Վակուումային պոմպերի սպասարկման ցիկլեր և հիմնական նկատառումներ՝ կայուն վակուումային ծածկույթների շահագործման կարևորագույն հիմք

Վակուումային ծածկույթների համակարգերում վակուումային պոմպի հավաքակազմը հիմնական միավորն է, որը պատասխանատու է անհրաժեշտ գործընթացային վակուումը ստեղծելու և պահպանելու համար: Դրա աշխատանքային վիճակը անմիջականորեն ազդում է պոմպի արագության, վերջնական ճնշման, համակարգի մաքրության, ինչպես նաև ծածկույթների գործընթացների հետևողականության և կայունության վրա: Վակուումային ծածկույթների սարքավորումների երկարատև և հուսալի աշխատանքն ապահովելու համար անհրաժեշտ է պատշաճ սպասարկման ցիկլերի սահմանումը և ստանդարտացված սպասարկման ընթացակարգերի իրականացումը:

1. ԴերըՎակուումային պոմպեր ծածկույթային համակարգերում

PVD և CVD վակուումային ծածկույթների գործընթացներում վակուումային պոմպերի համակարգերը սովորաբար բաղկացած են հենարանային պոմպերից, Roots պոմպերից, դիֆուզիոն պոմպերից կամ տուրբոմոլեկուլային պոմպերից, որոնք կատարում են մի քանի կարևոր գործառույթներ՝

Պահանջվող վակուումային տիրույթի ստեղծում և պահպանում

Մնացորդային գազերի, խոնավության և գործընթացի ենթամթերքների արդյունավետ հեռացում

Ֆոնային գազերի մասնակի ճնշումների նվազեցում՝ թաղանթի խտությունն ու մաքրությունը բարելավելու համար

Պլազմայի կայունության և գործընթացի կրկնելիության ապահովում

Պոմպի աշխատանքի ցանկացած վատթարացում կարող է հանգեցնել պոմպային արագության նվազմանը և վերջնական ճնշման վատթարացմանը, ինչը անմիջականորեն ազդում է թաղանթի կպչունության, միատարրության և արտադրողականության վրա։

2. Վակուումային պոմպերի տարածված տեսակները և սպասարկման բնորոշ ժամանակահատվածները
1. Պտտվող թևավոր պոմպեր

Հիմնական սպասարկման առաջադրանքներ.

Պոմպի յուղի ստուգում և փոխարինում

Յուղի մշուշի ֆիլտրերի մաքրում

Կնիքների և թևերի ստուգում

Առաջարկվող ժամանակահատվածներ՝

Յուղի ստուգում՝ շաբաթական

Յուղի փոխարինում՝ յուրաքանչյուր 3-6 ամիսը մեկ (կախված տեխնոլոգիական գազերից և աշխատանքային ժամերից)

Հիմնական ծառայություն՝ տարեկան

2. Արմատների պոմպեր

Հիմնական սպասարկման առաջադրանքներ.

Փոխանցման տուփերի քսանյութի ստուգում

Լիսեռի կնիքների և միացումների ստուգում

Ներքին մաքրության ստուգումներ

Առաջարկվող ժամանակահատվածներ՝

Լուբրիկանտի ստուգում՝ յուրաքանչյուր 3 ամիսը մեկ

Քսուքի փոխարինում. տարեկան

Գործառնական ստուգումներ՝ ամսական

3. Դիֆուզիոն պոմպեր

Հիմնական սպասարկման առաջադրանքներ.

Դիֆուզիոն պոմպի յուղի ստուգում օքսիդացման կամ աղտոտման համար

Սառեցնող ջրի շրջանառության ստուգում

Սառը թակարդների և միջնորմների մաքրում

Առաջարկվող ժամանակահատվածներ՝

Յուղի վիճակի ստուգում՝ յուրաքանչյուր 3-6 ամիսը մեկ

Յուղի փոխարինում՝ յուրաքանչյուր 12-24 ամիսը մեկ

Սառը թակարդի մաքրում. յուրաքանչյուր 6 ամիսը մեկ

4. Տուրբոմոլեկուլային պոմպեր

Հիմնական սպասարկման առաջադրանքներ.

Կրողակալների վիճակի մոնիթորինգ

Թրթռման և ջերմաստիճանի մոնիթորինգ

Ապահովելով պատշաճ հենարանային վակուում

Առաջարկվող ժամանակահատվածներ՝

Գործառնական պարամետրերի անընդհատ մոնիթորինգ

Մասնագիտական ​​սպասարկում կամ գործարանային վերանորոգում՝ յուրաքանչյուր 3-5 տարին մեկ (ըստ արտադրողի ուղեցույցների)

3. Հիմնական գործառնական նկատառումներ

Համակարգի կայուն աշխատանքը պահպանելու և ծառայության ժամկետը երկարացնելու համար անհրաժեշտ է պահպանել հետևյալ աշխատանքային մեթոդները.

Կառավարման մուտքի պայմանները
Կանխեք պոմպի մեջ ավելորդ խոնավության, մասնիկների կամ կոռոզիոն գազերի ներթափանցումը: Անհրաժեշտության դեպքում պետք է օգտագործվեն սառը թակարդներ, ֆիլտրեր կամ գազի մեկուսացման սարքեր:

Ապահովեք պոմպի ճիշտ համապատասխանությունը
Հակադարձ պոմպի աշխատանքը պետք է համապատասխանի բարձր վակուումային պոմպերի մեկնարկի և շահագործման պահանջներին՝ աննորմալ աշխատանքային պայմաններից խուսափելու համար։

Գործառնական պարամետրերի մոնիթորինգ
Ուշադրություն դարձրեք ջերմաստիճանին, հոսանքին, թրթռմանը և աղմուկին: Ցանկացած աննորմալ փոփոխություն պետք է անհապաղ հետաքննվի:

Հետևեք ստանդարտ մեկնարկի և անջատման ընթացակարգերին
Պոմպերի ճիշտ հաջորդականությունը կանխում է յուղի հետհոսքը, հակադարձ հոսքը և մեխանիկական լարվածությունը։

4. Անպատշաճ սպասարկման ազդեցությունը ծածկույթների գործընթացների վրա

Վակուումային պոմպի անբավարար սպասարկումը կարող է հանգեցնել մի շարք գործընթացային խնդիրների, այդ թվում՝

Նվազեցված վերջնական ճնշում և ֆոնային գազի մասնակի ճնշման աճ

Թաղանթների մեջ խառնուրդների ավելացում, որը վատթարացնում է օպտիկական կամ մեխանիկական հատկությունները

Ֆիլմի կպչունության նվազում և երկարաժամկետ հուսալիություն

Սարքավորումների խափանումների բարձր մակարդակ և չպլանավորված դադարներ

Թե՛ գործընթացի կայունության, թե՛ սեփականության ընդհանուր արժեքի տեսանկյունից կանխարգելիչ սպասարկումը շատ ավելի արդյունավետ է, քան ուղղիչ վերանորոգումը։

5. Եզրակացություն

Վակուումային պոմպերը «աշխատեցվող և մոռացվող» բաղադրիչներ չեն, այլ կարևորագույն ակտիվներ, որոնք պահանջում են սպասարկման ռազմավարություններ, որոնք հարմարեցված են գործընթացի պայմաններին, շահագործման բեռին և շրջակա միջավայրի գործոններին: Հստակ սահմանված սպասարկման ցիկլեր և ստանդարտացված շահագործման ընթացակարգեր ներդնելով, վակուումային ծածկույթների համակարգերը կարող են հասնել երկարատև կայունության և ապահովել բարակ թաղանթի կայուն, բարձրորակ աշխատանք:
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների սարքավորումներ արտադրող Zhenhua Vacuum