Ka kakaretso, CVD e ka aroloa ka mefuta e 'meli: e 'ngoe e ka har'a sehlahisoa se le seng holim'a substrate mouoane oa lera la epitaxial la single-crystal, e leng CVD e tšesaane; e 'ngoe ke ho beoa ha lifilimi tse tšesaane holim'a substrate, ho kenyeletsoa le lifilimi tsa lihlahisoa tse ngata le tse sa fetoheng. Ho ea ka mefuta e fapaneng ea likhase tsa mohloli tse sebelisoang, CVD e ka aroloa ka mokhoa oa ho tsamaisa halogen le metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD), ea pele ho halide e le mohloli oa khase, ea morao ho ea ho metsoako ea tšepe-organic e le mohloli oa khase. Ho ea ka khatello e ka kamoreng ea karabelo, e ka aroloa ka mefuta e meraro e meholo: khatello ea sepakapaka CVD (APCVD), khatello e tlase CVD (LPCVD) le vacuum CVD e phahameng haholo (UHV/CVD). CVD e ka boela ea sebelisoa e le mokhoa o thusang o matlafatsang matla, 'me matsatsing ana o tloaelehileng o kenyelletsa plasma-enhanced CVD (PECVD) le light-enhanced CVD (PCVD), jj. CVD ha e le hantle ke mokhoa oa ho beoa ha khase.
CVD ha e le hantle ke mokhoa oa ho etsa filimi moo ntho ea mokhahlelo oa khase e arajoang ka lik'hemik'hale mochesong o phahameng ho hlahisa ntho e tiileng e behiloeng holim'a substrate. Ka ho khetheha, li-halide tsa tšepe tse feto-fetohang kapa metsoako ea tšepe ea organic li kopantsoe le khase e tsamaisang lintho tse kang H, Ar, kapa N, ebe li isoa ka mokhoa o ts'oanang ho substrate ea mocheso o phahameng ka phapusing ea karabelo ho etsa filimi e tšesaane holim'a substrate ka karabelo ea lik'hemik'hale. Ho sa tsotelehe hore na ke mofuta ofe oa CVD, ho kenngoa ha lintho ho ka etsoa ka katleho ho tlameha ho fihlela maemo a latelang a motheo: Taba ea pele, mochesong oa ho kenngoa ha lintho, li-reactant li tlameha ho ba le khatello e phahameng ea mouoane ka ho lekaneng; Ea bobeli, sehlahisoa sa karabelo, ho phaella ho depositi e lakatsehang bakeng sa boemo bo tiileng, boemo bo setseng ba khase; Ea boraro, depositi ka boeona e lokela ho ba le khatello e tlase ea mouoane ka ho lekaneng ho netefatsa hore ts'ebetso ea karabelo ea ho kenngoa ha lintho e ka bolokoa ts'ebetsong eohle ea substrate e futhumetseng; Ea bone, thepa ea substrate e isoa ka mokhoa o ts'oanang kamoreng ea karabelo holim'a substrate, ka karabelo ea lik'hemik'hale ho etsa filimi e tšesaane. Ea bone, khatello ea mouoane ea thepa ea substrate ka boeona e lokela ho ba tlase ka ho lekaneng mochesong oa ho kenngoa ha lintho.
–Sengoloa sena se lokollotsoe bymoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mots'eanong-04-2024