I se tulaga lautele, e mafai ona vaevaeina le CVD i ni ituaiga se lua: o le tasi o le oloa e tasi i luga o le substrate e faʻaputuina ai le ausa o le vaega epitaxial e tasi le tioata, lea e vaapiapi le CVD; o le isi o le faʻaputuina o ata manifinifi i luga o le substrate, e aofia ai ata e tele-oloa ma ata e leai ni foliga. E tusa ai ma ituaiga eseese o kesi puna e faʻaaogaina, e mafai ona vaevaeina le CVD i le auala e felauaʻi ai le halogen ma le metal-organic chemical ausa deposition (MOCVD), o le muamua e fai ma halide o se puna kesi, o le lona lua i mea faʻaputuga uʻamea o se puna kesi. E tusa ai ma le mamafa i totonu o le potu tali, e mafai ona vaevaeina i ni ituaiga autu se tolu: CVD o le ea (APCVD), CVD o le mamafa maualalo (LPCVD) ma le ultra-high vacuum CVD (UHV/CVD). E mafai foi ona faʻaaogaina le CVD o se metotia fesoasoani e faʻaleleia ai le malosi, ma o aso nei o mea masani e aofia ai le plasma-enhanced CVD (PECVD) ma le light-enhanced CVD (PCVD), ma isi. O le CVD o se metotia e faʻaputuina ai le kesi.
O le CVD o se metotia e fausia ai se ata tifaga lea e faʻafetaui ai se mea e pei o le kesi i le vevela maualuga e maua ai se mea malo e teuina i luga o se substrate. Aemaise lava, o halides uʻamea felafoaʻi poʻo mea faʻaola uʻamea e palu faʻatasi ma se kesi feaveaʻi e pei o le H, Ar, poʻo le N, ona faʻafeiloaʻi tutusa lea i se substrate vevela maualuga i totonu o se potu tali e fausia ai se ata manifinifi i luga o le substrate e ala i se tali faʻa-kemikolo. Po o le a lava le ituaiga CVD, e tatau ona ausia e le faʻaputuga lelei tulaga faʻavae nei: Muamua, i le vevela o le faʻaputuga, e tatau ona lava le maualuga o le mamafa o le ausa o mea tali; Lua, o le oloa tali, e faʻaopoopo i le faʻaputuga manaʻomia mo le tulaga malo, o le vaega o totoe o le tulaga kesi; Tolu, o le faʻaputuga lava ia e tatau ona lava le maualalo o le mamafa o le ausa e faʻamautinoa ai e mafai ona tausia le faiga o le tali atu o le faʻaputuga i le faiga atoa o le substrate vevela; Fa, o le mea o le substrate e tutusa le felauaiga i le potu tali i luga o le substrate, e ala i le tali faʻa-kemikolo e fausia ai se ata manifinifi. Fa, o le mamafa o le ausa o le mea o le substrate lava ia e tatau foi ona lava le maualalo i le vevela o le faʻaputuga.
–Ua fa'asalalauina lenei tusiga bygaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Me-04-2024