মোটামুটিভাবে বলতে গেলে, CVD-কে প্রধানত দুই প্রকারে ভাগ করা যায়: একটি হলো সাবস্ট্রেটের উপর একক-স্ফটিক এপিটেক্সিয়াল স্তরের বাষ্পীয় অবক্ষেপণ, যা সংকীর্ণ অর্থে CVD; অন্যটি হলো সাবস্ট্রেটের উপর পাতলা ফিল্মের অবক্ষেপণ, যার মধ্যে বহু-পণ্য এবং অ্যামরফাস ফিল্ম অন্তর্ভুক্ত। ব্যবহৃত উৎস গ্যাসের প্রকারভেদের উপর ভিত্তি করে, CVD-কে হ্যালোজেন পরিবহন পদ্ধতি এবং মেটাল-অর্গানিক কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (MOCVD)-এ ভাগ করা যায়, যেখানে প্রথমটিতে গ্যাস উৎস হিসেবে হ্যালাইড এবং দ্বিতীয়টিতে মেটাল-অর্গানিক যৌগ ব্যবহৃত হয়। বিক্রিয়া চেম্বারের চাপের উপর ভিত্তি করে, একে প্রধানত তিনটি প্রকারে ভাগ করা যায়: অ্যাটমোস্ফিয়ারিক প্রেসার CVD (APCVD), লো প্রেসার CVD (LPCVD) এবং আল্ট্রা-হাই ভ্যাকুয়াম CVD (UHV/CVD)। CVD একটি শক্তি-বর্ধিত সহায়ক পদ্ধতি হিসেবেও ব্যবহৃত হতে পারে, এবং বর্তমানে প্রচলিত পদ্ধতিগুলোর মধ্যে রয়েছে প্লাজমা-এনহ্যান্সড CVD (PECVD) এবং লাইট-এনহ্যান্সড CVD (PCVD) ইত্যাদি। CVD মূলত একটি গ্যাস-ফেজ অবক্ষেপণ পদ্ধতি।
CVD মূলত একটি ফিল্ম তৈরির পদ্ধতি, যেখানে একটি গ্যাসীয় পদার্থকে উচ্চ তাপমাত্রায় রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করিয়ে একটি কঠিন পদার্থ তৈরি করা হয়, যা একটি সাবস্ট্রেটের উপর জমা হয়। বিশেষভাবে, উদ্বায়ী মেটাল হ্যালাইড বা মেটাল অর্গানিক যৌগসমূহকে H, Ar, বা N-এর মতো বাহক গ্যাসের সাথে মিশ্রিত করা হয় এবং তারপর একটি বিক্রিয়া চেম্বারে উচ্চ-তাপমাত্রার সাবস্ট্রেটের উপর সুষমভাবে পরিবহন করা হয়, যাতে রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে সাবস্ট্রেটের উপর একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি হয়। CVD-এর ধরন যাই হোক না কেন, সফলভাবে স্তর জমার জন্য নিম্নলিখিত মৌলিক শর্তগুলো অবশ্যই পূরণ করতে হবে: প্রথমত, স্তর জমার তাপমাত্রায় বিক্রিয়কগুলোর বাষ্পচাপ যথেষ্ট বেশি হতে হবে; দ্বিতীয়ত, বিক্রিয়াজাত পদার্থটি কাঙ্ক্ষিত কঠিন অবস্থা ছাড়া বাকিটা গ্যাসীয় অবস্থায় থাকবে; তৃতীয়ত, জমা হওয়া পদার্থটির নিজস্ব বাষ্পচাপ যথেষ্ট কম হওয়া উচিত, যাতে স্তর জমার বিক্রিয়া প্রক্রিয়াটি উত্তপ্ত সাবস্ট্রেটের পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে বজায় রাখা যায়; চতুর্থত, সাবস্ট্রেটের উপাদানটি বিক্রিয়া চেম্বারে সাবস্ট্রেটের উপর সুষমভাবে পরিবহন করা হয় এবং রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি হয়। চতুর্থত, স্তর জমার তাপমাত্রায় সাবস্ট্রেটের উপাদানটির নিজস্ব বাষ্পচাপও যথেষ্ট কম হওয়া উচিত।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছে byভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৪-মে-২০২৪