Giňden aýdylanda, CVD takmynan iki görnüşe bölünip bilner: biri substratda ýeke önümde, inçe CVD bolan monokristal epitaksial gatlagyň bug çökündisi; beýlekisi bolsa substratda inçe plyonkalaryň, şol sanda köp önümli we amorf plyonkalaryň çökündisi. Ulanylýan çeşme gazlarynyň dürli görnüşlerine görä, CVD galogen daşamak usulyna we metal-organik himiki bug çökündisine (MOCVD) bölünip bilner, birinjisi gaz çeşmesi hökmünde galogenide, ikinjisi bolsa gaz çeşmesi hökmünde metal-organik birleşmelere. Reaksiýa kamerasyndaky basyşa görä, ony üç esasy görnüşe bölmek bolýar: atmosfera basyşly CVD (APCVD), pes basyşly CVD (LPCVD) we örän ýokary wakuumly CVD (UHV/CVD). CVD energiýa güýçlendirýän kömekçi usul hökmünde hem ulanylyp bilner we häzirki wagtda giňden ýaýranlary plazma güýçlendirýän CVD (PECVD) we ýagtylyk güýçlendirýän CVD (PCVD) we ş.m.-leri öz içine alýar. CVD esasan gaz fazaly çökündi usulydyr.
CVD, esasan, gaz fazaly maddanyň ýokary temperaturada himiki reaksiýa arkaly substratda çökýän gaty maddany emele getirýän plýonka emele getirýän usuldyr. Hususan-da, uçujy metal galogenidleri ýa-da metal organiki birleşmeleri H, Ar ýa-da N ýaly daşaýjy gaz bilen garyşdyrylýar we soňra himiki reaksiýa arkaly substratda inçe plýonka emele getirmek üçin reaksiýa kamerasyndaky ýokary temperaturaly substrata deň derejede daşalýar. CVD-niň haýsy görnüşine garamazdan, çökdürme üstünlikli amala aşyrylyp bilner, aşakdaky esasy şertlere laýyk gelmelidir: Birinjiden, çökdürme temperaturasynda reagentleriň ýeterlik derejede ýokary bug basyşy bolmaly; Ikinjiden, reaksiýa önümi, gaty ýagdaý üçin islenýän çökdürmeden başga-da, gaz ýagdaýynyň galan bölegi; Üçünjiden, çökdürme reaksiýa prosesiniň gyzdyrylan substratyň tutuş prosesinde saklanyp bilinmegini üpjün etmek üçin çökdürme özi ýeterlik derejede pes bug basyşyna eýe bolmaly; Dördünjiden, substrat materialy himiki reaksiýa arkaly substratdaky reaksiýa kamerasyna deň derejede daşalyp, inçe plýonka emele getirýär. Dördünjiden, substrat materialynyň özüniň bug basyşy hem çökdürme temperaturasynda ýeterlik derejede pes bolmaly.
– Bu makala çap edildi bywakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 4-nji maýy