ជាទូទៅ CVD អាចបែងចែកជាពីរប្រភេទ៖ មួយគឺស្ថិតនៅក្នុងផលិតផលតែមួយនៅលើស្រទាប់ស្រទាប់ខាងក្រោម ការដាក់ចំហាយនៃស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ីលតែមួយ ដែលជា CVD តូចចង្អៀត។ មួយទៀតគឺការដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗលើស្រទាប់ខាងក្រោម រួមទាំងខ្សែភាពយន្តពហុផលិតផល និងខ្សែភាពយន្តអាម៉ូហ្វូស។ យោងតាមប្រភេទឧស្ម័នប្រភពផ្សេងៗគ្នាដែលប្រើ CVD អាចបែងចែកជាវិធីសាស្ត្រដឹកជញ្ជូនហាឡូហ្សែន និងការដាក់ចំហាយគីមីលោហៈ-សរីរាង្គ (MOCVD) ដែលទីមួយគឺហាលីដជាប្រភពឧស្ម័ន និងទីពីរគឺសមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គជាប្រភពឧស្ម័ន។ យោងតាមសម្ពាធនៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម វាអាចបែងចែកជាបីប្រភេទសំខាន់ៗ៖ CVD សម្ពាធបរិយាកាស (APCVD) CVD សម្ពាធទាប (LPCVD) និង CVD ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ខ្លាំង (UHV/CVD)។ CVD ក៏អាចត្រូវបានប្រើជាវិធីសាស្ត្រជំនួយដែលបង្កើនថាមពលផងដែរ ហើយសព្វថ្ងៃនេះវិធីសាស្ត្រទូទៅរួមមាន CVD ដែលបង្កើនប្លាស្មា (PECVD) និង CVD ដែលបង្កើនពន្លឺ (PCVD)។ល។ CVD គឺជាវិធីសាស្ត្រដាក់ចំហាយដំណាក់កាលឧស្ម័ន។
CVD គឺជាវិធីសាស្ត្របង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលសារធាតុដំណាក់កាលឧស្ម័នត្រូវបានប្រតិកម្មគីមីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីបង្កើតសារធាតុរឹងដែលត្រូវបានដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ជាពិសេស ហាលីតលោហៈងាយនឹងបង្កជាឧស្ម័ន ឬសមាសធាតុសរីរាង្គលោហៈត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នផ្ទុកដូចជា H, Ar ឬ N ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានដឹកជញ្ជូនស្មើៗគ្នាទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។ មិនថា CVD ប្រភេទណាក៏ដោយ ការដាក់លោហៈអាចត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យ ត្រូវតែបំពេញលក្ខខណ្ឌជាមូលដ្ឋានដូចខាងក្រោម៖ ទីមួយ នៅសីតុណ្ហភាពការដាក់លោហៈ សារធាតុប្រតិកម្មត្រូវតែមានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់។ ទីពីរ ផលិតផលប្រតិកម្ម បន្ថែមពីលើការដាក់លោហៈដែលចង់បានសម្រាប់ស្ថានភាពរឹង ស្ថានភាពឧស្ម័នដែលនៅសល់។ ទីបី ការដាក់លោហៈខ្លួនឯងគួរតែមានសម្ពាធចំហាយទាបគ្រប់គ្រាន់ ដើម្បីធានាថាដំណើរការប្រតិកម្មការដាក់លោហៈអាចត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្នុងដំណើរការទាំងមូលនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រូវបានកំដៅ។ ទីបួន សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដឹកជញ្ជូនស្មើៗគ្នាទៅកាន់បន្ទប់ប្រតិកម្មនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈប្រតិកម្មគីមី ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។ ទីបួន សម្ពាធចំហាយនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមខ្លួនឯងក៏គួរតែទាបគ្រប់គ្រាន់នៅសីតុណ្ហភាពការដាក់លោហៈផងដែរ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយ byក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៤-២០២៤