Mga Siklo ng Pagpapanatili ng Vacuum Bomb at mga Pangunahing Pagsasaalang-alang Isang Kritikal na Pundasyon para sa Matatag na Operasyon ng Vacuum Coating

Sa mga sistema ng vacuum coating, ang vacuum pump assembly ang pangunahing yunit na responsable sa pagtatatag at pagpapanatili ng kinakailangang vacuum ng proseso. Ang kondisyon ng pagpapatakbo nito ay direktang nakakaapekto sa bilis ng pagbomba, ultimate pressure, kalinisan ng sistema, at sa pagkakapare-pareho at katatagan ng mga proseso ng coating. Ang pagtukoy ng wastong mga siklo ng pagpapanatili at pagpapatupad ng mga standardized na pamamaraan ng pagpapanatili ay mahalaga upang matiyak ang pangmatagalan at maaasahang operasyon ng kagamitan sa vacuum coating.

1. Tungkulin ngMga Vacuum Pump sa mga Sistema ng Patong

Sa mga proseso ng PVD at CVD vacuum coating, ang mga sistema ng vacuum pump ay karaniwang binubuo ng mga backing pump, Roots pump, diffusion pump, o turbomolecular pump, na gumaganap ng ilang kritikal na tungkulin:

Pagtatatag at pagpapanatili ng kinakailangang saklaw ng vacuum

Mahusay na pag-alis ng mga natitirang gas, kahalumigmigan, at mga by-product ng proseso

Pagbabawas ng bahagyang presyon ng mga gas sa background upang mapabuti ang densidad at kadalisayan ng pelikula

Pagtitiyak ng katatagan ng plasma at kakayahang maulit ang proseso

Ang anumang pagkasira sa pagganap ng bomba ay maaaring humantong sa pagbaba ng bilis ng pagbomba at paghina ng ultimate pressure, na direktang nakakaapekto sa pagdikit, pagkakapareho, at ani ng pelikula.

2. Mga Karaniwang Uri ng Vacuum Pump at Karaniwang mga Agwat ng Pagpapanatili
1. Mga Rotary Vane Pump

Mga pangunahing gawain sa pagpapanatili:

Inspeksyon at pagpapalit ng langis ng bomba

Paglilinis ng mga filter ng oil mist

Inspeksyon ng mga selyo at mga pala

Mga inirerekomendang pagitan:

Inspeksyon ng langis: lingguhan

Pagpapalit ng langis: kada 3-6 na buwan (depende sa mga gas na proseso at oras ng pagpapatakbo)

Pangunahing serbisyo: taun-taon

2. Mga Bomba ng Roots

Mga pangunahing gawain sa pagpapanatili:

Inspeksyon ng pampadulas para sa mga gearbox

Inspeksyon ng mga seal ng shaft at mga coupling

Mga pagsusuri sa panloob na kalinisan

Mga inirerekomendang pagitan:

Inspeksyon ng pampadulas: kada 3 buwan

Pagpapalit ng pampadulas: taun-taon

Mga pagsusuri sa operasyon: buwanan

3. Mga Bomba ng Difusyon

Mga pangunahing gawain sa pagpapanatili:

Inspeksyon ng langis ng diffusion pump para sa oksihenasyon o kontaminasyon

Pagpapatunay ng sirkulasyon ng tubig na nagpapalamig

Paglilinis ng mga cold trap at baffle

Mga inirerekomendang pagitan:

Pagsusuri sa kondisyon ng langis: kada 3–6 na buwan

Pagpapalit ng langis: kada 12–24 na buwan

Paglilinis ng cold trap: kada 6 na buwan

4. Mga Turbomolecular Pump

Mga pangunahing gawain sa pagpapanatili:

Pagsubaybay sa kondisyon ng bearing

Pagsubaybay sa panginginig ng boses at temperatura

Pagtiyak ng wastong backing vacuum

Mga inirerekomendang pagitan:

Patuloy na pagsubaybay sa mga parameter ng pagpapatakbo

Propesyonal na pagseserbisyo o pagsasaayos ng pabrika: kada 3–5 taon (ayon sa mga alituntunin ng tagagawa)

3. Mga Pangunahing Konsiderasyon sa Operasyon

Upang mapalawig ang buhay ng serbisyo at mapanatili ang matatag na pagganap ng sistema, mahalaga ang mga sumusunod na kasanayan sa pagpapatakbo:

Kontrolin ang mga kondisyon ng pasukan
Pigilan ang labis na kahalumigmigan, mga particulate, o mga kinakaing unti-unting gas na makapasok sa bomba. Dapat gumamit ng mga cold trap, filter, o gas isolation device kung kinakailangan.

Tiyakin ang wastong pagtutugma ng bomba
Dapat matugunan ng pagganap ng backing pump ang mga kinakailangan sa pagsisimula at pagpapatakbo ng mga high-vacuum pump upang maiwasan ang mga abnormal na kondisyon ng pagpapatakbo.

Subaybayan ang mga parameter ng pagpapatakbo
Bigyang-pansin ang temperatura, kuryente, panginginig ng boses, at ingay. Anumang abnormal na pagbabago ay dapat agad na imbestigahan.

Sundin ang mga pamantayang pamamaraan sa pagsisimula at pagsasara
Ang wastong pump sequencing ay pumipigil sa oil backstreaming, reverse flow, at mechanical stress.

4. Epekto ng Hindi Wastong Pagpapanatili sa mga Proseso ng Patong

Ang hindi sapat na pagpapanatili ng vacuum pump ay maaaring humantong sa isang serye ng mga isyu na nauugnay sa proseso, kabilang ang:

Nabawasan ang ultimate pressure at tumaas na background gas partial pressure

Nadagdagang pagsasama ng dumi sa mga pelikula, na nagpapababa ng mga katangiang optikal o mekanikal

Nabawasan ang pagdikit ng pelikula at pangmatagalang pagiging maaasahan

Mas mataas na antas ng pagkabigo ng kagamitan at hindi planadong downtime

Mula sa parehong perspektibo ng katatagan ng proseso at kabuuang halaga ng pagmamay-ari, ang preventive maintenance ay mas epektibo kaysa sa corrective repair.

5. Konklusyon

Ang mga vacuum pump ay hindi mga bahaging "pabayaan at kalimutan" kundi mga mahahalagang asset na nangangailangan ng mga estratehiya sa pagpapanatili na iniayon sa mga kondisyon ng proseso, karga sa pagpapatakbo, at mga salik sa kapaligiran. Sa pamamagitan ng pagpapatupad ng mahusay na natukoy na mga siklo ng pagpapanatili at mga pamantayang pamamaraan sa pagpapatakbo, ang mga vacuum coating system ay makakamit ang pangmatagalang katatagan at makapaghatid ng pare-pareho at mataas na kalidad na pagganap ng manipis na pelikula.
–Ang artikulong ito ay inilathala ngkagamitan sa patong ng vacuum tagagawa ng Zhenhua Vacuum