Í lofttæmishúðunarkerfum er lofttæmisdælubúnaðurinn kjarninn í því að koma á og viðhalda nauðsynlegu lofttæmi í ferlinu. Rekstrarástand hennar hefur bein áhrif á dæluhraða, hámarksþrýsting, hreinleika kerfisins og samræmi og stöðugleika húðunarferla. Að skilgreina rétt viðhaldslotur og innleiða staðlaðar viðhaldsferla er nauðsynlegt til að tryggja langtíma og áreiðanlegan rekstur lofttæmishúðunarbúnaðar.
1. HlutverkLofttæmisdælur í húðunarkerfum
Í PVD og CVD lofttæmisferlum samanstanda lofttæmisdælukerfi venjulega af bakdælum, rótardælum, dreifidælum eða túrbósameindadælum, sem gegna nokkrum mikilvægum hlutverkum:
Að koma á og viðhalda nauðsynlegu lofttæmissviði
Skilvirk fjarlæging á leifargasi, raka og aukaafurðum úr ferlinu
Að draga úr hlutaþrýstingi bakgrunnslofttegunda til að bæta filmuþéttleika og hreinleika
Að tryggja stöðugleika plasma og endurtekningarhæfni ferla
Öll lækkun á afköstum dælunnar getur leitt til minnkaðs dæluhraða og versnandi lokaþrýstings, sem hefur bein áhrif á viðloðun filmunnar, einsleitni og afköst.
2. Algengar gerðir lofttæmisdælna og dæmigerð viðhaldstímabil
1. Snúningsblöðudælur
Helstu viðhaldsverkefni:
Skoðun og skipti á dæluolíu
Þrif á olíuþokusíum
Skoðun á þéttingum og blöðkum
Ráðlagður tími:
Olíuskoðun: vikulega
Olíuskipti: á 3–6 mánaða fresti (fer eftir ferlislofttegundum og rekstrartíma)
Helsta þjónusta: árlega
2. Rótardælur
Helstu viðhaldsverkefni:
Smurefnisskoðun fyrir gírkassa
Skoðun á öxulþéttingum og tengingum
Innri hreinlætiseftirlit
Ráðlagður tími:
Smurefnisskoðun: á 3 mánaða fresti
Skipti á smurolíu: árlega
Rekstrareftirlit: mánaðarlega
3. Dreifingardælur
Helstu viðhaldsverkefni:
Skoðun á olíu dreifidælu vegna oxunar eða mengunar
Staðfesting á kælivatnsrás
Þrif á köldum gildrum og kælivökvum
Ráðlagður tími:
Olíuástandsskoðun: á 3–6 mánaða fresti
Olíuskipti: á 12–24 mánaða fresti
Hreinsun á kælivökva: á 6 mánaða fresti
4. Túrbósameindadælur
Helstu viðhaldsverkefni:
Eftirlit með ástandi legunnar
Eftirlit með titringi og hitastigi
Að tryggja rétta tómarúm í bakhliðinni
Ráðlagður tími:
Stöðug eftirlit með rekstrarbreytum
Fagleg þjónusta eða yfirferð í verksmiðju: á 3–5 ára fresti (samkvæmt leiðbeiningum framleiðanda)
3. Lykilatriði í rekstri
Til að lengja líftíma kerfisins og viðhalda stöðugri afköstum eru eftirfarandi starfshættir nauðsynlegir:
Stjórna inntaksskilyrðum
Komið í veg fyrir að of mikill raki, agnir eða ætandi lofttegundir komist inn í dæluna. Nota skal kaldafellur, síur eða gaseinangrunarbúnað eftir þörfum.
Tryggið rétta samsvörun dælunnar
Afköst bakdælunnar verða að uppfylla kröfur um ræsingu og notkun hálofttæmisdælna til að koma í veg fyrir óeðlilegar rekstraraðstæður.
Eftirlit með rekstrarbreytum
Fylgist vel með hitastigi, straumi, titringi og hávaða. Rannsaka skal allar óeðlilegar breytingar tafarlaust.
Fylgdu stöðluðum ræsingar- og lokunarferlum
Rétt röðun dælunnar kemur í veg fyrir bakstreymi olíu, öfuga flæði og vélrænt álag.
4. Áhrif óviðeigandi viðhalds á húðunarferli
Ófullnægjandi viðhald á lofttæmisdælu getur leitt til ýmissa vandamála sem tengjast ferlinu, þar á meðal:
Minnkaður lokaþrýstingur og aukinn hlutaþrýstingur í bakgrunni gassins
Aukin óhreinindi í filmum, sem hefur áhrif á sjónræna eða vélræna eiginleika.
Minnkuð viðloðun filmu og langtímaáreiðanleiki
Hærri bilunartíðni í búnaði og ófyrirséður niðurtími
Bæði frá sjónarhóli stöðugleika ferla og heildarkostnaðar við eignarhald er fyrirbyggjandi viðhald mun árangursríkara en leiðréttingar.
5. Niðurstaða
Lofttæmisdælur eru ekki íhlutir sem hægt er að „keyra og gleyma“ heldur mikilvægar eigur sem krefjast viðhaldsáætlana sem eru sniðnar að ferlisaðstæðum, rekstrarálagi og umhverfisþáttum. Með því að innleiða vel skilgreind viðhaldsferli og staðlaðar verklagsreglur geta lofttæmisdælukerfi náð langtímastöðugleika og skilað samræmdri, hágæða þunnfilmuafköstum.
–Þessi grein var birt aftómarúmshúðunarbúnaður framleiðandi Zhenhua tómarúm
Birtingartími: 9. des. 2025