1. Benefiċjali għall-isputtering u l-kisi ta' film ta' insulazzjoni. Il-bidla rapida fil-polarità tal-elettrodu tista' tintuża biex jiġu sputterizzati direttament miri iżolanti biex jinkisbu films iżolanti. Jekk sors ta' enerġija DC jintuża biex jiġi sputterizzat u depożitat film ta' insulazzjoni, il-film ta' insulazzjoni jimblokka l-joni pożittivi milli jidħlu fil-katodu, u jifforma saff ta' akkumulazzjoni ta' joni pożittivi, li huwa suxxettibbli għal tkissir u tqabbid. Wara li jiġi depożitat film iżolanti fuq l-anodu, l-elettroni jiġu mblukkati milli jidħlu fl-anodu, li jirriżulta fil-fenomenu tal-għajbien tal-anodu. Meta jintuża sors ta' enerġija RF biex jiksi film ta' insulazzjoni, minħabba l-polarità alternanti tal-elettrodi, il-kargi pożittivi akkumulati fuq il-katodu fl-ewwel nofs taċ-ċiklu jiġu newtralizzati mill-elettroni fit-tieni nofs taċ-ċiklu, u l-elettroni akkumulati fuq l-anodu jiġu newtralizzati mill-joni pożittivi. Il-proċess oppost fit-tieni nofs taċ-ċiklu jista' jelimina l-akkumulazzjoni ta' kargi fuq l-elettrodu, u l-proċess ta' skarika jista' jipproċedi normalment.
2. Elettrodi ta' frekwenza għolja jiġġeneraw awto-polarizzazzjoni. Fl-apparat RF bi struttura ta' elettrodu ċatt, l-elettrodi ta' frekwenza għolja fiċ-ċirkwit li jużaw tqabbil ta' akkoppjar kapaċittiv jiġġeneraw vultaġġ ta' awto-polarizzazzjoni. Id-differenza enormi bejn il-veloċità tal-migrazzjoni tal-elettroni u l-veloċità tal-migrazzjoni tal-joni fil-ħruġ tippermetti lill-elettroni jiksbu veloċità ta' moviment akbar f'ħin partikolari, filwaqt li l-veloċità tal-joni aktar bil-mod tikkawża akkumulazzjoni. L-elettrodu ta' frekwenza għolja jkun f'potenzjal negattiv għal ħafna minn kull ċiklu, li jirriżulta f'vultaġġ negattiv fuq it-terren, li huwa l-fenomenu ta' awto-polarizzazzjoni tal-elettrodu ta' frekwenza għolja.
L-awto-polarizzazzjoni ġġenerata mill-elettrodu tal-iskariku RF taċċelera l-bumbardament tal-joni tal-elettrodu tal-katodu biex kontinwament joħroġ elettroni sekondarji biex iżomm il-proċess tal-iskariku, u l-awto-polarizzazzjoni għandha rwol simili għat-tnaqqis tal-katodu fl-iskariku tad-dawl DC. Għalkemm tintuża provvista ta' enerġija RF, l-iskariku jista' jkun stabbli minħabba l-vultaġġ tal-awto-polarizzazzjoni ġġenerata mill-elettrodu ta' frekwenza għolja li tilħaq 500-1000V.
3. L-iskariku tal-frekwenza tar-radju għandu rwol importanti fl-iskariku tal-glow tal-pressjoni atmosferika u fl-iskariku tal-glow tal-barriera dielettrika introdotti aktar tard.
Ħin tal-posta: 21 ta' Ġunju 2023