Умуман, CVD-ро метавон тақрибан ба ду намуд тақсим кард: яке дар як маҳсули таҳшиншавии буғи қабати эпитаксиалии яккристаллӣ дар зеризаминӣ, ки CVD-и танг аст; дигаре таҳшиншавии плёнкаҳои тунук дар зеризаминӣ, аз ҷумла плёнкаҳои бисёрмаҳсул ва аморфӣ мебошад. Мувофиқи намудҳои гуногуни газҳои манбаъи истифодашуда, CVD-ро метавон ба усули интиқоли галогенӣ ва таҳшиншавии буғи кимиёвии металл-органикӣ (MOCVD) тақсим кард, ки аввалӣ ба галогенид ҳамчун манбаи газ, дуюмӣ ба пайвастагиҳои металл-органикӣ ҳамчун манбаи газ. Мувофиқи фишор дар камераи реаксия, онро метавон ба се намуди асосӣ тақсим кард: CVD-и фишори атмосфера (APCVD), CVD-и фишори паст (LPCVD) ва CVD-и ултрабаланд вакуумӣ (UHV/CVD). CVD-ро инчунин метавон ҳамчун усули ёрирасони бо энергия беҳтаршуда истифода бурд ва имрӯзҳо маъмултаринҳо CVD-и бо плазма беҳтаршуда (PECVD) ва CVD-и бо рӯшноӣ беҳтаршуда (PCVD) ва ғайраро дар бар мегиранд. CVD асосан усули таҳшиншавии фазаи газӣ мебошад.
CVD асосан як усули ташаккули плёнка аст, ки дар он моддаи фазаи газӣ дар ҳарорати баланд ба таври кимиёвӣ реаксия карда мешавад, то моддаи сахте ба вуҷуд ояд, ки дар зеризаминӣ ҷойгир мешавад. Хусусан, галогенидҳои металлҳои парвозкунанда ё пайвастагиҳои органикии металлӣ бо гази интиқолдиҳанда ба монанди H, Ar ё N омехта карда мешаванд ва сипас дар камераи реаксия ба таври яксон ба зеризаминии ҳарорати баланд интиқол дода мешаванд, то тавассути реаксияи кимиёвӣ дар зеризаминӣ плёнкаи тунук ташкил кунанд. Новобаста аз он ки кадом намуди CVD метавонад бомуваффақият анҷом дода шавад, бояд ба шартҳои асосии зерин ҷавобгӯ бошад: Аввалан, дар ҳарорати ҷойгиркунӣ, реактивҳо бояд фишори буғи кофӣ баланд дошта бошанд; Дуюм, маҳсулоти реаксия, илова бар ҷойгиркунии дилхоҳ барои ҳолати сахт, боқимондаи ҳолати газӣ; Сеюм, худи ҷойгиркунӣ бояд фишори буғи кофӣ паст бошад, то раванди реаксияи ҷойгиркунӣ дар тамоми раванди зеризаминии гармшуда нигоҳ дошта шавад; Чорум, маводи зеризаминӣ ба таври яксон ба камераи реаксия дар зеризаминӣ интиқол дода мешавад, тавассути реаксияи кимиёвӣ барои ташкили плёнкаи тунук. Чорум, фишори буғи худи маводи зеризаминӣ низ дар ҳарорати ҷойгиркунӣ бояд ба қадри кофӣ паст бошад.
- Ин мақола нашр шуд byистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 04 майи соли 2024