Vakuumli qoplama tizimlarida vakuum nasosi yig'ilishi kerakli jarayon vakuumini o'rnatish va saqlash uchun mas'ul bo'lgan asosiy blok hisoblanadi. Uning ish holati nasos tezligiga, yakuniy bosimga, tizimning tozaligiga va qoplama jarayonlarining izchilligi va barqarorligiga bevosita ta'sir qiladi. To'g'ri texnik xizmat ko'rsatish sikllarini aniqlash va standartlashtirilgan texnik xizmat ko'rsatish tartiblarini amalga oshirish vakuumli qoplama uskunalarining uzoq muddatli va ishonchli ishlashini ta'minlash uchun juda muhimdir.
1. RoliQoplama tizimlarida vakuum nasoslari
PVD va CVD vakuumli qoplama jarayonlarida vakuum nasos tizimlari odatda bir nechta muhim funktsiyalarni bajaradigan orqa nasoslar, Roots nasoslari, diffuziya nasoslari yoki turbomolekulyar nasoslardan iborat:
Kerakli vakuum diapazonini o'rnatish va saqlash
Qoldiq gazlar, namlik va ishlov berish mahsulotlarini samarali ravishda olib tashlash
Plyonka zichligi va sofligini oshirish uchun fon gazlarining qisman bosimini kamaytirish
Plazma barqarorligi va jarayonning takrorlanishini ta'minlash
Nasos ishlashining har qanday yomonlashishi nasos tezligining pasayishiga va yakuniy bosimning yomonlashishiga olib kelishi mumkin, bu esa plyonka yopishishiga, bir xilligiga va hosildorligiga bevosita ta'sir qiladi.
2. Vakuum nasoslarining keng tarqalgan turlari va odatiy texnik xizmat ko'rsatish oraliqlari
1. Aylanma qanotli nasoslar
Asosiy texnik xizmat ko'rsatish vazifalari:
Nasos moyini tekshirish va almashtirish
Yog 'tuman filtrlarini tozalash
Muhrlar va qanotlarni tekshirish
Tavsiya etilgan intervallar:
Yog 'tekshiruvi: haftalik
Moy almashtirish: har 3–6 oyda (ishlov berish gazlari va ish vaqtiga qarab)
Asosiy xizmat: yillik
2. Roots nasoslari
Asosiy texnik xizmat ko'rsatish vazifalari:
Vites qutilari uchun moylash materiallarini tekshirish
Mil muhrlari va muftalarini tekshirish
Ichki tozalikni tekshirish
Tavsiya etilgan intervallar:
Yog'larni tekshirish: har 3 oyda
Yog'larni almashtirish: har yili
Operatsion tekshiruvlar: oylik
3. Diffuziya nasoslari
Asosiy texnik xizmat ko'rsatish vazifalari:
Diffuziya nasosi moyining oksidlanish yoki ifloslanish uchun tekshiruvi
Sovutish suvi aylanishini tekshirish
Sovuq tuzoqlar va to'siqlarni tozalash
Tavsiya etilgan intervallar:
Yog 'holatini tekshirish: har 3-6 oyda
Moy almashtirish: har 12–24 oyda
Sovuq tuzoqlarni tozalash: har 6 oyda
4. Turbomolekulyar nasoslar
Asosiy texnik xizmat ko'rsatish vazifalari:
Rulman holatini kuzatish
Vibratsiya va haroratni kuzatish
To'g'ri orqa vakuumni ta'minlash
Tavsiya etilgan intervallar:
Ishlash parametrlarini doimiy ravishda monitoring qilish
Professional xizmat ko'rsatish yoki zavodni ta'mirlash: har 3-5 yilda (ishlab chiqaruvchining ko'rsatmalariga muvofiq)
3. Asosiy operatsion mulohazalar
Tizimning ishlash muddatini uzaytirish va uning barqaror ishlashini ta'minlash uchun quyidagi operatsion amaliyotlar juda muhimdir:
Kirish sharoitlarini boshqarish
Nasosga ortiqcha namlik, zarrachalar yoki korroziv gazlarning kirishiga yo'l qo'ymang. Zarur bo'lganda sovuq tuzoqlar, filtrlar yoki gaz izolyatsiya moslamalaridan foydalanish kerak.
Nasosning to'g'ri mos kelishini ta'minlang
Orqa nasosning ishlashi g'ayritabiiy ish sharoitlarining oldini olish uchun yuqori vakuumli nasoslarning ishga tushirish va ishlash talablariga javob berishi kerak.
Operatsion parametrlarni kuzatib boring
Harorat, tok, tebranish va shovqinga diqqat bilan e'tibor bering. Har qanday g'ayritabiiy o'zgarishlarni darhol tekshirish kerak.
Standartlashtirilgan ishga tushirish va o'chirish tartib-qoidalariga amal qiling
Nasosning to'g'ri ketma-ketligi moyning orqaga qaytishini, teskari oqimini va mexanik kuchlanishni oldini oladi.
4. Noto'g'ri texnik xizmat ko'rsatishning qoplama jarayonlariga ta'siri
Vakuum nasosining noto'g'ri ishlashi bir qator jarayonlar bilan bog'liq muammolarga olib kelishi mumkin, jumladan:
Maksimal bosimning pasayishi va fon gazining qisman bosimining oshishi
Plyonkalarga aralashmalarning ko'payishi, optik yoki mexanik xususiyatlarni yomonlashtirishi
Filmning yopishishi va uzoq muddatli ishonchliligining pasayishi
Uskunalarning ishdan chiqish darajasi yuqori va rejalashtirilmagan ishlamay qolish vaqti
Jarayon barqarorligi va egalik qilishning umumiy qiymati nuqtai nazaridan, profilaktik texnik xizmat ko'rsatish tuzatish ishlariga qaraganda ancha samaraliroq.
5. Xulosa
Vakuum nasoslari "ishlatib-unutib" qo'yiladigan komponentlar emas, balki jarayon sharoitlari, operatsion yuklama va atrof-muhit omillariga moslashtirilgan texnik xizmat ko'rsatish strategiyalarini talab qiladigan muhim aktivlardir. Aniq belgilangan texnik xizmat ko'rsatish sikllari va standartlashtirilgan ish tartiblarini amalga oshirish orqali vakuum qoplama tizimlari uzoq muddatli barqarorlikka erishishi va izchil, yuqori sifatli yupqa plyonka ishlashini ta'minlashi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari ishlab chiqaruvchi Zhenhua vakuum
Nashr vaqti: 2025-yil 9-dekabr