Geniş şəkildə desək, CVD təxminən iki növə bölünə bilər: biri substrat üzərində tək məhsulda olan tək kristal epitaksial təbəqənin buxar çökməsidir ki, bu da dar CVD-dir; digəri isə çoxməhsullu və amorf təbəqələr də daxil olmaqla, substrat üzərində nazik təbəqələrin çökməsidir. İstifadə olunan müxtəlif mənbə qaz növlərinə görə, CVD halogen nəql metodu və metal-üzvi kimyəvi buxar çökməsi (MOCVD), birincisi qaz mənbəyi kimi halidə, ikincisi isə qaz mənbəyi kimi metal-üzvi birləşmələrə bölünə bilər. Reaksiya kamerasındakı təzyiqə görə, onu üç əsas növə bölmək olar: atmosfer təzyiqi CVD (APCVD), aşağı təzyiqli CVD (LPCVD) və ultra yüksək vakuumlu CVD (UHV/CVD). CVD həmçinin enerji ilə gücləndirilmiş köməkçi metod kimi də istifadə edilə bilər və hazırda geniş yayılmış metodlara plazma ilə gücləndirilmiş CVD (PECVD) və işıqla gücləndirilmiş CVD (PCVD) və s. daxildir. CVD əsasən qaz fazalı çökmə metodudur.
CVD, əsasən, qaz fazalı maddənin yüksək temperaturda kimyəvi reaksiyaya girərək substrat üzərində çökən bərk maddə əmələ gətirdiyi bir film əmələ gətirmə üsuludur. Xüsusilə, uçucu metal halogenidləri və ya metal üzvi birləşmələri H, Ar və ya N kimi daşıyıcı qazla qarışdırılır və sonra kimyəvi reaksiya yolu ilə substrat üzərində nazik bir təbəqə əmələ gətirmək üçün reaksiya kamerasında yüksək temperaturlu bir substrata bərabər şəkildə daşınır. CVD-nin hansı növündən asılı olmayaraq, çökdürmə uğurla həyata keçirilə bilərsə, aşağıdakı əsas şərtlərə cavab verməlidir: Birincisi, çökdürmə temperaturunda reaktivlər kifayət qədər yüksək buxar təzyiqinə malik olmalıdır; İkincisi, reaksiya məhsulu, bərk hal üçün istənilən çöküntüyə əlavə olaraq, qalan qaz halı; Üçüncüsü, çöküntünün özü kifayət qədər aşağı buxar təzyiqinə malik olmalıdır ki, çöküntü reaksiyası prosesinin qızdırılan substratın bütün prosesində saxlanılmasını təmin etsin; Dördüncüsü, substrat materialı nazik bir təbəqə əmələ gətirmək üçün kimyəvi reaksiya yolu ilə substratdakı reaksiya kamerasına bərabər şəkildə daşınır. Dördüncüsü, substrat materialının özünün buxar təzyiqi də çökmə temperaturunda kifayət qədər aşağı olmalıdır.
– Bu məqalə dərc olunub byvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 04 may 2024