Ní gbígbòòrò, a lè pín CVD sí oríṣi méjì: ọ̀kan wà nínú ọjà kan ṣoṣo lórí ìdúró omi ìṣàn omi ìsàlẹ̀ ti fẹlẹfẹlẹ epitaxial kan ṣoṣo, èyí tí ó jẹ́ CVD díẹ̀; èkejì ni ìdúró omi ìṣàn ...
CVD jẹ́ ọ̀nà ìṣẹ̀dá fíìmù tí a fi ń ṣe ohun èlò gáàsì ní ìwọ̀n otútù gíga láti mú ohun èlò líle kan jáde tí a gbé sórí ohun èlò kan. Ní pàtàkì, a máa ń da àwọn halides irin tí ó ń yí padà tàbí àwọn èròjà onírin tí ó jẹ́ ti ara pọ̀ mọ́ gaasi tí ń gbé nǹkan bíi H, Ar, tàbí N, lẹ́yìn náà a máa ń gbé wọn lọ sí ohun èlò tí ó ní ìwọ̀n otútù gíga nínú yàrá ìṣiṣẹ́ láti ṣe fíìmù tín-ín-rín lórí ohun èlò náà nípasẹ̀ ìhùwàsí kẹ́míkà. Láìka irú CVD tí ó jẹ́, ìtújáde náà gbọ́dọ̀ bá àwọn ipò ìpìlẹ̀ wọ̀nyí mu: Àkọ́kọ́, nínú ìwọ̀n otútù ìtújáde náà, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ náà gbọ́dọ̀ ní ìwọ̀n otútù gíga tó; Èkejì, ọjà ìhùwàsí náà, ní àfikún sí ìtújáde tí a fẹ́ fún ipò líle, ìyókù ipò gaseous; Ẹ̀kẹta, ìtújáde náà fúnra rẹ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ ìwọ̀n otútù gíga tó láti rí i dájú pé a lè pa ìlànà ìtújáde náà mọ́ ní gbogbo ìlànà ti ohun èlò tí ó gbóná; Ẹ̀kẹrin, a máa ń gbé ohun èlò tí ó ní ìwọ̀n dànù náà lọ sí yàrá ìhùwàsí lórí ohun èlò náà, nípasẹ̀ ìhùwàsí kẹ́míkà láti ṣe fíìmù tín-ín-rín. Ẹ̀kẹrin, ìtújáde fíìmù ti ohun èlò tí ó ní ìwọ̀n dànù náà fúnra rẹ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí ó kéré tó ní ìwọ̀n otútù ìtújáde náà.
– A ti tu nkan yii silẹ byẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-04-2024