N'ikwu ya n'ụzọ sara mbara, enwere ike kewaa CVD n'ụdị abụọ: otu dị na otu ngwaahịa na ntinye vapor substrate nke otu-kristal epitaxial layer, nke bụ obere CVD; nke ọzọ bụ ntinye nke ihe nkiri dị gịrịgịrị na substrate, gụnyere ọtụtụ ngwaahịa na ihe nkiri amorphous. Dịka ụdị gas isi mmalite dị iche iche ejiri, enwere ike kewaa CVD n'ime usoro njem halogen na ntinye vapor kemịkalụ metal-organic (MOCVD), nke mbụ ga-abụ halide dị ka isi iyi gas, nke ikpeazụ ga-abụ ngwakọta metal-organic dị ka isi iyi gas. Dịka nrụgide dị na ụlọ mmeghachi omume si dị, enwere ike kewaa ya n'ụdị atọ bụ isi: nrụgide ikuku CVD (APCVD), obere nrụgide CVD (LPCVD) na nnukwu vacuum CVD (UHV/CVD). Enwere ike iji CVD dị ka usoro enyemaka eme ka ike dịkwuo elu, na taa ndị a na-ahụkarị gụnyere CVD eme ka plasma dịkwuo mma (PECVD) na CVD eme ka ọkụ dịkwuo mma (PCVD), wdg. CVD bụ ụzọ ntinye gas-phase.
CVD bụ ụzọ e si emepụta ihe nkiri ebe a na-eme ka ihe na-emepụta gas na-arụ ọrụ na okpomọkụ dị elu iji mepụta ihe siri ike nke a na-etinye na ihe mkpuchi. N'ụzọ pụrụ iche, a na-agwakọta halides ígwè na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ ngwakọta organic metal na gas na-ebu dị ka H, Ar, ma ọ bụ N, wee buru ya n'otu aka gaa na ihe mkpuchi okpomọkụ dị elu n'ime ụlọ mmeghachi omume iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị na ihe mkpuchi site na mmeghachi omume kemịkalụ. N'agbanyeghị ụdị CVD ọ bụla, enwere ike ime nkwụnye ihe nke ọma ga-emezurịrị ọnọdụ ndị a: Nke mbụ, na okpomọkụ nkwụnye ihe, ihe mmeghachi omume ga-enwerịrị nrụgide anwụrụ ọkụ dị elu nke ọma; Nke abụọ, ngwaahịa mmeghachi omume, na mgbakwunye na nkwụnye achọrọ maka ọnọdụ siri ike, ọnọdụ gas ndị ọzọ; Nke atọ, nkwụnye ahụ n'onwe ya kwesịrị ịbụ nrụgide anwụrụ ọkụ dị ala iji hụ na enwere ike idobe usoro mmeghachi omume nkwụnye ihe n'ime usoro dum nke ihe mkpuchi ahụ na-ekpo ọkụ; Nke anọ, a na-ebuga ihe mkpuchi ahụ n'otu aka gaa na ụlọ mmeghachi omume na ihe mkpuchi ahụ, site na mmeghachi omume kemịkalụ iji mepụta ihe mkpuchi dị gịrịgịrị. Nke anọ, nrụgide anwụrụ nke ihe mkpuchi ahụ n'onwe ya kwesịkwara ịdị ala nke ọma na okpomọkụ nkwụnye ihe.
–E bipụtara akụkọ a byigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Mee-04-2024