வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்புகளில், தேவையான செயல்முறை வெற்றிடத்தை நிறுவிப் பராமரிப்பதற்கு வெற்றிடப் பம்ப் அசெம்பிளியே மையப் பகுதியாக உள்ளது. அதன் செயல்பாட்டு நிலை, பம்ப் செய்யும் வேகம், இறுதி அழுத்தம், அமைப்பின் தூய்மை, மற்றும் பூச்சு செயல்முறைகளின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்களின் நீண்டகால, நம்பகமான செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கு, முறையான பராமரிப்புச் சுழற்சிகளை வரையறுப்பதும், தரப்படுத்தப்பட்ட பராமரிப்பு நடைமுறைகளைச் செயல்படுத்துவதும் அவசியமாகும்.
1. பங்குபூச்சு அமைப்புகளில் வெற்றிட பம்புகள்
PVD மற்றும் CVD வெற்றிடப் பூச்சு செயல்முறைகளில், வெற்றிட பம்ப் அமைப்புகள் பொதுவாக பேக்கிங் பம்புகள், ரூட்ஸ் பம்புகள், டிஃப்யூஷன் பம்புகள் அல்லது டர்போமாலிகுலர் பம்புகளைக் கொண்டிருக்கும், அவை பல முக்கியமான செயல்பாடுகளைச் செய்கின்றன:
தேவையான வெற்றிட வரம்பை நிறுவுதல் மற்றும் பராமரித்தல்
எஞ்சிய வாயுக்கள், ஈரப்பதம் மற்றும் செயல்முறை துணைப் பொருட்களைத் திறமையாக அகற்றுதல்
படலத்தின் அடர்த்தியையும் தூய்மையையும் மேம்படுத்துவதற்காக பின்னணி வாயுக்களின் பகுதி அழுத்தங்களைக் குறைத்தல்
பிளாஸ்மாவின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறையின் மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மையை உறுதி செய்தல்
பம்பின் செயல்திறனில் ஏற்படும் எந்தவொரு குறைபாடும், உந்திச் செல்லும் வேகத்தைக் குறைத்து, இறுதி அழுத்தத்தைச் சீர்குலைக்கக்கூடும். இது படலத்தின் ஒட்டுதல், சீரான தன்மை மற்றும் உற்பத்தி அளவை நேரடியாகப் பாதிக்கும்.
2. பொதுவான வெற்றிட பம்ப் வகைகள் மற்றும் வழக்கமான பராமரிப்பு இடைவெளிகள்
1. ரோட்டரி வேன் பம்புகள்
முக்கிய பராமரிப்புப் பணிகள்:
பம்ப் எண்ணெயை ஆய்வு செய்தல் மற்றும் மாற்றுதல்
எண்ணெய் மூடுபனி வடிகட்டிகளை சுத்தம் செய்தல்
முத்திரைகள் மற்றும் இறக்கைகளின் பரிசோதனை
பரிந்துரைக்கப்பட்ட இடைவெளிகள்:
எண்ணெய் பரிசோதனை: வாரந்தோறும்
எண்ணெய் மாற்றுதல்: 3 முதல் 6 மாதங்களுக்கு ஒருமுறை (செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் இயக்க நேரங்களைப் பொறுத்து)
முக்கிய சேவை: ஆண்டுதோறும்
2. ரூட்ஸ் பம்ப்ஸ்
முக்கிய பராமரிப்புப் பணிகள்:
கியர்பாக்ஸ்களுக்கான மசகு எண்ணெய் பரிசோதனை
தண்டு முத்திரைகள் மற்றும் இணைப்புகளின் பரிசோதனை
உள்ளகத் தூய்மைச் சோதனைகள்
பரிந்துரைக்கப்பட்ட இடைவெளிகள்:
மசகு எண்ணெய் பரிசோதனை: ஒவ்வொரு 3 மாதங்களுக்கும்
மசகு எண்ணெய் மாற்றுதல்: ஆண்டுதோறும்
செயல்பாட்டுச் சோதனைகள்: மாதந்தோறும்
3. பரவல் பம்புகள்
முக்கிய பராமரிப்புப் பணிகள்:
டிஃப்யூஷன் பம்ப் எண்ணெயில் ஆக்சிஜனேற்றம் அல்லது மாசுபடுதல் உள்ளதா என ஆய்வு செய்தல்
குளிரூட்டும் நீர் சுழற்சியின் சரிபார்ப்பு
குளிர் பொறிகள் மற்றும் தடுப்புகளை சுத்தம் செய்தல்
பரிந்துரைக்கப்பட்ட இடைவெளிகள்:
எண்ணெயின் நிலையைச் சரிபார்த்தல்: ஒவ்வொரு 3–6 மாதங்களுக்கும்
எண்ணெய் மாற்றுதல்: ஒவ்வொரு 12–24 மாதங்களுக்கு ஒருமுறை
குளிர் பொறி சுத்தம் செய்தல்: ஒவ்வொரு 6 மாதங்களுக்கும்
4. டர்போமாலிகுலர் பம்புகள்
முக்கிய பராமரிப்புப் பணிகள்:
தாங்கு உருளையின் நிலையை கண்காணித்தல்
அதிர்வு மற்றும் வெப்பநிலையைக் கண்காணித்தல்
சரியான ஆதரவு வெற்றிடத்தை உறுதி செய்தல்
பரிந்துரைக்கப்பட்ட இடைவெளிகள்:
இயக்க அளவுருக்களின் தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு
தொழில்முறைப் பராமரிப்பு அல்லது தொழிற்சாலை முழுமையான சீரமைப்பு: ஒவ்வொரு 3–5 வருடங்களுக்கு ஒருமுறை (உற்பத்தியாளர் வழிகாட்டுதல்களின்படி)
3. முக்கிய செயல்பாட்டுக் கருத்தாய்வுகள்
சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கவும், அமைப்பின் செயல்திறனை நிலையாகப் பராமரிக்கவும், பின்வரும் செயல்பாட்டு நடைமுறைகள் அவசியமானவை:
கட்டுப்பாட்டு உள்ளீட்டு நிலைமைகள்
பம்பிற்குள் அதிகப்படியான ஈரப்பதம், துகள்கள் அல்லது அரிக்கும் வாயுக்கள் நுழைவதைத் தடுக்கவும். தேவைப்படும்போது குளிர் பொறிகள், வடிகட்டிகள் அல்லது வாயு தனிமைப்படுத்தும் சாதனங்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
சரியான பம்ப் பொருத்தத்தை உறுதிசெய்யவும்
அசாதாரண இயக்க நிலைமைகளைத் தவிர்ப்பதற்கு, பேக்கிங் பம்பின் செயல்திறன் உயர் வெற்றிட பம்புகளின் தொடக்க மற்றும் இயக்கத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
இயக்க அளவுருக்களைக் கண்காணிக்கவும்
வெப்பநிலை, மின்னோட்டம், அதிர்வு மற்றும் இரைச்சல் ஆகியவற்றை உன்னிப்பாகக் கவனிக்கவும். ஏதேனும் அசாதாரண மாற்றங்கள் ஏற்பட்டால் உடனடியாக விசாரிக்க வேண்டும்.
தரப்படுத்தப்பட்ட தொடக்க மற்றும் நிறுத்த நடைமுறைகளைப் பின்பற்றவும்
சரியான பம்ப் வரிசைப்படுத்தல், எண்ணெய் பின்னோக்கிப் பாய்வதையும், எதிர் ஓட்டத்தையும், மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்தையும் தடுக்கிறது.
4. பூச்சு செயல்முறைகளில் முறையற்ற பராமரிப்பின் தாக்கம்
வெற்றிட பம்பின் முறையான பராமரிப்பின்மை, பின்வருவன உள்ளிட்ட தொடர்ச்சியான செயல்முறை தொடர்பான சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கும்:
இறுதி அழுத்தம் குறைந்து, பின்னணி வாயுவின் பகுதி அழுத்தம் அதிகரித்தது.
படலங்களில் அசுத்தங்கள் அதிகளவில் கலப்பதால், ஒளியியல் அல்லது இயந்திரவியல் பண்புகள் சீரழிகின்றன.
படலத்தின் ஒட்டுதல் மற்றும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை குறைதல்
அதிக உபகரண செயலிழப்பு விகிதங்கள் மற்றும் திட்டமிடப்படாத பணிநிறுத்தம்
செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் மொத்த உரிமையாளர் செலவு ஆகிய இரு கண்ணோட்டங்களிலிருந்தும், சரிசெய்யும் பழுதுபார்ப்பை விட தடுப்புப் பராமரிப்பு மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கிறது.
5. முடிவுரை
வெற்றிடப் பம்புகள் என்பவை 'இயக்கிவிட்டு மறந்துவிடும்' பாகங்கள் அல்ல; மாறாக, செயல்முறை நிலைமைகள், செயல்பாட்டுச் சுமை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் காரணிகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு உத்திகள் தேவைப்படும் மிக முக்கியமான சொத்துக்களாகும். நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட பராமரிப்புச் சுழற்சிகள் மற்றும் தரப்படுத்தப்பட்ட இயக்க நடைமுறைகளைச் செயல்படுத்துவதன் மூலம், வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்புகள் நீண்டகால நிலைத்தன்மையை அடைந்து, சீரான மற்றும் உயர்தரமான மென்படலச் செயல்திறனை வழங்க முடியும்.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர்-09-2025