Циклуси за одржување на вакуум пумпи и клучни размислувања - критична основа за стабилни операции со вакуумско премачкување

Во системите за вакуумско обложување, склопот на вакуум пумпата е основната единица одговорна за воспоставување и одржување на потребниот процесен вакуум. Неговата оперативна состојба директно влијае на брзината на пумпање, крајниот притисок, чистотата на системот и конзистентноста и стабилноста на процесите на обложување. Дефинирањето на соодветни циклуси на одржување и спроведувањето на стандардизирани процедури за одржување се од суштинско значење за да се обезбеди долгорочно, сигурно работење на опремата за вакуумско обложување.

1. Улога наВакуумски пумпи во системи за премачкување

Во процесите на вакуумско премачкување со PVD и CVD, системите со вакуумски пумпи обично се состојат од потпорни пумпи, Roots пумпи, дифузни пумпи или турбомолекуларни пумпи, кои извршуваат неколку критични функции:

Воспоставување и одржување на потребниот опсег на вакуум

Ефикасно отстранување на преостанати гасови, влага и нуспроизводи од процесот

Намалување на парцијалните притисоци на позадинските гасови за подобрување на густината и чистотата на филмот

Обезбедување стабилност на плазмата и повторување на процесот

Секое влошување на перформансите на пумпата може да доведе до намалена брзина на пумпање и влошување на крајниот притисок, директно влијаејќи на адхезијата на филмот, униформноста и приносот.

2. Вообичаени типови на вакуумски пумпи и типични интервали за одржување
1. Ротациони пумпи со крила

Клучни задачи за одржување:

Инспекција и замена на маслото за пумпа

Чистење на филтри за магла од масло

Инспекција на заптивки и крилца

Препорачани интервали:

Инспекција на масло: неделно

Замена на масло: на секои 3–6 месеци (во зависност од процесните гасови и работното време)

Главна услуга: годишно

2. Пумпи за корени

Клучни задачи за одржување:

Инспекција на лубриканти за менувачи

Инспекција на заптивки и спојки на вратило

Внатрешни проверки на чистотата

Препорачани интервали:

Инспекција на лубрикантот: на секои 3 месеци

Замена на лубрикантот: годишно

Оперативни проверки: месечни

3. Дифузиони пумпи

Клучни задачи за одржување:

Инспекција на маслото од дифузна пумпа за оксидација или контаминација

Проверка на циркулацијата на водата за ладење

Чистење на ладни стапици и прегради

Препорачани интервали:

Проверка на состојбата на маслото: на секои 3-6 месеци

Замена на масло: на секои 12–24 месеци

Чистење на ладни стапици: на секои 6 месеци

4. Турбомолекуларни пумпи

Клучни задачи за одржување:

Следење на состојбата на лежиштето

Мониторинг на вибрации и температура

Обезбедување на соодветен вакуум за подлогата

Препорачани интервали:

Континуирано следење на работните параметри

Професионално сервисирање или фабрички ремонт: на секои 3–5 години (според упатствата на производителот)

3. Клучни оперативни размислувања

За да се продолжи работниот век и да се одржат стабилни перформанси на системот, неопходни се следниве оперативни практики:

Контролни услови на влезот
Спречете прекумерна влага, честички или корозивни гасови да влезат во пумпата. Кога е потребно, треба да се користат ладни стапици, филтри или уреди за изолација на гас.

Обезбедете правилно усогласување на пумпата
Перформансите на потпорната пумпа мора да ги задоволат барањата за стартување и работа на пумпите со висок вакуум за да се избегнат абнормални услови на работа.

Мониторирајте ги оперативните параметри
Обрнете посебно внимание на температурата, струјата, вибрациите и бучавата. Сите абнормални промени треба веднаш да се испитаат.

Следете ги стандардизираните процедури за стартување и исклучување
Правилното секвенционирање на пумпите спречува обратно течење на маслото, обратен тек и механички стрес.

4. Влијание на неправилното одржување врз процесите на премачкување

Несоодветното одржување на вакуум пумпата може да доведе до низа проблеми поврзани со процесот, вклучувајќи:

Намален краен притисок и зголемен парцијален притисок на гасот во позадина

Зголемено вградување на нечистотии во филмови, деградирање на оптичките или механичките својства

Намалена адхезија на филмот и долгорочна сигурност

Повисоки стапки на дефекти на опремата и непланиран застој

Од перспектива и на стабилноста на процесот и на вкупните трошоци за сопственост, превентивното одржување е многу поефикасно од корективната поправка.

5. Заклучок

Вакуумските пумпи не се компоненти што „работат и забораваат“, туку се критични средства што бараат стратегии за одржување прилагодени на условите на процесот, оперативното оптоварување и факторите на животната средина. Со спроведување на добро дефинирани циклуси на одржување и стандардизирани оперативни процедури, системите за вакуумско обложување можат да постигнат долгорочна стабилност и да испорачаат конзистентни, висококвалитетни перформанси на тенок филм.
– Оваа статија е објавена одопрема за вакуумско обложување производител Zhenhua Vacuum