Sacara umum, CVD bisa dipérang dadi rong jinis: siji yaiku produk tunggal ing lapisan epitaksial kristal tunggal ing substrat, sing sempit diarani CVD; liyané yaiku deposisi film tipis ing substrat, kalebu film multi-produk lan amorf. Miturut macem-macem jinis gas sumber sing digunakake, CVD bisa dipérang dadi metode transportasi halogen lan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD), sing pertama dadi halida minangka sumber gas, sing terakhir dadi senyawa logam-organik minangka sumber gas. Miturut tekanan ing ruang reaksi, bisa dipérang dadi telung jinis utama: CVD tekanan atmosfer (APCVD), CVD tekanan rendah (LPCVD) lan CVD vakum ultra-tinggi (UHV/CVD). CVD uga bisa digunakaké minangka metode tambahan sing ditingkatake energi, lan saiki sing umum kalebu CVD sing ditingkatake plasma (PECVD) lan CVD sing ditingkatake cahya (PCVD), lan liya-liyane. CVD intine minangka metode deposisi fase gas.
CVD iku sejatine metode mbentuk film ing ngendi zat fase gas direaksikake sacara kimia ing suhu dhuwur kanggo ngasilake zat padat sing diendapkan ing substrat. Khususé, halida logam sing gampang nguap utawa senyawa organik logam dicampur karo gas pembawa kayata H, Ar, utawa N, banjur diangkut kanthi seragam menyang substrat suhu dhuwur ing ruang reaksi kanggo mbentuk film tipis ing substrat liwat reaksi kimia. Ora preduli jinis CVD apa wae, deposisi sing bisa ditindakake kanthi sukses kudu memenuhi syarat dhasar ing ngisor iki: Kapisan, ing suhu deposisi, reaktan kudu duwe tekanan uap sing cukup dhuwur; Kapindho, produk reaksi, saliyane deposit sing dikarepake kanggo kahanan padat, sisa kahanan gas; Katelu, deposit kasebut dhewe kudu tekanan uap sing cukup rendah kanggo mesthekake yen proses reaksi deposisi bisa dijaga ing kabeh proses substrat sing dipanasake; Kaping papat, bahan substrat diangkut kanthi seragam menyang ruang reaksi ing substrat, liwat reaksi kimia kanggo mbentuk film tipis. Kaping papat, tekanan uap bahan substrat dhewe uga kudu cukup rendah ing suhu deposisi.
-Artikel iki dirilis byprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 04-Mei-2024