cách đến các quy trình sơn phủ
Việc bảo trì bơm chân không không đúng cách có thể dẫn đến một loạt các vấn đề liên quan đến quy trình, bao gồm:
Giảm áp suất cực đại và tăng áp suất riêng phần của khí nền.
Sự gia tăng lượng tạp chất lẫn vào màng phim, làm suy giảm các đặc tính quang học hoặc cơ học.
Giảm độ bám dính của màng phim và độ tin cậy lâu dài
Tỷ lệ hỏng hóc thiết bị cao hơn và thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch.
Từ cả góc độ ổn định quy trình và tổng chi phí sở hữu, bảo trì phòng ngừa hiệu quả hơn nhiều so với sửa chữa khắc phục.
5. Kết luận
Máy bơm chân không không phải là các bộ phận “vận hành rồi quên” mà là những tài sản quan trọng đòi hỏi các chiến lược bảo trì phù hợp với điều kiện quy trình, tải trọng vận hành và các yếu tố môi trường. Bằng cách thực hiện các chu kỳ bảo trì được xác định rõ ràng và các quy trình vận hành tiêu chuẩn hóa, hệ thống phủ chân không có thể đạt được sự ổn định lâu dài và mang lại hiệu suất màng mỏng chất lượng cao, nhất quán.
–Bài viết này được xuất bản bởithiết bị phủ chân không Nhà sản xuất Zhenhua Vacuum
Thời gian đăng bài: 09/12/2025