أنواع تقنية الترسيب الكيميائي للبخار

بشكل عام، يمكن تقسيم الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) إلى نوعين رئيسيين: الأول هو ترسيب طبقة أحادية البلورة على الركيزة، وهو ما يُعرف بالترسيب الكيميائي للبخار المحدود؛ أما الثاني فهو ترسيب الأغشية الرقيقة على الركيزة، بما في ذلك الأغشية متعددة الطبقات والأغشية غير المتبلورة. وبحسب نوع الغازات المستخدمة، يمكن تقسيم الترسيب الكيميائي للبخار إلى طريقتين: طريقة نقل الهالوجين والترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD)، حيث تستخدم الأولى الهاليدات كمصدر للغاز، بينما تستخدم الثانية المركبات العضوية المعدنية. بحسب الضغط في حجرة التفاعل، يمكن تقسيمها إلى ثلاثة أنواع رئيسية: الترسيب الكيميائي للبخار عند الضغط الجوي (APCVD)، والترسيب الكيميائي للبخار عند الضغط المنخفض (LPCVD)، والترسيب الكيميائي للبخار في فراغ فائق (UHV/CVD). يمكن أيضًا استخدام الترسيب الكيميائي للبخار كطريقة مساعدة معززة للطاقة، وتشمل الطرق الشائعة حاليًا الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) والترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالضوء (PCVD)، وما إلى ذلك. الترسيب الكيميائي للبخار هو في الأساس طريقة ترسيب في الطور الغازي.

الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) هو في الأساس طريقة لتكوين الأغشية الرقيقة، حيث تتفاعل مادة غازية كيميائيًا عند درجة حرارة عالية لإنتاج مادة صلبة تُرسب على سطح ما. وبالتحديد، تُخلط هاليدات المعادن المتطايرة أو المركبات العضوية المعدنية مع غاز حامل مثل الهيدروجين أو الأرجون أو النيتروجين، ثم تُنقل بشكل متجانس إلى سطح ذي درجة حرارة عالية في حجرة التفاعل لتكوين غشاء رقيق على السطح من خلال تفاعل كيميائي. وبغض النظر عن نوع الترسيب الكيميائي للبخار، يجب أن تتوافر الشروط الأساسية التالية لضمان نجاح عملية الترسيب: أولًا، يجب أن يكون ضغط بخار المواد المتفاعلة مرتفعًا بما يكفي عند درجة حرارة الترسيب؛ ثانيًا، يجب أن يكون ناتج التفاعل، بالإضافة إلى المادة المراد ترسيبها، في الحالة الصلبة، بينما يكون باقي الناتج في الحالة الغازية؛ ثالثًا، يجب أن يكون ضغط بخار المادة المراد ترسيبها منخفضًا بما يكفي لضمان استمرار عملية الترسيب على السطح الساخن؛ رابعًا، يجب أن تُنقل مادة السطح بشكل متجانس إلى حجرة التفاعل، حيث تُرسب من خلال التفاعل الكيميائي لتكوين غشاء رقيق. رابعًا، يجب أن يكون ضغط بخار مادة الركيزة نفسها منخفضًا بدرجة كافية عند درجة حرارة الترسيب.

– تم نشر هذا المقال byمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا