Feem ntau hais lus, CVD muaj ob hom: ib qho yog cov khoom ib yam ntawm cov khoom siv hauv cov txheej txheem ntawm cov khoom siv, uas yog CVD nqaim; qhov thib ob yog cov zaj duab xis nyias nyias ntawm cov khoom siv, suav nrog ntau yam khoom thiab cov zaj duab xis amorphous. Raws li ntau hom roj siv, CVD muaj ob hom: halide ua cov roj, thiab hlau-organic sib xyaw ua cov roj. Raws li qhov siab hauv chav tshuaj, muaj peb hom: atmospheric pressure CVD (APCVD), low pressure CVD (LPCVD) thiab ultra-high vacuum CVD (UHV/CVD). CVD kuj tseem siv tau ua cov txheej txheem pab txhawb zog, thiab niaj hnub no cov txheej txheem feem ntau suav nrog plasma-enhanced CVD (PECVD) thiab light-enhanced CVD (PCVD), thiab lwm yam. CVD yog cov txheej txheem tso pa roj.
CVD yog ib txoj kev tsim zaj duab xis uas cov tshuaj uas muaj roj-theem raug tshuaj lom neeg ua rau kub siab los tsim cov khoom khov uas tau tso rau ntawm lub substrate. Tshwj xeeb, cov hlau halides uas tsis muaj zog lossis cov hlau organic sib xyaw ua ke nrog cov roj nqa xws li H, Ar, lossis N, thiab tom qab ntawd thauj mus rau lub substrate kub siab hauv chav tshuaj tiv thaiv kom tsim cov zaj duab xis nyias nyias ntawm lub substrate los ntawm kev tshuaj tiv thaiv tshuaj lom neeg. Txawm yog hom CVD twg los xij, kev tso dej tuaj yeem ua tiav yuav tsum ua tau raws li cov xwm txheej hauv qab no: Ua ntej, hauv qhov kub ntawm kev tso dej, cov tshuaj tiv thaiv yuav tsum muaj lub siab vapor siab txaus; Qhov thib ob, cov khoom tshuaj tiv thaiv, ntxiv rau qhov xav tau tso rau lub xeev khov, lwm qhov ntawm lub xeev gaseous; Qhov thib peb, qhov tso dej nws tus kheej yuav tsum muaj lub siab vapor qis txaus kom ntseeg tau tias cov txheej txheem tso dej tshuaj tiv thaiv tuaj yeem khaws cia rau hauv tag nrho cov txheej txheem ntawm lub substrate sov; Qhov thib plaub, cov khoom siv substrate raug thauj mus rau lub chav tshuaj tiv thaiv ntawm lub substrate, los ntawm kev tshuaj tiv thaiv tshuaj lom neeg los tsim cov zaj duab xis nyias nyias. Qhov thib plaub, lub siab vapor ntawm cov khoom siv substrate nws tus kheej kuj yuav tsum qis txaus ntawm qhov kub ntawm kev tso dej.
– Tsab xov xwm no tau tso tawm bylub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Tsib Hlis-04-2024