Amin'ny ankapobeny, ny CVD dia azo zaraina ho karazany roa: ny iray dia ny fametrahana etona amin'ny vokatra tokana eo amin'ny substrate amin'ny sosona epitaxial kristaly tokana, izay CVD tery; ny iray kosa dia ny fametrahana sarimihetsika manify eo amin'ny substrate, anisan'izany ny sarimihetsika vokatra maro sy ny sarimihetsika amorphous. Araka ny karazana entona loharano ampiasaina, ny CVD dia azo zaraina ho fomba fitaterana halogen sy fametrahana etona simika metaly-organika (MOCVD), ny voalohany ho halide ho loharanon'ny entona, ny faharoa ho singa metaly-organika ho loharanon'ny entona. Araka ny tsindry ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra, dia azo zaraina ho karazany telo lehibe izy io: CVD amin'ny tsindry atmosfera (APCVD), CVD amin'ny tsindry ambany (LPCVD) ary CVD amin'ny banga avo lenta (UHV/CVD). Ny CVD dia azo ampiasaina ho fomba fanampiny mampitombo angovo ihany koa, ary amin'izao fotoana izao dia misy ny CVD amin'ny plasma (PECVD) sy CVD amin'ny hazavana (PCVD), sns. Ny CVD dia fomba fametrahana dingana entona.
Ny CVD dia fomba fanamboarana sarimihetsika izay afangaro amin'ny hafanana avo ny akora misy entona mba hamokarana akora mivaingana napetraka eo amin'ny substrate. Indrindra indrindra, ny halida metaly mivaingana na ny akora organika metaly dia afangaro amin'ny entona mpitondra toy ny H, Ar, na N, ary avy eo dia afindra mitovy amin'ny substrate mafana ao anaty efitrano fanehoan-kevitra mba hamorona sarimihetsika manify eo amin'ny substrate amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika. Na inona na inona karazana CVD, ny fametrahana dia tsy maintsy mahafeno ireto fepetra fototra manaraka ireto: Voalohany, amin'ny mari-pana fametrahana, ny reactants dia tsy maintsy manana tsindry etona avo ampy; Faharoa, ny vokatra fanehoan-kevitra, ankoatra ny fametrahana irina ho an'ny toetry ny mivaingana, ny sisa amin'ny toetry ny entona; Fahatelo, ny fametrahana dia tokony ho ambany ampy ny tsindry etona mba hahazoana antoka fa ny fizotran'ny fanehoan-kevitra fametrahana dia azo tazonina ao anatin'ny dingana manontolo amin'ny substrate mafana; Fahefatra, ny akora substrate dia afindra mitovy amin'ny efitrano fanehoan-kevitra eo amin'ny substrate, amin'ny alàlan'ny fanehoan-kevitra simika mba hamorona sarimihetsika manify. Fahefatra, ny tsindry etona amin'ny akora substrate dia tokony ho ambany ihany koa amin'ny mari-pana fametrahana.
- Navoaka ity lahatsoratra ity bympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Mey-04-2024