Si guud loo hadlo, CVD waxaa loo qaybin karaa laba nooc: mid waa badeecad keliya oo ku jirta kaydinta uumiga substrate-ka ee lakabka epitaxial-ka ee keli-kiristaalka ah, kaas oo ah CVD cidhiidhi ah; tan kalena waa dhigista filimada khafiifka ah ee substrate-ka, oo ay ku jiraan filimada wax soo saar badan iyo kuwa aan qaab lahayn. Sida laga soo xigtay noocyada kala duwan ee gaasaska isha la isticmaalo, CVD waxaa loo qaybin karaa habka gaadiidka halogen iyo dhigista uumiga kiimikada birta-organic (MOCVD), tan hore waxay u qaybin kartaa sidii ilo gaas, tan dambena waxay u qaybin kartaa isku-dhafka birta-organic sida ilo gaas. Sida laga soo xigtay cadaadiska qolka falcelinta, waxaa loo qaybin karaa saddex nooc oo waaweyn: cadaadiska jawiga CVD (APCVD), CVD cadaadis hoose (LPCVD) iyo CVD faakiyuum aad u sarreeya (UHV/CVD). CVD sidoo kale waxaa loo isticmaali karaa hab kaaliye ah oo tamar lagu kobciyo, maalmahan kuwa caadiga ah waxaa ka mid ah CVD-ga balaasmaha lagu xoojiyay (PECVD) iyo CVD-ga iftiinka lagu xoojiyay (PCVD), iwm. CVD asal ahaan waa hab dhigista wejiga gaaska.
CVD asal ahaan waa hab sameynta filim kaas oo walax wejiga gaaska ah si kiimiko ah loogu falceliyo heerkul sare si loo soo saaro walax adag oo lagu shubo substrate. Gaar ahaan, halides bir ah oo kacsan ama iskudhisyo bir ah oo dabiici ah ayaa lagu qasaa gaas side sida H, Ar, ama N, ka dibna si isku mid ah ayaa loogu qaadaa substrate heerkul sare leh oo ku jira qol falgal ah si loo sameeyo filim khafiif ah oo ku yaal substrate-ka iyada oo loo marayo falgal kiimiko. Nooc kasta oo CVD ah, dhigista si guul leh ayaa loo fulin karaa waa inay buuxisaa shuruudaha aasaasiga ah ee soo socda: Marka hore, heerkulka dhigista, falgalayaashu waa inay lahaadaan cadaadis uumi oo ku filan; Marka labaad, badeecada falgalka, marka lagu daro dhigista la rabo ee xaaladda adag, inta kale ee xaaladda gaaska; Saddexaad, dhigista lafteedu waa inay noqotaa cadaadis uumi oo ku filan si loo hubiyo in habka falgalka dhigista lagu hayn karo geeddi-socodka oo dhan ee substrate-ka kulul; Marka afraad, walaxda substrate-ka si isku mid ah ayaa loogu qaadaa qolka falgalka ee substrate-ka, iyada oo loo marayo falgalka kiimikada si loo sameeyo filim khafiif ah. Marka afraad, cadaadiska uumiga ee walaxda substrate-ka lafteedu waa inuu sidoo kale ku filan yahay heerkulka dhigista.
– Maqaalkan waa la sii daayay bysoo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Maajo-04-2024