Вакуум каплау системаларында вакуум насосы җыелмасы кирәкле процесс вакуумын булдыру һәм саклау өчен җаваплы төп җайланма булып тора. Аның эш торышы насос тизлегенә, чик басымына, система чисталыгына, шулай ук каплау процессларының тотрыклылыгына һәм тотрыклылыгына турыдан-туры тәэсир итә. Вакуум каплау җиһазларының озак вакытлы һәм ышанычлы эшләвен тәэмин итү өчен тиешле хезмәт күрсәтү циклларын билгеләү һәм стандартлаштырылган хезмәт күрсәтү процедураларын гамәлгә ашыру бик мөһим.
1. РолеКаплау системаларындагы вакуум насослары
PVD һәм CVD вакуум каплау процессларында вакуум насос системалары гадәттә берничә мөһим функцияне башкаручы арткы насослардан, Рутс насосларыннан, диффузия насосларыннан яки турбомолекуляр насослардан тора:
Кирәкле вакуум диапазонын билгеләү һәм саклау
Калдык газларны, дымны һәм эшкәртү продуктларын нәтиҗәле бетерү
Пленка тыгызлыгын һәм сафлыгын яхшырту өчен фон газларының парциаль басымын киметү
Плазма тотрыклылыгын һәм процессның кабатланучанлыгын тәэмин итү
Насос эшчәнлегендәге теләсә нинди начарлану насослау тизлегенең кимүенә һәм чик басымының начарлануына китерергә мөмкин, бу турыдан-туры пленка ябышуына, бердәмлегенә һәм агып чыгуына тәэсир итә.
2. Вакуум насосларының еш очрый торган төрләре һәм типик хезмәт күрсәтү интерваллары
1. Әйләнмәле канатлы насослар
Төп хезмәт күрсәтү бурычлары:
Насос маен тикшерү һәм алыштыру
Май томан фильтрларын чистарту
Тыгызлагычларны һәм пыялаларны тикшерү
Тәкъдим ителгән интерваллар:
Май тикшерүе: атна саен
Майны алыштыру: һәр 3–6 ай саен (технология газларына һәм эш сәгатьләренә карап)
Төп хезмәт: ел саен
2. Roots насослары
Төп хезмәт күрсәтү бурычлары:
Редукторлар өчен майлау материалын тикшерү
Вал пломбаларын һәм муфталарын тикшерү
Эчке чисталык тикшерүләре
Тәкъдим ителгән интерваллар:
Майлау материалын тикшерү: һәр 3 ай саен
Майлау материалын алыштыру: ел саен
Оператив тикшерүләр: ай саен
3. Диффузия насослары
Төп хезмәт күрсәтү бурычлары:
Диффузион насос маеның оксидлашу яки пычрануга тикшерүе
Суыту суының әйләнешен тикшерү
Салкын тозакларны һәм комачаулаучы җайланмаларны чистарту
Тәкъдим ителгән интерваллар:
Май торышын тикшерү: һәр 3–6 ай саен
Майны алыштыру: һәр 12–24 ай саен
Салкын капкыннарны чистарту: һәр 6 ай саен
4. Турбомолекуляр насослар
Төп хезмәт күрсәтү бурычлары:
Подшипник торышын күзәтү
Тирбәнеш һәм температураны күзәтү
Тиешле арткы вакуумны тәэмин итү
Тәкъдим ителгән интерваллар:
Эш параметрларын даими күзәтү
Профессиональ хезмәт күрсәтү яки заводны капиталь ремонтлау: һәр 3–5 ел саен (җитештерүче күрсәтмәләре буенча)
3. Төп операцион мәсьәләләр
Системаның хезмәт итү вакытын озайту һәм тотрыклы эшләвен тәэмин итү өчен түбәндәге эш практикасы бик мөһим:
Керү шартларын контрольдә тоту
Насоска артык дым, кисәкчәләр яки коррозияле газлар керүенә юл куймагыз. Кирәк булганда, салкын тозаклар, фильтрлар яки газ изоляциясе җайланмалары кулланылырга тиеш.
Насосның дөрес туры килүен тәэмин итегез
Гадәти булмаган эш шартларын булдырмас өчен, арткы насосның эшләве югары вакуумлы насосларның эшләтеп җибәрү һәм эшләү таләпләренә туры килергә тиеш.
Эш параметрларын күзәтү
Температурага, ток көченә, тибрәнүгә һәм шауга игътибар итегез. Теләсә нинди аномаль үзгәрешләрне тиз арада тикшерергә кирәк.
Стандартлаштырылган эшләтеп җибәрү һәм сүндерү процедураларын үтәгез
Насосның дөрес эзлеклелеге майның кире агымын, кире агымын һәм механик көчәнешне булдырмый.
4. Каплау процессларына дөрес булмаган хезмәт күрсәтүнең йогынтысы
Вакуум насосына тиешенчә хезмәт күрсәтелмәү берничә процесс белән бәйле проблемаларга китерергә мөмкин, шул исәптән:
Төп басым кимүе һәм фон газының парциаль басымы арту
Пленкаларга кушылмаларның артуы, оптик яки механик үзенчәлекләрнең начарлануы
Пленка адгезиясенең кимүе һәм озак вакытлы ышанычлылык
Җиһазларның югарырак ватылу дәрәҗәсе һәм планлаштырылмаган эшләмәү вакыты
Процесс тотрыклылыгы һәм гомуми милек бәясе ягыннан караганда, профилактик хезмәт күрсәтү төзәтүләргә караганда күпкә нәтиҗәлерәк.
5. Йомгаклау
Вакуум насослары "эшләтеп онытучы" компонентлар түгел, ә процесс шартларына, эксплуатация йөкләмәсенә һәм әйләнә-тирә мохит факторларына туры китереп эшләнгән хезмәт күрсәтү стратегияләрен таләп итә торган мөһим активлар. Төгәл билгеләнгән хезмәт күрсәтү циклларын һәм стандартлаштырылган эш процедураларын гамәлгә ашыру аша вакуум каплау системалары озак вакытлы тотрыклылыкка ирешә һәм югары сыйфатлы юка пленка эшчәнлеген тәэмин итә ала.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылганвакуум каплау җиһазлары җитештерүче Zhenhua Powder
Бастырылган вакыты: 2025 елның 9 декабре