အကြမ်းဖျင်းအားဖြင့်ပြောရလျှင် CVD ကို အကြမ်းဖျင်းအားဖြင့် အမျိုးအစားနှစ်မျိုး ခွဲခြားနိုင်သည်- တစ်ခုသည် ကျဉ်းမြောင်းကျဉ်းမြောင်းသော CVD တစ်ခုတည်းသော သလင်းပြင်အလွှာ၏ အငွေ့ထွက်မှုအပေါ် တစ်ခုတည်းသော ထုတ်ကုန်တစ်ခုတွင် ပါဝင်ပါသည်။ အခြားတစ်မျိုးမှာ ထုတ်ကုန်ပေါင်းများစွာနှင့် အသန္တရရုပ်ရှင်များ အပါအဝင် ပါးလွှာသော သတ္တုဓာတ်များကို အလွှာပေါ်တွင် အပ်နှံခြင်းဖြစ်သည်။ အသုံးပြုထားသော အရင်းအမြစ်ဓာတ်ငွေ့ အမျိုးအစားများအလိုက်၊ CVD ကို ဟေလိုဂျင် သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနည်းလမ်းနှင့် သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း (MOCVD)၊ ယခင် ဓာတ်ငွေ့အရင်းအမြစ်အဖြစ် halide၊ နောက်မှ သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဒြပ်ပေါင်းများကို ဓာတ်ငွေ့အရင်းအမြစ်အဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။ ဓာတ်ပြုခန်းရှိ ဖိအားအရ ၎င်းကို လေထုဖိအား CVD (APCVD)၊ ဖိအားနည်းသော CVD (LPCVD) နှင့် အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ် CVD (UHV/CVD) ဟူ၍ အမျိုးအစားသုံးမျိုး ခွဲခြားနိုင်သည်။ CVD ကို စွမ်းအင်မြှင့်တင်သည့် အရန်နည်းလမ်းအဖြစ်လည်း အသုံးပြုနိုင်ပြီး၊ ယနေ့ခေတ်တွင် အသုံးများသော အရာများမှာ ပလာစမာ CVDPE (ပလာစမာ CVDPE) နှင့် အလင်းတန်းများ ပါဝင်သည်။ CVD (PCVD) စသည်တို့ဖြစ်သည်။ CVD သည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ဓာတ်ငွေ့အဆင့် အစစ်ခံနည်းဖြစ်သည်။
CVD သည် အခြေခံအားဖြင့် ဓာတ်ငွေ့-အဆင့် အရာဝတ္ထုတစ်ခုအား အပူချိန်မြင့်မြင့်တွင် ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် တုံ့ပြန်ပြီး အလွှာတစ်ခုပေါ်တွင် စုပုံထားသည့် အစိုင်အခဲအရာများကို ထုတ်လုပ်ရန် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ဖလင်ပုံစံနည်းလမ်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အထူးသဖြင့်၊ မတည်ငြိမ်သော သတ္တုဟိုက်ဒလစ်များ သို့မဟုတ် သတ္တုအော်ဂဲနစ်ဒြပ်ပေါင်းများကို H၊ Ar၊ သို့မဟုတ် N ကဲ့သို့သော သယ်ဆောင်ဓာတ်ငွေ့နှင့် ရောစပ်ပြီး ဓာတုတုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့် ပါးလွှာသောဖလင်မ်အဖြစ် အပူချိန်မြင့်သော အလွှာတစ်ခုသို့ တစ်ပုံစံတည်း သယ်ဆောင်သွားပါသည်။ မည်သည့် CVD အမျိုးအစားဖြစ်ပါစေ၊ အစစ်ခံခြင်းကို အောင်မြင်စွာဆောင်ရွက်နိုင်ပါက အောက်ပါအခြေခံအခြေအနေများနှင့် ကိုက်ညီရမည်- ပထမဦးစွာ၊ အစစ်ခံသည့်အပူချိန်တွင်၊ ဓာတ်ပြုခြင်းများသည် လုံလောက်သောမြင့်မားသောအခိုးအငွေ့ဖိအားရှိရပါမည်။ ဒုတိယ၊ တုံ့ပြန်မှုထုတ်ကုန်၊ အစိုင်အခဲအခြေအနေအတွက်အလိုရှိသောသိုက်အပြင်၊ ဓာတ်ငွေ့အခြေအနေ၏ကျန်။ တတိယအနေဖြင့်၊ deposition ကိုယ်တိုင်က အပူပေးအလွှာ၏ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးတွင် စုဆောင်းမှုတုံ့ပြန်မှုဖြစ်စဉ်ကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေရန် သေချာစေရန်အတွက် သိုက်ကိုယ်တိုင်က လုံလောက်သော အငွေ့ဖိအားဖြစ်သင့်သည်။ စတုတ္ထ၊ ပါးလွှာသောဖလင်တစ်ခုအဖြစ် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့် အလွှာပေါ်ရှိ ဓာတ်ပြုခန်းသို့ တစ်ပုံစံတည်း ပို့ဆောင်သည်။ စတုတ္ထ၊ အလွှာ၏အငွေ့ဖိအားသည် အစစ်ခံအပူချိန်တွင် လုံလောက်စွာနိမ့်သင့်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ byဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- မေ-၀၄-၂၀၂၄