Vakuum örtük sistemlərində vakuum nasosu qurğusu tələb olunan proses vakuumunun yaradılması və saxlanılmasından məsul olan əsas qurğudur. Onun işləmə vəziyyəti nasos sürətinə, son təzyiqə, sistemin təmizliyinə və örtük proseslərinin ardıcıllığına və sabitliyinə birbaşa təsir göstərir. Vakuum örtük avadanlıqlarının uzunmüddətli və etibarlı işləməsini təmin etmək üçün düzgün texniki xidmət dövrlərinin müəyyən edilməsi və standartlaşdırılmış texniki xidmət prosedurlarının tətbiqi vacibdir.
1. RoluÖrtük Sistemlərində Vakuum Nasosları
PVD və CVD vakuum örtük proseslərində vakuum nasos sistemləri adətən bir neçə vacib funksiyanı yerinə yetirən arxa nasoslardan, Roots nasoslarından, diffuziya nasoslarından və ya turbomolekulyar nasoslardan ibarətdir:
Tələb olunan vakuum diapazonunun qurulması və saxlanılması
Qalıq qazların, nəmin və emal məhsullarının effektiv şəkildə təmizlənməsi
Film sıxlığını və təmizliyini artırmaq üçün fon qazlarının qismən təzyiqlərinin azaldılması
Plazma sabitliyinin və prosesin təkrarlanabilirliyinin təmin edilməsi
Nasosun işindəki hər hansı bir azalma, nasos sürətinin azalmasına və son təzyiqin pisləşməsinə səbəb ola bilər ki, bu da filmin yapışmasına, vahidliyinə və məhsuldarlığına birbaşa təsir göstərir.
2. Ümumi Vakuum Nasos Növləri və Tipik Baxım Aralıqları
1. Dönər Pərli Nasoslar
Əsas təmir işləri:
Nasos yağının yoxlanılması və dəyişdirilməsi
Yağ duman filtrlərinin təmizlənməsi
Möhürlərin və pərlərin yoxlanılması
Tövsiyə olunan intervallar:
Yağ yoxlaması: həftəlik
Yağın dəyişdirilməsi: hər 3-6 aydan bir (proses qazlarından və iş saatlarından asılı olaraq)
Əsas xidmət: illik
2. Roots Nasosları
Əsas təmir işləri:
Ötürücü qutular üçün sürtkü yoxlaması
Mil möhürlərinin və muftalarının yoxlanılması
Daxili təmizlik yoxlamaları
Tövsiyə olunan intervallar:
Sürtkü yoxlaması: hər 3 aydan bir
Sürtkü yağının dəyişdirilməsi: hər il
Əməliyyat yoxlamaları: aylıq
3. Diffuziya Nasosları
Əsas təmir işləri:
Diffuziya nasosu yağının oksidləşmə və ya çirklənmə üçün yoxlanılması
Soyuducu suyun dövranının yoxlanılması
Soyuq tələlərin və maneələrin təmizlənməsi
Tövsiyə olunan intervallar:
Yağ vəziyyətinin yoxlanılması: hər 3-6 ayda bir
Yağ dəyişdirilməsi: hər 12-24 aydan bir
Soyuq tələlərin təmizlənməsi: hər 6 aydan bir
4. Turbomolekulyar Nasoslar
Əsas təmir işləri:
Yataq vəziyyətinin monitorinqi
Vibrasiya və temperaturun monitorinqi
Düzgün arxa vakuum təmin etmək
Tövsiyə olunan intervallar:
Əməliyyat parametrlərinin davamlı monitorinqi
Peşəkar xidmət və ya zavodun əsaslı təmiri: hər 3-5 ildən bir (istehsalçının təlimatlarına uyğun olaraq)
3. Əsas Əməliyyat Mülahizələri
Sistemin ömrünü uzatmaq və sabit işləməsini təmin etmək üçün aşağıdakı əməliyyat təcrübələri vacibdir:
Giriş şərtlərinə nəzarət
Həddindən artıq nəmin, hissəciklərin və ya korroziyaya uğrayan qazların nasosa daxil olmasının qarşısını alın. Lazım olduqda soyuq tələlərdən, filtrlərdən və ya qaz izolyasiya cihazlarından istifadə edilməlidir.
Düzgün nasos uyğunluğunu təmin edin
Anormal iş şəraitinin qarşısını almaq üçün arxa nasosun işləmə qabiliyyəti yüksək vakuumlu nasosların başlanğıc və işləmə tələblərinə cavab verməlidir.
Əməliyyat parametrlərini izləyin
Temperatur, cərəyan, vibrasiya və səs-küyə diqqət yetirin. Hər hansı bir qeyri-adi dəyişiklik dərhal araşdırılmalıdır.
Standartlaşdırılmış işə salma və bağlama prosedurlarına əməl edin
Düzgün nasos ardıcıllığı yağın geri axınının, tərs axının və mexaniki gərginliyin qarşısını alır.
4. Düzgün olmayan texniki xidmətin örtük proseslərinə təsiri
Vakuum nasosunun qeyri-kafi texniki xidməti bir sıra proseslə əlaqəli problemlərə səbəb ola bilər, o cümlədən:
Son təzyiqin azaldılması və fon qazının qismən təzyiqinin artması
Optik və ya mexaniki xüsusiyyətləri pisləşdirən plyonkalara artan aşqar daxilolması
Film yapışmasının azalması və uzunmüddətli etibarlılıq
Daha yüksək avadanlıq nasazlıqları və planlaşdırılmamış dayanma
Həm proses sabitliyi, həm də ümumi mülkiyyət dəyəri baxımından profilaktik təmir korreksiyaedici təmirdən daha təsirli olur.
5. Nəticə
Vakuum nasosları "işlət və unud" komponentləri deyil, proses şəraitinə, əməliyyat yükünə və ətraf mühit amillərinə uyğunlaşdırılmış texniki xidmət strategiyaları tələb edən vacib aktivlərdir. Yaxşı müəyyən edilmiş texniki xidmət dövrlərini və standartlaşdırılmış əməliyyat prosedurlarını tətbiq etməklə vakuum örtük sistemləri uzunmüddətli sabitliyə nail ola və ardıcıl, yüksək keyfiyyətli nazik təbəqə performansı təmin edə bilər.
– Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük avadanlığı istehsalçı Zhenhua Tozsoran
Yazı vaxtı: 09 Dekabr 2025